Способ очистки тетрахлорида герма-ния Советский патент 1976 года по МПК C01G17/04 

1

Изобретение относится к полупроводниковой промышленности.

Известен способ очистки тетрахлорида германия от сопровождающих его примесей, в особенности мышьяка, ректификацией исходного продукта. Однако такой способ имеет певысок чо степень чистоты конечного продукта по содержанию в нем мышьяка.

С целью устранения указанного недостатка предлагается процесс вести в присутствии добавок жидкого окислителя, например перекиси водорода.

Лри этом окислитель брать s количестве, не превышающем его раствори.мость в исходном продукте.

Пример 1. Технический тетрахлорид германия, содержащий более 6-10-з% мышьяка, заливают в куб насадочной ректификационной колонны диаметром 15 мм, высотой 1 м. Туда же добавляют 30%-кую перекись водорода в количестве, составляющем 1 % от объема очищаемого тетрахлорида германия. После проведения ректификации концентрация

мышьяка в средней фракции дистиллата составляет 2-Ю-во/

Пример 2. При проведении процесса описанным выше способом и с тем же исходным техническим тетрахлоридом германия в качестве окисл1 теля добавляют 2,5 об. % концентрированной nNOs. Концентрация мышьяка в очищенном продукте составляет 5 10-%.

Ф о р .м у л а изобретения

1. Способ очистки тетрахлорида германия от сопровождающих его примесей, в особенности мышьяка, путем ректификации исходного продукта, отличающийся тем, что, с целью повыщения степени чистоты конечного продукта, процесс ведут в присутствии добавок жидкого окислителя, например перекиси водорода.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что окислитель берут в количестве, не превышающем его растворимость в исходном продукте.