Устройство для присоединения кристаллов к ножкам полупроводниковых приборов Советский патент 1977 года по МПК H01L21/607 

местно с инструментом на каретке вертикальных перемещений, установленной на направляющих с возможностью двухкоорлинатного переме аения в гориэонтсшьной плоскости, а фиксирующие элементы в планке выполнены в виде отверстий/ контактирующих с траверсами приборов.

На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство для присоединения кристаллов. Устройство содержит каретку 1 горизонтального перемещения с электромагнитом 2, ;на которой установлен Г-образный кронштейн 3 с кареткой 4 вертикального перемещенкя. На каретке 4 вертикального перемещения ультразвуковая головка 5 с;инструментом б и планка 7 с отверстием 8 (для инструмента) и дву мя воронкообразными отверстиями 9 для траверс 10 ножки -11, которая жестко установлена в кассете 12, В планке 7 имеется отверстие 13, которое в процессе работы взaи jloдeйcтвyeт с кони ческим штифтом 14 направляющей 1,5.8 направляющей 15 расположены кристаллы 16.Толкатель 17 служит для подачи кристаллов 16 на позицию загрузки. ; В исходном положении электромаг- . ннт 2 фиксирует Г-образный кронштейнЗ относительно каретки 1 горизонтального перемещения. .

Под действием привода (на чертеже не показан) ультразвуковая головка 5 вместе с кареткой 4 вертикального перемещения и планкой 7 перемещается вверх, а затем - на позицию забора кристалла 16 и занимает такое положение, чтобы отверстие 13 в планке 7 было расположено над коническим штифтом 14. При движении ультразвуковой головки 5 вниз конусная часть штиф- ; та 14 попадает в отверстие 13 планки 7. В этот момент электромагнит 2 отключается, и при дальнейшем движении головки вниз инструмент 6 сами устанавливается относительно кристалла 16. Точное положение кристалла 16 относительно рабочей части инструмента б обеспечивается точной подачей кристалла 16 толкателем 17 в строго определенное место относительно штифта 14. После того, как инструмент 6 коснется кристалла 16,| включается вакуум, при помощи которого кристалл удерживается на инструменте, включается также электромагнит 2. При этом Г-обраэный кронштейн фиксируется от носительно-каретки 1. Под действием привода ультразвуковая головка 5 поднимается вверх и возвращается в исходное положение, т.е. на позицию присоединения кристалла.При опусканий

каретки 4 вниз траверсы 10 входят в воронкообразные отверстия 9 планки 7. В этот момент электромагнит 2 отключается, и Г-образный кронштейн 3,свободно перемещаясь в горизонтальной плоскости в двух взаимно перпендикулярных направляющих, не препятствует ориентации кристалла относительно траверс ножки прибора.После того,как траверсы войдут в цилиндрические части воронкообразных отверстий 9,происходит включение электромагнита 2, а, .следовательно, фиксация Г-образнсго кронштейна 3 относительно каретки 1 . В этом положении осуществляется присоединение кристалла к ножке прибора. Цикл повторяется.

В предложенном устройстве положительный эффект - повышение качества присоединения кристаллов - обеспечивается за счет того, что планка с фиксирующими отверстиями закреплена совместно с инструментом на каретке вертикальных перемещений, установленней на направляющих с возможностью двухкоординатного перемещения в горизонтальной плоскости. Установка планки совместно с инструментом на каретке вертикальных перемещений позволяет создать им единую базу и повысить этим точность присоединения кристаллов .

Формула изобретения

1.Устройство для присоединения

к ножкам полупроводниковых приборов, содержащее ультразвуковую головку со сварочным инструментом, закрепленную на каретке вертикальных перемещений, узел подачи кристаллов, узел базирования контактных площадок в виде плаки с фиксирующими элементами и отвертием для.инструмента, отличающееся тем, что, с целью повьииени качества присоединения кристалла,плака с фиксирующими элементами закреплена совместно с инструментом на .каретке вертикальных перемещений, установленной на направляющих с возможностью двухкоординатного перемещения .в горизонтальной плоскости.

2.Устройство по п.1,о т л и чающееся тем, что,с целью упрощения устройства, фиксирующие элементы выполнены в виде отверстий, контактирующих с траверсами прибора.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1.Авторское свидетельство 303678 кл.Н 01 L 21/00,1969.

2.Авторское свидетельство №41049 кл.Н 01 Ь 21/00, 1971.