1
Изобретение относягея к трави телям, применяемым в технологии изготовления структур с диэлектрической изоляцией элементов, использующихся при производстве монолйгных интегральных схем в микроэлектронике .
Известен анизотропный травитель, содержащий, весД: Едкий калий 18-20 Деионизованную воду 55-60 Изопропиловш спирт 20-25 Однако значительное расслаивание смеси на две фазы делает травигель неоднородным по составу и затрудняет процесс, поскольку скорость травления становится нелинейной.
При травлении известным травителем полупроводниковых пластин, например кремниевых, значительно искажается исходная форма элементов рисужа, искажение проявляется в растравливании углов (г 16-1Б мкм), образованных пересечеj нием двух взаимно перпендикулярных канавок.
Искажение геометрической форвяы элементов усложняет конструирование комплекта фотошаблонов и затрудняет операцию совмещения при повторной фотолитографии.
Цель изобретения - нахождение однородного состава анизотропного травителя, минимально искажающего исходную геометрическую форму элементов.
Зта цель достигается тем,что исходные компоненты травителя взяты & следующем соотношении,
B6G
ЕДКИЙ калий 4-6 Деиошазованная вода 60-64 Изопропиловый спирт 32-34 Преимущества предлагаемого травителя в том, что при составлении травителя и в течение всего времени травления состав однороден, расслаивание отсутствует; растравливание углов элементов
cxejym при вытравливании v - образ ных канавок на кремниевых пласгинах с ориентацией (100) равно t 7-9 мкм (г - параметр, по которому оценивали растравливание углов элементов); имеет доотаточно высокую скорость травления - 30 мшд/час; при травлении наблю
дается воспроизводимость результагов от одного процесса к другому.
ПРШЁР. Предлагаемый травите ль состоит из следующих компонентов, вес./ё: Едкий калий 5,4 Деионизованная вода 60,7 Изопропиловый спирт 33,9 Сначала составляют водный раствор едкого калия, и к нему
ёобавляют изопропиловБи спирт, се тщательно перемешивают. Для травления используют пластины кремния марки КЭФ 0.5 с ориентацией поверхности (100) И с фотолитограч ическим рисунком. Ширина дорожек в маске равна 46 мкм. Защитной маской при травлении .
«
служит пленка термической двуокиси кремния толщиной 0,4 мкм. Травление проводят в предлагаемом травителе 7и мин при +80±2°С в кварцевой емкости с водоохлаадаемой крышкой. Глубина протравленной дорожки равна 33 мкм. Величина растравливания углов (f) равна не более 8 мкм.
Оценка 1шчества геометрии вытравленного микрорельефа проводилась с помощью микроинтерферометра МШ-4.
ПРВДЙЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ Травитель, преимущественно, для получения микрорельефа на кремниевой пластине с ориентацией поверхности по плоскости (100), содержащий едкий калий, деионизованную воду и ИЗОПРОПИЛОВЫЙ спирт, о т л и ч а ющ и и с я тем, что, с целью обеспечения однородности травителя, его исходные компоненты взяты в следующем соотношении, вес.|;
Едкий калий 4-6 Деионизованная вода 60-64 Изопропиловый спирт 32-34
