АВТОМАТ ДЛЯ РАЗБРАКОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ Советский патент 1973 года по МПК H01L21/00 

1

Изобретение ОБНОСИТСЯ к технологическому оборудованию для производства полупроводHHKOiBbix приборов, в частности для измерения параметров и разбраковки полупроводниковых триодов.

Известен классификатор высокочастотных транзисторов, в которомпри измерении параметров прибор удерживается за фланец корпуса, а его выводы направляются гребенками в контактные (Гнезда, куда и заталкиваются толкателем. Однако он надежен из-за неровностей выводов у измеряемых приборов. Кроме того, в известном автомате не предусмотрены устройства для нанесения точки, обозначающей положение эмиттерного вывода.

Целью изобретения является повышение производительности и надежности измерений. Это достигается тем, что блок индексации эмиттерного вывода автомата выполнен в виде золотника, сообщающегося каналом с емкостью для красителя, причем в канале предусмотрено поперечное отверстие, куда входит игла, которая закреплена на соверщающем возвратно-поступательные перемещения ползуне; это отверстие со стороны индексируемого прибора перекрыто надетым на щкивы снабженным приводом резиновым бесконечным канатиком, а контактное устройство выполнено в виде вилки с веерообразно расположенными зубьями и пазом для упора, ко2

торый -поддерживает вььводы прибора. Предлагаемый автомат, измеряя параметры триодов, предварительно выравнивает выводы и наносит точку, обозначающую положение

эмиттерного вывода.

На фиг. 1 приведена кинематическая схема автомата; на фиг. 2 - контактное устройство, продольный разрез; на фиг. 3 - разрез по Л-Л на фиг. 2; на фиг. 4 - кинематическая

схема узла индексации эмиттера триода; на фиг. 5 - золотник и бесконечное уплотнение узла индексации эмиттера триода; на фиг. 6- разрез по Б-Б на фиг. 5; на фиг. 7 - золотник при нерабочем положении узла индексации эмиттера триода, разрез.

На основании автомата установлены вибробункер / и лоток 2 специального профиля. Привод автомата осуществляется от электродвигателя - редуктора 3 через кулачковую

муфту 4, передается на вал 5 с закрепленными на нем кулачками 6, 7, 8 w 9. Отсекатель 10 неподвижно закреплен на толкателе 11, расположенном в направляющих и снабл енном роликом, который прижат к кулачку 9

пружиной 12, действующей на стойку 13, жестко закрепленную на толкателе //. Конечный выключатель 14 может быть включен действием на него стойки 13. Далее, вниз по лотку, расположен узел выравнивания /5, который

