Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано в приборйстроении при доводке монойристаллических пластин. Известно устройство для довоаки шшстин, содержащее рабочий диск и сепаратор со сквозными отверстиями для деталей, снабженный пере мешающимся по направляющим штоком с независимой регупь ровкой. Однако иэ-аа зазора между цнлннд рическнми поверхностями направляющих и штока Нельзя обеспечить параллельностн торцовой поверхности штока относительно опорной поверхиостн направляющей, а, следовательно, и осуществить строго плоскопараллельную обработку поверхностей плас тин. Цель изобретения - повышение точности обработки различных по высоте н размерам, плоскопараллельных поверхностей пластин. Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве направлжошйе выполнены в виде упругого колыш с продольными гофрами на наружной н внутренней поверхностях, а устройство снабжено шпонкой - гайкой, установленной в выполненном в штоке пазу с возможностью взаимодействия с введенным в устройство винтом, размещенным в направляющиХ| при этом на наружной поверхностн кольца выполнена кольцевая канавка, в которой помещено введенное в устройство пружинное кольцо. На фиг. t изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг, 2 - Приспособление для крепления обрабатываемых пластин,- разрез; на фиг. 3 - то же, вид сверху. Устройство состоит из механизма 1, снабженного генератором колебаний 2, на верхней подвижной частн которого закреплен съемный цилиндрический герметичный сосуд 3. На дне сосуда 3 в суспензии с помощью устройства 4, внутреннее кольцо которого служит сепаратором, закропяен рабочий диск в виде бархатного шлифрвальника 5, на котором расположены приспособления 6 с обрабатываемыми, пластнпами- 7. 1риспособление 6 состоит из штока 8, перемешаюшегося по направляющим, выполненным в виде упругого опорного кольца 9, шпонки-гайки 10, винта 11 и разрезного пружинного кольца 12. Шпонкагайка 10, введенная в продольный паз 13 штока, с винтом 11 фксируют положение штока по высоте относительно основания колЫ(а 9. Упругое опорное кольцо 9 выполнено с продольнб1ми гофрами 14 на наружной и внутренней поверхностях, расположенными симметрично .отверстию под. винт, и с кольцевой канавкой 15 под разрезное щ}7жиыное кольцо 12, Кольцо 12, помещенное в -канавку 15 заподлицо с наружными гофрами устраняет произвольное откручивание винта и возможные непродолжительные остановки приспособлений 6 иэ-аа зацепления друг за друга, т.е. обёснечивает надежную точную дoвoдky пяастин. Приспособление 6 с пластинами 7, закрепленными клеем на торцовой поверхности штока 8, устанавливаются на дне днлиидрического сосуда. При включении генератора колебаний приспособления совершают сложное движение по рабочему диску Пластины 7, например монокристаллы рассортированные по толщине, наклеиваются на новерхность штока 8. Каждый шток наклейкой пластины па его поверхноеть, предварительно притертую совместно с опорной поверхностью ynpyi ro опорного кольца, настраивается кольцом 9 иа высоту Н, равную толщине заготовки., После доводки одной плоскости пластины снимают со штока и наклеивают противоположной стороной. Затем процесс полирови повторяется. Беззазорное и бесповоротное соединение штока с упругим кольцом позволяет уменьшить высоту направляющей приспособления, осуществить регулирование расстояния без перекосов между торцовой поверхностью штока и основанием упругого опорного кольца, что обеспечивает повышенную точность обработки плоскопараллельных поверхностей пластин. Формула изобретения Устройство для доводки плоских и плоскопараллельных поверхностей пластин по авт. св. № 255794, отличающееся тем, что, с целью повышения точности обработки различных по высоте и размерам пластин, направляющие выполнены в виде упругого кольца с продольными гофрами на наружной и внутренней поверхностях, а устройство снабжено шпонкой-гайкоЙ, установленной в выполненном в штоке пазу с возможностью взаимодействия с введенным в устройство винтом, размещенным в направляющих, при этом на наружной поверхности кольца вьополнена кольцевая канавка, в которой помещено введенное в устройство пружинное кольцо.
