Сплав для низкоомных прецизионных магнитов Советский патент 1975 года по МПК C22C27/00 

Изобретение относится к области приборостроения и микроэлектроники, в частности, к нриготовлеиню сплавов для тонкопленочных резисторов.

Известен сплав для низкоомных прецизионных резисторов, имеющий следующий состав, вес. %: креминй 52-60, хром 32-38 и HI;кель 8-10.

Однако этот сплав отличается низким удельным сопротивлением (порядка 500- 5000 ом/квадрат) и высоким температурным коэффициентом сонротивления (2-10- ) в интервале температур от -65 до 125°С.

С целью снижения удельного сопротивления и температурного коэффициента сопротивления резисторов предлагаемый сплав имеет следующее соотношение компонентов вес. %:

34-47

Кремний 1-7,5 Никель Остальное Хром изготовленный Тонкопленочиый резистор

методом вакуумного термического испарения

9

о/„

порощка сплава, имеющего состав, вес. о хром 50, кремний 38 и пнкель 6, обладает следующим составами:

Удельное новерхностное

соиротивление50 ом/квадрат

Температурный коэффициент сопротивления2 10-5 град- Доиустимая .мощность рассенпя4 вт/смФормула изобретения

Сплав для низкоомных прецизионных резисторов, содержащий кремний, хром и никель, отличающийся тем, что, с целью снижения удельного сонротивления и температуриого коэффициента сопротивления, он имеет следуюцип состав, вес. %:

Крем Mil и34-47

Иикель1-7,5

ХромОстальное