Испаритель для нанесения многокомпонентных пленок Советский патент 1977 года по МПК C23C13/12 

Изобретение относится к технологии получения тонких пленок и может найти применение в микроэлектронике для получения пленок сплавов и соединений заданного состава.

Получение тонких пленок сплавов и соединений методом резистивного испарения в вакууме связано со значительными трудностями в связи с тем, что при испарении исходного материала происходит его разделение на отдельные компоненты, улетучивающиеся с различными скоростями, определяемыми их парциальными упругостями паров. На поверхности подложки при их конденсации получается пленка, имеющая сложно изменяющийся состав по толщине.

Известны устройства для получения пленок сплавов заданного состава одновременными испарениями составляющих из разных источников.

Однако применение этих устройств связано со значительными трудностями, вызванными необходимостью регулирования и поддержания испарения отдельных компонентов для получения на подложке пленки материала заданного состава.

Известен испаритель, содержащий тигель, разделенный перегородками из материала тигля на коаксиально расположенные секции, число которых равно числу испаряемых компонент, и нагреватель, поддерживающий заданную температуру испарения. Для обеспечения стабилизации конденсата заданного состава на подложке поперечные сечения секций тигля выбраны в соответствии с требуемым

соотнощением парциальных давлений паров компонент.

Известный испаритель содержит секции, поперечные сечения которых должны с высокой точностью соответствовать требуемым соотношениям парциальных паров компонент, что затрудняет применение этого устройства в связи со сложностью его изготовления с требуемой точностью. Целью изобретения является получение пленок заданного состава.

Это достигается тем, что в испарителе для нанесения многокомпонентных пленок, содерл ащем тигель из тугоплавкого материала и нагреватель, тигель выполнен в виде пакета

закрытых с одного конца капиллярных трубок с диаметром, обеспечивающим подавление конвективного перемещивапия расплава.

На чертеже показан предлагаемый испаритель.

Нагреватель 1 состоит из коаксиально расположенных цилиндрических печек, пространство между которы.ми занимает тигель 2. Такая конструкция нагревателя обеспечивает равномерный подогрев тигля до нужной температуры. Тигель представляет собой связку с одного конца запаянных Трубочек диаметром, при котором конвективное перемешивание расплава подавлено. При включении нагревателя сплав нужного состава, помещенный в тигель, расплавляется и при достижении определенной температуры начинает испаряться. Спустя некоторое время после начала испарения (время переходного процесса), в расплавах устанавливается стационарное состояние, обеспечивающее их .конгруэнтное испарение. Формула Изобретений Испаритель для нанесения многокомпонентных пленок, содержащий тигель из тугоплавкого материала и нагреватель, отличающийся тем, что, с целью получения пленок заданного состава, тигель выполнен в виде пакета закрытых с одного конца капиллярных трубок с диаметром, обеспечивающим подавление конвективного перемешивания расплава.