(54) ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ ГЕРМАНИЯ
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Травитель для выявления дислокаций в кремнии на плоскости (100) | 1980 |
|
SU947233A1 |
| Способ травления монокристаллов метаниобата лития | 1981 |
|
SU990892A1 |
| Способ выявления дефектов структуры в монокристаллах германия | 1989 |
|
SU1710605A1 |
| Состав для травления монокристаллов германата свинца Р @ G @ О @ | 1990 |
|
SU1738878A1 |
| СПОСОБ ВЫЯВЛЕНИЯ СТРУКТУРНЫХ ДЕФЕКТОВ В МОНОКРИСТАЛЛАХ | 1998 |
|
RU2151445C1 |
| СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ ОКСИДНЫХ НЕЛИНЕЙНЫХ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И ОПТИЧЕСКИХ МОНОКРИСТАЛЛОВ | 2014 |
|
RU2558898C1 |
| Травитель монокристаллов тугоплавких металлов | 1979 |
|
SU881158A1 |
| СПОСОБ ВЫЯВЛЕНИЯ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ ДЕФЕКТОВ ДИСЛОКАЦИЙ | 2009 |
|
RU2403648C1 |
| СПОСОБ ВЫЯВЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ | 1989 |
|
RU1639341C |
| СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПЛОТНОСТИ ДИСЛОКАЦИЙ В МОНОКРИСТАЛЛАХ ГЕРМАНИЯ МЕТОДОМ ПРОФИЛОМЕТРИИ | 2015 |
|
RU2600511C1 |
Изобретение относится к электронной технике, а именно к изучению структуры реальны54 кристготлов, в частности к изучению дислокаций в германиевых монокристаллах.
Известен травитель для выявления дислокаций на монокристаллах германия, имею1дий состав: HNO-, - 4 ч., HF - 2 ч. и 15 ч. IJ , а также травитель СР - 4 состава: HNO 25 ч., HF - 15 ч., СН.СООН - 15 ч., Вг - 0,3 ч. 2 .
Ни тот, ни другой из названных травителей не выявляет линий дислокаций на поверхности германия, они выявляют лишь места выхода дислокаци на поверхность кристалла в виде ямок травления. Выявление линий дислокещий позволяет судить о механизмах зарождения и движения дислокаций в твердом теле, а также о качестве криста.пла.
Линии дислокаций обычно выявляют методом рентгенотопографии, основанном на дифракции рентгеновских лучей на кристаллической решетке твердых тел. Разрешающая способность этого метода не превышает 5-10 мкм. Кроме того, этот метод сложен и трудоемок .
Наиболее близким к предлагаемому является травитель для германия, содержащий азотную и уксусную кислоты З.
К недостаткам этого травиталя можно отнести высокую скорость травления, не позволяющую выявить линии .дислокаций.
Целью изобретения является выяв0ление линий дислокаций в монокристаллах германия.
Указанная цель достигается тем, что травитель дополнительно содержит воду при следующем соотношении
5 компонентов, об.ч.:
HNO {конц.).5-40
(ледяная) 40-85 H,jO ,Остальное
Отличие данного состава от при0веденных выше заключается в том, что реакция автокаталитического окисления германия продуктами диссоциации азотной кислоты подавляется относительно высокой концентраци5ей уксусной кислоты, введение которой снижает степень диссоциации НМОзРастворение окислов германия происходит не плавиковой кислотой, а водой. Оба этих фактора снижают скорость 0 реакции на 2-3 порядка по сравнению
