Электродуговой испаритель металлов Советский патент 1979 года по МПК C23C13/08 

Изобретение от}1оснтся к технике нанесения металлических покрьтг-й в вакуумвр может быть использонг с ь качестве экспериментальь от о ичч технологического оборудования для получения покрытий, в частности, на поверхности труб

Известен электродуговой испарител металлов, содержащий анод, полый цилиндрический катод, охватывающий его соленоид, механизм осевого перемеыения катодного пятна ij .

Этот испаритель малонадежен из-за сложности конструкции,

Цель изобретения - упрощение устройства.

Это достигается тем, что со сторонй торцов катода установлены ;.атчики крайнего положения катодного пятна в виде кольцевых электродов, соединенных с механизмом осевого перемещения катодного пятна, который содержит токопроводящую шину., установленную снаружи катода параллельно его оси о

На чертеже схематически изображен электродуговой испаритель металлов,

Полый цилиндрический катод 1 изготовлен из испаряемого метал.-;а. Анодом 2 является напыляемое изделие о

сне с HiSM распело 1на которого Oi.ibm

катода расположен а 4 , В Гцилиндричесвченной катодом, в

кой полости f огоа;непссредстнекной 6 лкэости от его торпьпевые электроды UOB уСгаиэЕленн Io и 6, шина и Электр оды соед -;нены с выходом блока 7 пита нкя, У тораа катод аее устройство 8, Dan:. noji-Si-irac Испаритель т в .ный объе (ь:а чертеже не пек азан), в котором с качки создают разvioMCLiibio сисхе --;.у от режение 1 10 ьт р

Т г с т с

ОДУ 2 подводят пиК катоду 1 и ан постоянного тока танке от источника Соленоид 3 подклюнапряжен11ем 60 В„ итания, создающему чают к источнику п итного поля 30-60 напряженность мггк В магнитном поле с оленоида катодное с я S направлении, пятно дуги Еращгет линиям поля, т,е нормальном силоЕь:. по окр уж н о с т и, П р и пропускании по шине 4 тока в 50-200 Д. на поверхности катода вблизи шины появляется составльная полю солеляюи(ЗЯ поля, норма HOHj.a . В результа те силовые линии поля в районе проз одника с током ис дное пятно мещаетKp iS л ;:ЮТСЯ : К НТО

ся вдоль оси. Шаг .смещения зависит от силы тока в шине напряженности магнитного поля соленоида катода, расстояния между поверхностью испарения катода и токопроводящей шины„ Для того, чтобы катодное пятно дуги могло двигаться в разных направлениях, на катода установлены датчики крайнего его положения - кольцевые электроды 5 и б. Когда катодное пятно достигает конца катода, соответствую щий кольцевой электрод выдает сигнал на блок питания. Направление тока Б .цепи шины 4 меняется на противоположное, и катодное пятно дуги начинает двигаться обратно.

Формула изобретения Злектродуговой испаритель металлов, содержащий анод,, польгй цилиндрический катод, охватывающий его соленоид, механизм осевого перемещения катодного пятна, отличающийс я тем, что, с целью его упрощения, со стороны торцов катода установлены датчики крайнего положения катодного пятна в виде кольцевых электродов, соединенных с механизмом осевого перемещения катодного пятнаf который содержит токопроводяадую шину установленную снаружи катода параллельно его оси, при этом соленоид длиннее катода.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1., Патент США If- 3694691 кл. 315-108, .1970,

А

CZ3--

..™„ч.