Способ изготовления кварцевых резонаторов Советский патент 1978 года по МПК H03H3/02 

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРОВ

1

Изобретение относится к электрон,ной технике и может быть использовано при изготовлении кварцевых резонаторо

Известен способ изготовления кварцевых резонаторов, основанный на шлифовке, ультразвуковой химической очиске, прокалке, сортировке по чистоте и мягком травлении кварцевых кристаллических элементов | 13 .

Однако использование этого способа для неполированных кварцевых элементов приводит к получению резонаторов. и монолитных фильтров с неидентичнЕлми электрическими параметрами и низкой стабильностью по частоте.

Цель изобретения - повышение воспризводимости электрических параметров и улучшение стабильности частоты.

Для этого в способе изготовления кварцевых резонаторов после прокладки кварцевые кристаллические элементы подвергают глубокому химико-динамическому травлению в интенсивном травителе, например насыщенном растворе бифторида аммония. При этом кварцевым кристаллическим элементам сообщают круговое поступательное движение со скоростью от 0,05 до 0,2 м/сек. Глубокое химико-динамическое травление проводят вначале при повышенной температуре от +75 до +85 С, стравливая слой поверхности кварцевых кристаллических элементов, соответствующий трем величинам высоты микронеровностей их поверхности, а затем - при тем.пературе от +20 до +30с-, стравливая слой поверхности кварцевых кристаллических элементов, соответствующий двум величинам микронеровностей.

Технология способа состоит в следущем.

Производят ориентировку кварцевых кристаллических элементов, затем предварительную механическую обработку (резку, грубое шлифование). После окончательного алмазно-абразивного шлифования кварцевых кристаллических элементов, ультразвуковой химической очистки и прокалки кварцевые кристаллические элементы подвергают дополнительному глуьокому травлению с переменным уровнем травления, сообщая в процессе травления круговое поступательное движение в плоскости, параллельной главным поверхностям элементов со скоростью 0,05-0,20 м/с.Травление осуществляется в интенсивном травителе, например в насыщенном растворе бифторида аммония, в два этапа: при температуре 75 - 85°С стравливается слой кварца хэлщиной, равной трем величинам высоты микронеровностей шлифованной поверхности кристалличес кого элемента (первый этап травления Ори температуре 20-30 С стравливаетс слой кварца толщиной, равной двум величинам высоты микронеровностей шли фованной поверхности кристаллического элемента (Второй этап травления). На первом этапе травления шероховатость поверхности не изменяется. Температура раствора на втором этапе травления снижается, с целью исключения pidcxa и уменьшения микронеровностей поверхности кристаллически21 элементрв. Движение кристаллов в травйтёле в указанном выше режимё поэволяет сохранить гесматрическую форму главных поверхностей шлифованного элемента в процессе глубокого травления. После этого производят дискретную Сортировку по частоте, завершающее параллельное мягкое травление, вжиганиесерёбросодержашей. пасты, сборку и монтаж оснойного элемента резонатора в держатель, вакуумную термообработку, нанесение электродов, герметизацию, вакуумироваЬие и окончательное измерение параметров готового резонатора. Предлагаемый способ позволяет значительно с окрутит ЕГ время обработки кристалла и уменьшить трудоемкость подготонительньгх, работ (скорость удаления кварцЕ, 0,3 мкм/мин, т.е. почти на порядок выше, чем при известном способе). Формула изобретения 1.Способ изготовления кварцевых резонаторов, основанный на шлифовке, ультразвуковой химической очистке, прокалке,сортировке по чистоте и мягком травлении кварцевых кристаллически элементов, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизвс имocти электрических параметров и улучшения стабильности частоты, после прокалки кварцевые кристалличес1(ие элементы подвергают глубокому химикодинамическому травлению в интенсивном травйтёле, например насш:1енном раст Оре бифторида аммония, при этом кварцевым К15исталлическим элементам сообщают круговое поступательное движение со скоростью от 0,05 до 0,2 м/с. 2.Способ изготовления кварцевых резонаторов поп, 1, отличающийся тем, что глубокое химикодинамическое травление производят вначале при повышенной температуре от +75 до +85 С, стравливая слой поверхности кварцевых кристаллических элемендхэв/ соответствующий трем величинам высоты микронёровностей их поверхности, а затем - при температуре от +20 до +30С, стравливая слой поверхности кварцевых кристаллических элементов, соответствующий двум величинам микронеровностей. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1. Авторское свидетельство СССР № 462272, Г1КИ Н 03 Н 3/02, 1972.