Эффузионная камера Советский патент 1978 года по МПК B01L11/00 

Описание патента на изобретение SU617069A2

Изо.бретение может найти применение при физико-химических исследованиях равновесных давлений паров тугоплавких соединений. Известна эффузионная камера для испарения тугоплавких материалов, содержащая тигель-испаритель и отражатель, которые изготовлены из графита. Такая камера не позволяет точно измерить равновесные давления пара тугоплавких соединений переменного состава, которые в области гомогенности меняются но величине на несколько порядков. РГзвестна эффузионная камера по авт. св. № 452357, состоящая из ти.гля-иопар,ителя, выполненного из конгруэнтно-испаряющегося материала, отражателя из материала с активностью компонентов в газовой фазе, равной по величине или близкой к активности компонентов вещества, и из крышки с отверстием. Эта эффузионная камера позволяет определять значения равновесного давления inapa тугоплавких соединений неременного состава. Однако эта камера не пригодна для измерения значительных по величине равновесных парциальных давлений пара тугоплавких соединений, например TaN.,, Ta(CN)y, CrN,,, Cr(CN)y, VNy, V(CN)y и др., где г/-SCN/Me. Их равновесное давление по азоту при температурах 1500° С составляет от единиц до сотен мм рт. ст. Целью изо бретения является расширение диапазона измерения равновесных давлений и сел ед у е м ы х соеди нени и. Это достигается тем, что предлагаемая эффузионная камера сна бжена капиллярной трубкой, причем--,- 1100-«200000, где L - длина капиллярной трубки, мм; d - диаметр капиллярной трубки, мкм. На чертеже показана эффузионная камера. Эффузионная камера состоит из тигля-испарителя / для размещения исследуемого материала, отражателя 2, крышки 3 с отверстием 4 для выхода паров, капиллярной трубки 5, соединяющей полость эффузионной камеры с измерителем парциальных давлений 6, например омегатронным ИПДО-Л. Основные требования к отверстию в крыщке эффузиониой камеры по методу Кнудсена согласно кинетической теории газов следующие:о и ,01 , d 1ф« диаметр отверстия для истечения пара из эффузионной камеры; длииа свободного пробега молекул пара;

b - толщина стенки в отверстии эффузионной камеры;

D - днаметр эффузионной камеры. Максимальное давление, которое создается в эффузионной камере при методе Кнудсена, оценивается из выражения Снабжение камеры каннллярной трубкой с внутренним диаметром, в котором выиолляетоя условие /. в„, где doi/ - внутренний диаметр капиллярной трубки, расширяет на 2-3 Порядка рабочий диапазон предельных равновесных давлений тугоплавких соединений. Максимальное давление для капиллярной трубки с внутренним диа.метром и длиной (rfflV) определяется из равенства потоков для молекулярного течения газа через отверстие и участок вякуумной линии с капиллярным отверстием по выражениям

/Т 4-- -- (2)

/ т //Sif.Tp.

f Р. . Р, 38001/ -.Р, (3)

/ Af L-трде /pi,/2-потоки газов (при йз„- d), мм рт. ст. Р - проводимость отверстия .и капиллярной трубки, Т - температура, °К; М - молекулярный вес газа (пара), г; 2,2 - максимальное (предельное) рабочее давление в эффузионной камере с отверстием и с капиллярной трубкой соответственно. Максимальное давление по азоту, измеряеое эффузионной камерой с набором капилярных трубок методом Кнудсена, приведено таблице.

Похожие патенты SU617069A2

название год авторы номер документа
Эффузионная камера 1973
  • Андриевский Ростислав Александрович
  • Хромоножкин Владимир Васильевич
  • Хромов Юрий Федотович
  • Спивак Илья Иосифович
SU452357A1
Эффузионная камера 1981
  • Штейнер Геннадий Самуилович
  • Губин Михаил Михайлович
SU981871A1
Испаритель для нанесения многокомпонентных пленок 1975
  • Долидзе Гизо Федорович
  • Якашвили Джемал Владимирович
  • Вигдорович Валентин Наумович
  • Ухлинов Герман Александрович
SU544711A1
Способ легирования цинком подложек или слоев фосфида индия 2018
  • Петрушков Михаил Олегович
  • Путято Михаил Альбертович
  • Емельянов Евгений Александрович
  • Преображенский Валерий Владимирович
  • Семягин Борис Рэмович
  • Феклин Дмитрий Федорович
  • Васев Андрей Васильевич
RU2686523C1
Испаритель 1979
  • Мартынова Татьяна Николаевна
  • Корчков Валерий Петрович
  • Гранкин Виктор Михайлович
  • Гудкова Наталья Степановна
SU910842A1
УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ 2001
  • Качанов Евгений Григорьевич
  • Дербенев Леонид Владимирович
  • Федин Александр Викторович
RU2271409C2
СПОСОБ ПОДГОТОВКИ К ЗАПРАВКЕ ХОЛОДИЛЬНОГО АГРЕГАТА 2001
  • Русаков В.А.
RU2188990C1
СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ ПРОФИЛИРОВАННЫХ КРИСТАЛЛОВ ТУГОПЛАВКИХ СОЕДИНЕНИЙ 1999
  • Белоусенко А.П.
  • Колесов В.С.
  • Королев В.И.
  • Кравецкий Д.Я.
RU2164267C1
Способ выращивания малодислокационных монокристаллов арсенида галлия 1990
  • Антонов Владимир Алексеевич
  • Савельев Виктор Александрович
  • Булеков Михаил Алексеевич
  • Алешин Юрий Анатольевич
SU1730217A1
ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ТЕПЛОВАЯ ТРУБА 2001
  • Аракелов А.Г.
  • Синявский В.В.
RU2208209C2

Иллюстрации к изобретению SU 617 069 A2

Реферат патента 1978 года Эффузионная камера

Формула изобретения SU 617 069 A2

Сравнение значений Р-, в та-блице показывает расширение ра-бочего диапазона давлений ,не менее, чем на 2-3 порядка. С помощью эффузионной камеры из вольфрама, тигель-испаритель которой выполнен из конгруэнтно-испаряющегося нитрида титана (TiNo.ss), а отражатель - из исследуемого питрида ванадия (N0,75), снабженной капиллярной трубкой € внутренним диаметром эфф 250 мкм, ж из молибдена, соединяющей полость эффузионной камеры с измерителем парциальных давлений И.ПДО-1, измерены величины парциального равновесного давления азота в .интервале температур 145:0-1600° С. Значения равновесного давления азота для VNo,75 равны 45 и 350 мм рт. ст. соответственно, что близко к известным величинам. То есть в предлагаемой эффузионной камере но сравнению с известной эффузионной камерой достигнуто расщирение диапазона измерений рабочих давлений по азоту с 0,2 до 640 мм рт. ст;, что позволило определить упругость диссоциации нитрида ванадия. Формула изобретения Эффузионная камера по авт. св. № 452357, отличающаяся тем, что, с целью расщирения диапазона измерения равновесных давлений исследуемых соединений, она снабжена капиллярной трубкой, причем -т- 100-200000, где L - длина .капилляра, мм; d - внутренний диаметр капилляра, мкм.

X/

SU 617 069 A2

Авторы

Андриевский Ростислав Александрович

Хромов Юрий Федорович

Тимошенко Ирина Борисовна

Даты

1978-07-30Публикация

1976-07-12Подача