Светочувстивтельная негативная композиция Советский патент 1978 года по МПК G03C1/68 

Изобретение относится к светочувст вительным негативным композициям, используемым при производстве печатных плат и интегральных микросхем в ф-отолитс графин.

Известна светочувствительная негативная композиция, включающая светочувствительный сополимер стирола и аляилового спирта, модифициоованный хлоран гвдридом фуранкарбоновой кислоты, сенсибилизатор-4,4 . -бис (диметиламино) .бензофенон и органический растворитель, например хлорбензол ij.

Недостатком известной негативной композиции является ее низкая светочув ствительиость.

Цель изобретения - повышение светочувствительности негативной композшши.

Поставленная цель достигается тем, что предлагаемая светочувствительная не гативная композиция, вк/гючающая светочувствительный сополимер стирола 4,4бис (диметиламнно) бензофенон и хлорбензол, в качестве светочувствительного сойолимера стирола содержит сополимер

стирола и п-формилстирола при следующем соотношении кокотонентов, вес.%:

Сопо/шмер стирола

3-5

и п -формилстирола

4,4-бис-(диметипамино) беизофенон

0,1-0,2

Хлорбензол Остальное

Предлагаемая композиция обладает повышенной светочувствительностью, входящий в ее состав сополимер стирола и П-формилостирола дешев и доступен.

Пример. Получение сополимера стирола и п -формилстирола.

1,ОО г (О,ОО8 моль) п-формилсти- рола; 1,42 г (О,О14 моль) стирола; О,0096 г (0,О25 моль/л) диШ1Т5 ила азоизомасляаой кислоты н 0,О12 г (о,025 моль/л) додецилмеркаптана помешают в ампулу, подсоединенную к форвакуумному насосу. Из реакционной смеси удаляют воздух, ампулу заполняют аз том. Сополимеризацию ггооводят в термостате при 7О ± О,О5 С в течение 4,5 ч. По окончании реакции ампулу охлаждают, содержимое растворяют в бензоле и высаждают 5-6-кратным избытком метилового спирта. Сополимер сушат до постоянного веса. Выход сополимера 1,84 г (76%)Сополимер представляет собой белый аморфный порошок. Содержание звеньев формилсткролр 3.7,2 мол.%. Мол.ввс образца 35,. П р и м е р 2. Получение негативно работающего защитного слоя. Готовят светочувствительную композииию следующего состава, вес.%: светочувствительный полимер 3-5, сенснбилнаатор О,1-О,2, растворитель - остальное На обезжиренную кремниевую подложку с напьшенным слоем алюминия нанося методом центрифугирования при 2,5тыс. об/мин, слой полимерной композиции ТОЛЩИНОЙ 0,15-0,20 мкм. Слой высушивают в течение 1О мин при комнатной температуре и 2О мин при 75-8ОС. Экспонирование фотослоя проводят методом контактной печати лампой ДРШ-25О на установке экспонирования и совмешення УСП-О2 при освещенности 2О25 тыслкжс в течение 30-35 с. Проявление изображения осуществляют погружением в раствор хлорбензола на 2 мин и высушиванием струей воздуха. Качество изображения контролируют с помощью микроинтерферометра МИИ-4. Разрешающую способйость светочувствительной компознови определяют с помощью штриховой миры (1ОО линий/м Получено четкое разрешение линий во всех элементах миры. Сушку Проявленного слоя (задубливанив) Осуществляют ступенчато: в течение 1О Mtfa при 110 С и затем 15 мин при 13О°С. Травление алюминия проводят горячей (85 С) ортофосфорной кислотой. КомПО.ЗИЦИЯ проявляет удовлетворительную тойкость к травителю в течение 8-10 мин, получены вытравленные рельефы. Предлагаемая композиция обладает светочувствительностью 1 10 лк с что на порядок выше светочувствительно сти композиции-прототипа. Кроме того, предлагаемая композиция обладает хорошей адгезией к алюминию и хорошей стойкостью к ортофосфорной кислоте, может использоваться в качестве негативного фоторезиста при производстве печатных плат и микросхем. Формула изобретения Светочувствительная негативная композиция, включающая светочувствительный сополимер стирола, 4,4-бис-(диметиламино) бензофенон и хлорбензол,о т л ичающаяся тем, что, с целью повышения) светочувствительности композиции, в качестве светочувствительного сополимера стирола композиция содержит сополимер стирола и П -формилстирола при следующем соотношении компонентов, вес.%: Сополимер стирола и it -формилстирола3-5 4,4-бис(диметиламйно) бензофенонО,1-О,2 ХлорбензолОстальное Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1. Патент США № 3738973, кл. 260-47, 1973.