УСТРОЙСТВО для НАНЕСЕНИЯ КОПИРОВАЛЬНЫХ ЭМУЛЬСИЙ и изоляционных ЛАКОВ в ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОМ ПОЛЕ Советский патент 1970 года по МПК H05K3/28 

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано для нанесен.ия копировальных эмульсий на заготовки печатных плат и для нанесения копировального слоя на полупроводниковые пластины при производстве интегральных схем и масок для тонкопленочной технологии, а также при нанесении тонких изоляционных покрытий.

Известны устройства для нанесения копировальных эмульсий и изоляционных лаков в электростатическом поле при помощи вращающихся грибковых, дисковых и чашечных распылителей и неподвижных лотков и щелевых распылителей, выполненные в виде коронирующего вращающегося электрода, нолость которого заполнена распыляемым материалом, снабженного дозатором, служащим для подачи распыляемого материала в полость электрода и приводным механизмом.

Известные распылители работают удовлетворительно только при нанесепии копировальных слоев и лакокрасочных покрытий толщиной свыше 8-10 мкм.

Однако посредством этих распылителей не удается достигнуть высокодисперсного распыления при равнодмерном нанесении копировальных слоев толщиной по 1-2 мкм, поскольку во вращающихся распылителях разбрасывание частиц происходит не только за счет электростатических, но и за счет центробен ных

сил, под действием которых с распылителя могут срываться достаточно крупные частицы толщиной до 30-50 мкм. Кроме того, в существующих лотковых и щелевых распылителях

не удается обеспечить при нанесении особо тонких копировальных слоев равномерного распределения осаждаемой эмульсии вдоль коронирующей кромки, что приводит к продольной полосчатости на покрываемой пластине.

С целью обеспечения наиболее тонкодисперсного распыления в предлагаемом устройстве в полости коронирующего вращающегося электрода, расположен поплавок цилиндрической формы, погруженный в распыляемую жидкость.

На фиг. 1 изображена схема предлагаемого устройства в продольном разрезе; на фиг. 2- схема взаимодействия поплавка и л :идкости.

Предлагаемое устройство состоит из вращающегося корпуса 1 с коронирующим электродом 2 и приводным шкивом 3, поплавка 4, представляющего собой полый цилиндр, выполненный из изоляционного материала, дозатора 5 с питающей трубкой 6, сиабженной уплотняющей манжетой 7, опоры 5, корпуса стокоподводящим контактом 9, закрепляемым гайкой 10, двигателя 11 со щкивом 12, приводного ремня 13 и плиты 14 для закрепления

Устройство работает следующим образом.

Распыляемая жидкость подается дозатором через питающую трубку во внутреннюю полость коронирующего электрода.

Поплавок цил.индрической за счет сил поверхностного натяжения притягивается к внутренней стенке коронирующего электрода, при этом между наружной поверхностью поплавка и внутренней поверхностью коронирующего электрода (см. фиг. 2) образуются две сужающиеся щели 15, по которым жидкость за Счет капиллярных сил поднимается над первоначальным уровнем. Высота поднятия жидкости в щели плавно увеличивается с уменьшением ширины щели и достигает максимального значения вдоль образующей, по которой соприкасаются поплавок с электродом, так как щель имеет наименьщую ширину. В связи с высокой заостренностью менисков 16, образовавшихся по обе стороны поплавка, на их вершинах жидкость распыляется и переносится под действием электростатических сил на покрываемую подложку.

Расход жидкости, образующей мениск, непрерыено восполняется поступлением ее снизу за счет -капиллярных сил.

В свою очередь расход жидкости из внутренней полости коронирующего электрода восяолняется поплавко.вым дозатО|ром, по.ддерживающим постоянный в полости уровень жидкости.

Распыляемая с вершин менисков жидкость образует на неподвижной подложке два пятна, называемых статическими отпечатками. При перемещении нодложки они, соответственно, превращаются в две полосы. Для увеличения диаметра статического отпечатка корпус вращается с небольшой скоростью, исключающей возникновение заметных центробежных сил и коронирующие вершины менисков, с которых происходит распыление жидкости, описывает окружности, при этом статический отпечатОК получается в виде кольца с диаметром, определяемым расстоянием коронирующих менисков от оси вращения.

Скорость вращения распылителя подбирается таким образом, чтобы при перемещении подложки относительно распылителя кольца статических отпечатков слились в сплошное

покрытие.

Применение нредлагаемого устройства дает определенный экономический эффект за счет снижения расхода распыляемых веществ, а также за счет повышения качества покрытий.

Предмет изобретения

Устройство для нанесения копировальных эмульсий и изоляционных лаков в электростатическом поле, выполненное в виде коронирующего вращающегося электрода, полость которого заполнена распыляемым материалом, снабженного дозатором, служащим для подачи распыляемого материала в полость электрода, и приводным механизмом, отличающееся тем, что, с целю обеспечения наиболее тонкодисперсного распыления, в полости электрода расположен поплавок цилиндрической формы, погруженный в распыляемую жидкость.

11

16

f Л