приводится в движение кулачком 6. На выходе из лотка неподвижно закреплен упор 16, ограничивающий движение триода в лотке при крайнем верхнем положениии заслонки 1/. Заслонка по своей форме является продолжением лотка и имеет два направляюпдих упора, пО(Верхности 18 и 19 которых служат для поддержания в горизонтальном нололсении выводов триодов. Заслонка 17 может поворачиваться вокруг оси 20, имеет жестко закре.пленный на ней рычаг 21 и прижата к работаюш.ему с ней в паре толкателю 22 пружиной 23. Толкатель может перемещаться в направляющих и вверху заканчивается роликом, которым прижат к кулачку 7. Над заслонкой расположено контактное устройство 24 с зубьями. На нем неподвижно закреплен фиксатор 25, несущий шток 26, шарнирно соедиПенный с конечным выключателем 27 и поджатый пружиной 28. Корпус контактного устройства имеет два коротких центральных зуба и два крайних длинных направляющих выступа. Крайние направляющие выступы служат для предварительной ориентации выводов триода, а центральные зубья - для разделения и их изоляции. Канавки между зубьями расходятся веерообразно. В Поперечном направлении в корпусе контактного устройства прорезан паз, в котором может размещаться упор заслонки 17 с поверхностью 19. В состав -контактного устройства 24 входит контактная группа, выполненная в виде пластины 29 с укрепленными на ней тремя пластинчатыми пружинами, оканчивающимися точечными контактами 30, и тремя пружинами 31. Контактное устройство неподвижно закреплено на толкателе 32, который своим роликом прижат к кулачку 8 посредством 33. Конечный выключатель 34 может включать измерительную цепь при действии на него упоpa 35, ненодвижно закрепленного па толкателе. Для контроля выдачи проверенных триодов и осуществления блокировок на выходе из лотка установлен фотодатчик, который состоит из пластивы 36, флажка 37, оси 38, пружины 39. Край пластины расположен в лотке 40, поставленном наклонно к горизонтали и имеющим в своем днище окна, закрытые заслонками Л которые могут открываться при разбраковке триодов электромагнитами 42. Рядом с флажком расположено фотосопротивление 43. Над заслонкой расположены два узла 44, служащие для нанесения точки, обозначающей положение эмиттерного вывода триода. Эти узлы приводятся в действие электромагнитами 45. Устройство для нанесения точки, обозначающей эмиттерный вывод триода, приводимое в электромагнлтом, состоит из неподвижной направляю1цей 46 с неподвижно закрепленными На ней кронщтейном 47 и золотником 48. В отверстии 1 ;ронштейна свободно установлен валик 49, на концах которого жестко закреплены собачки 50 и кронщтейн 51. На кронщтейне 51 укреплен «улак 52. Ролик 53 в свою очередь закреплен на ползуне 54, свободно установленном на направляющей 4&. Привод в ползуна 54 осуществляется толкателем Ь5, имеющим щаровое сочленение с последним. Стальная игла 56 неподвижно закреплена на ползуне прижимом 57. В золотнике 48 имеется полость 58, сквозь которую проходит игла. Эта полость соединена гибким трубопроводом 59 с емкостью 60 с красителем. Игла 56 проходит сквозь сальниковое уплотнение 61 золотника 48. Бесконечпое резиновое уплотнение 62 круглого сечения надето на четыре шкива 63, оси которых закреплены неподвижно, и служит для герметизации выходного отверстия иглы в нерабочем положении. На одном из шкивов неподвижно закреплено храповое колесо 64. Пластинчатая собачка 65 неподвил :но закреплена на крОНщтейне 47 и предотвращает обратный проворот храпового колеса. Упор 66, закрепленный на отсекателе, служит для предварительного выравнивания выводов триода и обеспечивает прохождение последнего по лотку к узлу выравнивания. Нри работе автомата вращение от электродвигателя- редуктора 3 через муфту 4 передается на вал 5. Вал 5, вращаясь, сообщает движение рабочим органам автомата посредством кулачков 6, 7, 8, 9 в соответствии с установленной .программой. Нолупроводниковые триоды подаются и ориентируются вибробункером / в лоток 2, в котором могут свободно двигаться до отсекателя 10. В момент, когда ролик толкателя 11 находится на наибольшем радиусе кулачка 9, отсекатель 10 пропускает один триод, который под действием собственной тяжести двигается по лотку вииз. В крайнем нижнем положении прибор удерло1вается: вверху фланцем в канавке лотка 2, внизу - корпус и выводы поддерживаются заслонкой 17 и упором 16. В этом месте лотка и происходит измерение параметров триода. Под действием кулачка 8 толкатель 32 также движется вниз, приближая контактное устройство 24 к измеряемому триоду. Вначале боковые направляющие выступы контактного устройства с обеих сторон все более ограничивают и образовывают замкнутый контур вместе с заслонкой 17 вокруг триода. Далее два центральных зуба свойми острыми концами входят между выводами, разделяя их между собой и изолируя ПО всей длине. Контактное устройство 24 и заслонка 17 изготовлены из износостойкого электроизоляционного