Устройство для нанесения эмульсий и лаков в электроостатическом поле Советский патент 1976 года по МПК H05K3/28 B05B5/00 

1

Изобретение относится к облаетн электроннон теХНИКи и может быть использовано для нанесения копировальных эмульсий на заготовках печатных плат, полупроводниковых пластин при пронзводстве интегральных схем и масок для тонкопленочиой техники, а также при нанесении тонких изоляционных покрытий.

Известны устройства для нанесения эмульсий и лако)з в электрическом Ноле, содержаи;ее корпус с цилиндрическим королкрующим электродом, в полости которого, заполненной распыляемой жидкостью, размен еиа втулка, дозатор для подачи распыляемой жидкости в полость корпуса и привод.

Однако наличие в распыляемом метериале летучих органических растворителей, (толуол, ацетОН и др) вызывает загустение жидкости в кап.илярном зазоре распыления, частички жидкости нрисыхают к стенкам, образующим зазОр, тем самым засоряют его, в результате нарушается стабильность процесса. Кроме того, указанные растворители разъедают уплотнение из резины, питающей трубки, необходимое для предотвращения утечки распыляемого материала прн вращеини корпуса. Применение же фторопласта в качестве уплотняющего материала вызывает усложнение уплотняющего узла устройства.

2

С целью повыщення стабильности и интеиеивности распыления предлагаемое устройство снабжено свободно установленным в основании корпуса диском, на котором закреплена

упомянутая втулка, а привод |соединен с корпусом с возможностью передачи ему продольно-крутильных колебаний, кроме того, втулка размещена эксцентрично относительно оси коронируюи1,его электрода с возможностью изменения величины эксцентриситета.

Па чертеже дано предлагаемое устройство.

Уст юйство для нанесения эмульсий н лаков

в электростатическом поле содержит корпус

1 со смонтированным цилиндр.ическим электродом 2, жестко соединенный основанием с активиой частью электромагнитного вибратора 3 через изолятор 4. В цилиндрическом электроде эксцентрично установлена втулка 5 посредством соедииенного с ней диска 6,

имеющего кольцевой бурт на опорной илоскости н свободно размещенного в иолости корпуса 1 и соосно с ним, причем втулка соединена с диском с возможностью изменения расстояния между их осями с помощью эксцентричиой посадочной 1иоверхностн втулки.

В корпусе и диске выполнены сообщающиеся каналы. Для подвода распыляемой жидкости от дозатора 7 имеется гибкая питающая трубка 8, которая непосредственно присоедннена к каналу подачи корпуса 1.