Вакуумное шлюзовое устройство Советский патент 1976 года по МПК C23C13/00 

положение изделия 10 через окно 13 попадает из отверстия штока 9 в вакуумную рабочую камеру 14. Одновременно следующее изделие под собственным весом перегружается из отверстия штока 7 в отверстие штока 8.

Таким образом, за каждый двойной ход ползуна 6 осуществляется подача изделия в вакуумную рабочую камеру 14. Процесс транс портировки осуществляется при непрерывной откачке камеры через патрубки 11 и 12.

При этом ступенчатый перепад давлений между атмосфере и вакуумной рабочей камерой создается за счет сопротивления перетеканию газа в щелевых зазорах между элементами корпуса 1 и штоками ползуна 6.

При использовании вакуумного шлюзового устройства для выгрузки изделий из вакуумных рабочих камер его крепят к камере снизу

в перевернутом положении окном 13 вверх. Работа устройства осуществляется по такому же циклу, как и при загрузке.

Формула изобретения Вакуумное шлюзовое устройство, содержа щее корпус с камерой и с размещенным в ней ползуном, в теле которого выполнены отверстия, служащие для размещения изделий, и механизм перемещения, кинематически связанный с ползуном, отличающееся тем, что, с целью уменьшения габаритов устройства, камера выполнена в виде разделенных горизонтальными перегородками и расположенных в шахматном порядке отсеков, в которых размещен ползун, выполненный в виде последовательно соединенных между собой штоков с соосными отверстиями.

3 Г / /J

5 Э

Ю JL г

;7:,ZS;:. .ii.;;,., .

L:-ii..}G

UL

7 «яет 7:1фжга1Ь-JKSS рвгк аяргдшз- ,

;j - 9

.r-7:s:.v;;