Стекло Советский патент 1979 года по МПК C03C3/10 

(54) СТЕКЛО

Изобретение относится к составам пегкоппавких стекол, используемых преимущественно в качестве изолирующих покрытий в попупрсфопниковой и радиоэлектронной промыщленности.

Известно стекло, применяемое для герметизации активных элементов полупроводниковых приборов, содержащее РЪО 65-75; Si Og 8-12;В2О,7-8; ZnO 5-15; Coo 0.5-3;CdO 0,5-1,5; W- Указанное стекло температуру оплавления с и коэффициент линейного термического расширения 85 1/°с.

Наиболее близким к изобретению SIBляется стекло, содержащее следующие компоненты, вес. %:

РЪО 75,8-77,3 BgOg 8,0-9,0 Si О 2 3,7-4,7 1,5-2,0 и кроме того, MnOg. 8,5-9,5 2

Стекло этого состава имеет температуру оплавления 460ilO С, коэффициент линейного термического расширения (90±5). Ю-Т 1/ С.

Целью изобретения является снижение температуры оплавления стекла.

Это достигается тем, что описываемое стекло, включакипее РЪО, BgOg jSiOjj AEgO I дополнительно содержит ;ит и zOs при следующем соотношении указанных компонентов, вес.%: РЪО

7i9-85;

BgO,

4-6,5

Sio| 8-12

ASgOj 0,5-2 0,5-4,5

2% 0,3-1.

Введение в состав стеклаАЛП20сов- местно с PjOj снижает температуру J размягчения стекла, и кроме того, снижает способность к восстановлениюРЪО, что обусловливает постоянство электрических характеристик изделий с покрытием из предлагаемого стекла при длительной sKcrmyaTautfH. Изолирующее покрытие обеспечивается толщиной 5070 мкм.

В таблице приведены конкретные примеры составов стекол.

Физико-механические свойства этих материалов показаны в табл. 2.

В качестве сырьейых материалов для варки cтelшa могут быть использо79,7 5,3

12 0,5 1,5 1 Температура опяавпе314 305 яия, С Коэффициент термического расширения °с) Дпэпектрическая 6,5 7,0 проницаемость Удельное объемное Ю-б 10 сопротивление, Адгезия к эйекгрова-. 190190 куумному стеклу, кг/см Химстойкость (потери веса) к вод9 0,О20,03 к 0,1 NHCg, мг/да/ 4,75,2 Температура варки, С 10001000

721654

Ваны: окись свинца, борная кислота, кремневая кислота, фтористый алюминий, окись марганца, фосфорнокислый .аммоний марки Ч и ХЧ.

Предложенное стекло относится к ти пу химически стойких изолирующих легкоплавких стекол и предназначено для использования в радиоэлектронной промышленности в качестве тонкопленочных

покрытий материалов. ло

Таблица 1

82,8 80 81 84,5

2 6,5

4

5,8 4,5

4 8,4

10 2 0,7 9,2 11 8

0,7 1,0 2

0,5 0,3 0,8 0,6

Таблица2 88 306 310 308 300 89 87 93 6,8 7,9 8,3 9,3 loV 10 10 190190190190 0,020,030,020,035 4,85,55,66,1 10009501000100О

5 672165 4

Формула изобретенияSiOg 8-12

,AegOa 0,5-2

Стекло, включающее PbO.BgOj.e.iOg. 0,5-4,5

AtgOg o тличающееся тем, О,3-1,О .

что, с цепью снижения температуры плав-Источники информации, принятые во

ления, оно дополнительно содержит МПг Од внимание при экспертизе

иТ ОуПри следующем соотношении ука-1- Авторское свидетшьство СССР

эанных компонентов, вес.%:№ 349652,, С ОЗ С 3/tO, 1971,

79-852. Авторское свидетельство СССР

BjO- 4-6,5№ 471319, С 03 С 3/12, 1973.