Электростатическое крепежное устройство Советский патент 1974 года по МПК H02N13/00 B23Q3/15 

1

Изобретение относится к электростатическим крепежным устройствам и может найти применение в тех областях техники, где требуется закрепление электропроводящих как магнитных, так и немагнитных деталей при технологической обработке металлических и полупроводниковых объектов.

Известно электростатическое крепежное устройство, имеющее в качестве рабочего элемента полупроводящую плиту, нижняя поверхность которой металлизирована, а верхняя, рабочая поверхность покрыта тонким слоем диэлектрика. Источник высокого напряжения одним полюсом соединен с нижней стороной плиты, другим - с объемным контактным узлом, помещенным сбоку от плиты и расположенным над ней, например, в виде скобы. При наложении детали на рабочую поверхность плиты вплотную к контактному узлу образуется конденсаторная система, в которой одной обкладкой является закрепляемая деталь, другой - металлизированная сторона плиты. За счет энергии электрического поля такого конденсатора происходит закрепление детали.

При случайном нарушении контакта между деталью и контактным узлом усилие закрепления исчезает, кроме того невозможно обработать всю поверхность плоской детали, особенно малой толщины, из-за наличия контактного узла.

Цель изобретения - увеличить надежность закрепления деталей.

Это достигается тем, что вместо объемного контактного узла для подвода электрического потенциала к детали используется нанесенный непосредственно на рабочую поверхность плиты электрод в виде узких, равномерно

распределенных по поверхности металлических полос, пмеюи ;их постоянный контакт с одним полюсом источника высокого напряжения.

На фиг. 1 представлено электростатическое

крепежное устройство; на фиг. 2 - общий вид плиты с электродами.

Устройство состоит из полупроводящей плиты 1, закрепленной металлическими накладками 2 в корпусе 3. На нижнюю сторону илиты нанесен слой металла 4, играющий роль одного из электродов. Второй электрод 5 в виде узких полос шириной, например, 0,2- 0,5 мм и толщиной 5-10 мкм нанесен на рабочую поверхность плиты. Источник высокого напряжения 6 одним полюсом соединен с электродом 4, другим через корпус 3, накладку 2 и контактные площадки 7 - со вторым электродом 5. Расстояние между полосками второго электрода должно быть в два или более раза больше, чем толщина плиты.

Для закрепления одной или нескольких деталей необходимо установить их на рабочую поверхность плиты и подать напряжение на электроды. При снятии напряжения деталь открепляется.

Предмет изобретения

Электростатическое крепежное устройство деталей, содержащее блок питанйя, полупроводящую плиту, установленную в корпусе, электроды, один из которых выполнен в виде слоя металла и расположен на нижней стороне плиты, а другой расположен на верхней рабочей стороне плиты, отличающийс я тем, что, с целью увеличения надежности закрепления деталей, второй электрод выполнен в виде по крайней мере одной полосы металлической пленки, нанесенной на верхнюю

рабочую поверхность плиты.

и 2

Фиг. 2