Способ изготовления электровакуумного прибора Советский патент 1975 года по МПК H01J9/38 

1

Изобретение относится к области изготовления электровакуумных приборов и, в частности, к вопросам откачки и герметизации приборов.

Известный способ изготовления электровакуумных приборов заключается в размещении прибора в вакуумной камере с разнесением отдельных частей прибора, прогреве и откачке с последующим вакуумно-плотным соединением частей прибора с помощью пайки.

С целью повыщения качества изготавливаемых приборов, повышения их долговечности и надежности вакуумно-плотное соединение частей прибора осуществляют диффузионной сваркой при давлении в камере не выще 10 мм рт. ст., температуре соединяемых частей 450-650°С и времени приложения сжимающего усилия, необходимого для герметизации прибора, не менее 10-5 мин соответственно температурным режимам.

По предлагаемому способу осуществляют вакуумно-плотное соединение частей прибора после откачки и обезгаживания в вакууме диффузионной сваркой при определенных режимах.

Указанные технологические режимы процесса диффузионной сварки, используемого для герметизации электровакуумного прибора, исключают расплавление мест соединения прибора и повышение давления в нем в момент герметизации, что повышает качество прибора, т. е. надежность и долговечность.

Предмет изобретения

10

Способ изготовления электровакуумного прибора, заключающийся в размещении его в вакуумной камере с разнесением отдельных частей прибора, прогреве, откачке и последующем вакуумно-плотном соединении частей прибора, отличающийся тем, что, с целью повышения качества изготавливаемых приборов, повышения их дoлгoвeчнocJИ и надежности, вакуумно-плотное соединение частей прибора осуществляют диффузионной сваркой при давлении в камере не выще 10 мм рт. ст., температуре соединяемых частей 450-650°С и времени приложения сжимающего усилия, необходимого для герметизации прибора, не менее 10-5 мин соответственно температурным режимам.