Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы Советский патент 1976 года по МПК C23C11/00 

1

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для нанесения покрытий из парогазовых сред на длинномерные изделия.

Известно устройство для нанесения покрытий из газовой фазы на длинномерные изделия, содержащее камеру, внут|ри которой расположены захваты для крепления изделия, один из которых выполнен подвижным, экраны, токоподвод и систему подачи газа. Однако отмечается невозможность интенсификации процесса.

Цель изобретения - интенсификация процесса путем увеличения диффузионных процессов. Это достигается тем, что устройство снабжено стержнями из электропроводного материала, укрепленными между захватами электроизолированно от одного из них и соединенными с токоподводом.

На фиг. 1 и 2 представлено предложенное устройство.

Устройство состоит из камеры 1 и захватов, верхний из которых содержит крепежную муфту 2, гайку 3, дисковый изолятор 4, кольца 5 и 6, а нижний - болт 7, вуфту 8, изолятор 9 и кольца 10, 11, экраны 12, токоподвод 13 и стержни 14, смотровое окно 15, трубопровод 16 для подачи рабочей смеси и систему подачи газа (на чертеже не показана).

К токовводу 13 и болту 7, а также к кольцам 5 и 10 подводится напряжение от источника элект1роэнергии переменной мощности. В рабочей камере 1 расположены тепловые экраны 12 и она снабжена смотровым окном 15, через которое замеряется температура изделия и стержней 14. Рабочая камера 1 через трубопровод 16 соединена с системой подготовки паро-газовой смеси, а через трубопровод 17 - с улавливающей системой.

Для создания симметричных относительно оси изделия деформаций все стержни стержневой системы выполнены таким образом, что они равнопрочны и расположены на равном расстоянии друг от друга. Несимметричные относительно оси изделия деформации получают при использовании либо .неравнопрочных стержней, либо устанавливают их на неодинаковом расстоянии друг от друга.

При пропускании тока через стержни они нагреваются и изменяют, соответственно, свою длину. Посколько изделие в захватах закреплено жестко и прочность стержневой системы выше прочности изделия, то изменение длины стержней приводит к деформированию материала изделия, т. е. к его растяжению. Деформирование материала сопровождается возюпчновением в нем структурных дефектов дислокаций, являющихся путями легкой диффузии. В результате периодического нагрева и охлаждения стержней в материале изделия с такой же периодичностью возникают пути легкой диффузии.

В результате увеличивается интенсивность диффузионных процессов, а тем самым и интенсивность процесса нанесения покрытия. ТаКИМ образом, деформирование изделия приводит к возникновению путем легкой диффузии, а последние - к интенсификации процесса нанесения покрытия.

Для получения в изделии деформаций кручения стержни между захватами располагают под углом к оси изделия в плоскостях, параллельных образующим изделия (см. фиг. 2). Захваты выполнены таким же образом, как и в устройстве на фиг. 1. Стержни 14 расположены под углом к оси изделия, причем наклон всех стержней направлен в одну сторону nipH обходе захвата по периметру. Для нанесения иокрытия на изделие в рабочую камеру 1 через трубопровод 16 подается парс-газовая

смесь из системы ее подготовки. Далее изделие .нагревают до заданной температуры, после чего включают программный нагрев и охлаждение сте|ржней 14 от источника переменной мощности.

Предмет изобретения

Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы на длинномерные изделия, содержащее камеру, внутри которой расположены захваты для крепления изделия, один из которых выполнен подвижным, экраны, токоподвод и систему подачи газа, отличающееся тем, что, с целью интенсификации процесса путем активизации диффузионных процессов, оно снабжено стержнями из электропроводного, материала, укрепленными между захватами электроизолированно от одного из «их и соединенными с токоподводом.