материала (например, капролактана), обеспечивающего длительную эксплуатацию. Вследствие того, что пазы, образованные зубьями контактного устройства, веерообразно расходятся вблизи контактов 30, выводы триода при попадании в них также расходятся, что исключает их касание между собой и обеспечивает наделсное контактирование каждого вывода с соответствующими контактом. Поверхности 18 и 19 упоров препятствуют деформации выводов при прохождении между ними зубьев контактного устройства. Итак, в крайнем нижнем положении триода в лотке контактное устройство разделяет между собой выводы триода, с каждым из которых контактирует соответствующий контакт 30. Происходит измерение параметров триода. Фиксатор 25 контактного устройства 24 фиксирует Корпус измеряемого триода. Шток 26, пружина 28 и конечный выключатель 27 .служат датчиком нахождения триода под контактным устройством. При этом могут быть следующие слзчаи: триод определен измерительной системой как удовлетворяюпхий техническим условиям, и вывод эмиттера находится слева вверху; триод определен измерительной системой как удовлетворяющий техническим условиям, но вывод эмиттера находится справа ВНИЗУ; триод определен измерительной системой как неудовлетворяюя1ИЙ техническим условиям (короткое замыкание, обрыв и т. д.). В первом случае посредством измерительной системы и блока управления напряжение подается на электромегнят, приводящий устройство нанесения точки, находящееся слева от измеряемого прибора. Пен этом толкатель 55 двигает ПОЛЗУН 54 вперед к ЗОЛОТНИКОВОМУ устройству 48. Ролик 53 работает в паре с кулаком 52 и поворачивает кронщтейн 5/ вокруг оси валика 49. Кронщтейн 51 своими выступами сдвигает уплотнение 62, закрывающее отверстие золотника, и дает возможность выхода наружу игле 56. Игла 56 несет на своем кончике краску, которой и наносит точку на фланце измеряемого триода. Точная Фиксация триода достигается фиксатором 25 контактного устройства. При рабочем ходе иглы 56 вперед собачка 50 скользит по зубьям храпового колеса 64, фиксируемого собачкой 65. Далее автоматически выключается электромагнит 45, приводящий в действие устройство, и под действием собственной пружины возвращает все детали устройства в исходные положения, при этом собачка 50 проворачивает храповое колесо на один зуб и тем самым придает движение бесконечному уплотнению 62. Это обеспечивает стирание красителя, понадаютнего на наружную поверхность золотника 48, герметизацию красителя, находящегося в нолости золотника, и стабильную таботу устройства, которое может быть установлено в любом положении. Размер (диаметр) точки, наносимой этим устройством на фланец триода, зависит от давления красителя в полости золотника (зав-исящее в свою очередь от высоты столба красителя) и от диаметра иглы. Во втором случае происходит то же самое, только нацряжение подается уже на электромагнит, приводящий в движение устройство нанесения точки, находящееся справа от измеряемого прибора. В третьем случае напряжение не подается ни на один из электромагнитов и, следовательно, точка не наносится. По окончании этих операций контактное устройство вместе с толкателем под действием пружин 33 отходит вверх, а толкатель 22 начинает новорачивать рычаг 2 и заслонку /7 вокруг оси 20, давая возможность прибору выпасть Вииз в лоток 40. На своем пути прнбор задевает за пластину 36, и последняя отклоняется вместе с Ллажком; 57. При этом фотосопротивление 43 закрывается от источника света, установленного рядом, что является сигналом о прохождении прибора. В первом и втором случаях триод скатывается по лотку 40 и выпадает в его конце в подставленнзю тару. В третьем случае открывается одна из заслонок 41, приводимая в движение электромагнитом 42, причем все виды брака дифференцируются (наппимер триоды с коротким замыканием - отдельно, с обпывом - отдельно и т. д.). Предмет изобретения Автомат для разбраков ки полупроводниковых приборов, содержащий вибробункер, поток для перемещения приборов с устройством их ориентации. Узел выравнивания выводов контактное устройство, измерительный блок и блок индексации эмиттепного ввода, пт.пичаюшийся тем, что, с целью повышения произво дительности и надежности измерений, контакт ное устройство выполнено в виде вилки и электроизоляционного материала с веерообразнп расположенными зубьями и пазом для упопа. на которой за1Креплены пружинные контакты и фиксатор, удерживающий коппус прибора при индексанин эмиттерногп блока, а блок индексации выполнен в золотника, сообщающегося каналом с емкостыо для красителя, причем в канале имеется поперечное отвепстие для входа нглы, закрепленной на соверщающем возвратно-поступательные перемещения ползуне, отверстие со стороны индексируемого прибора перекрыто надетым на иживы и снабженным приводом резиновым бесконечным канатиком.

41

7 5 5

42 4Д56 35 .V7 .-г

ВЧ- 63

56

53

52

51

Фиг 5

Б 6

Фиг 7