Устройство для герметизации электровакуумных приборов с помощью заглушки Советский патент 1975 года по МПК H01J9/38 

живания I горизонтально расположенным толкателем 17.

Устройство работает следующим образом.

После герметичного сочленения нрибора 4 с высоковакуумной камерой 3 печь обезгаживания 1 откачивается системой 2.

Толкатель 17, шарнирно связанный с рычагами 14, 15, обеспечивает перемещение штока 7 и ползуна 16 навстречу друг другу, в результате чего заглущка 6 поднимается вверх и открывает откачное отверстие прибора.

После проведения технологического процесса откачки прибора обеспечивают перемещение штока 7 с заглушкой 6, при этом сильфон

10растягивается, а сильфон 9 сжимается, причем деформация сжатия сильфона 9 прекращается в момент соприкосновения упора

11с ограничительной втулкой 13. При дальнейшем движении штока 7 вниз растягивается только сильфон 10.

После осуществления процесса диффузионной сварки заглущки 6 с прибором 4 в печь обезгаживания напускается газ при атмосферном давлении, и она разгерметизируется.

Готовое изделие (прибор) снимается с откачного поста.

Предмет изобретения

Устройство для герметизации электровакуумных приборов с помощью заглушки, содержащее печь обезгаживания, откачную систему, высоковакуумную камеру, расположенную внутри печи и герметично соединенную с обрабатываемым прибором, нагреватель, охватывающий герметизируемый участок прибора

и заглушку и механизм перемещения заглушки, установленный внутри высоковакуумной камеры, отличающееся тем, что, с целью уменьшения усилия герметизации и величины деформации материала, щток механизма перемещения заглущки подвижно закреплен в высоковакуумной камере с помощью двух коаксиально расположенных сильфонов и снабжен упорами, установленными выше и ниже внутренного сильфона и взаимодействующими при

движении щтока с ограничительной втулкой, находящейся в пространстве между сильфонами, а привод штока выполнен в виде двух рычагов, установлепных под углом друг к другу не менее 70° и шарнирно связанных со штоком, соосно расположенным с ним ползуном, размещенным в высоковакуумной камере, и герметично укрепленным на печи обезгаживания горизонтально расположенным толкателем.

77