Способ изготовления акустического поглотителя Советский патент 1980 года по МПК H03H9/00 

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ АКУСТИЧЕСКОГО ПОГЛОТИТЕЛЯ

Изобретение относится к области техншш СВЧ, а именно к технологии изготовления звукопроводов акустических поверхностных волн, в частности, элементов линий задержки.

Известен способ изготовления ультра- пористых металло-керамических сред, получаемых посредством электрофореза и последующего спекания при высокой температуре JL .

Недостат1 ом этого способа является высокая температура спекания материала и высокая стоимость технологического процесса изготовления керамики; к тому же, полученная таким способом среда обладает нысоким входньтм акустическим сеттротивлением.

Известен также способ изготовления акустического поглотителя, заключающийся в нагревании и осаждении паров металла в вакууме на пористую подложку ,

Недостатком способа является невоз- можность получения поглотителя с заданным законсм поглощения акусттеского сигнала.

Цель изобретения заключается в упрощении процесса изготовления акустическое го поглотителя с определенным законом поглощения.

Это достигается тем, что подложку пропитывают парами металлорганического соединения и нагревают до температуры его разложения с образованием в порах среды металла, причем, процесс осаждения проводят до заданной степени заполнения пор путем создания температурного градиента на подложке.

На чертеже приведен один из вариантов схемы технологической установки для получения акустического поглотителя указанным способен.

Устройство состоит из термостата 1 для загрузки металл-органического соединения, диффузора-рассекателя 2, необходимого для перемешивания паров в случав осаждения металлических смесей, подложки 3, нагревателя подложки 4, вентильной системы 5 и вакуумной установки 6 для откаинвания реаюшонного объема. Изготовление поглотителя проводят сл дующим образом. В качестве подложки для акустического поглотителя использую например карбонильный никель с размерами пор 0,1-10 мкм. Подлож1ш загружают в кварцевый горизонтальный реактор, который оттачивают до вакуума рт.с отжигают образцы при температуре 6ОО°С в течение одного часа для удаления сле дов влаги и адсорбированных в порах газов, а затем охлаждают до 80 С и напускают пары бисбензолникеля, заливаемо го в термостат и поддерживаемого там при температуре 85° С. Рабочий вакуум в процессе насыщенгш подложек парами бисбензолникеля 0,05-0,1 мм рт.ст. Затем нагревают подлоиасу до температуры С и осуществляют осаждение на никелевую подложку. Скорость роста металла составляет 2,4-34,5 нм/м при изменении температуры от 340 до 390 С. Время полного смыкания пор определяют по насыщению- кривой акустичес кого сопротивления образца эмпирическим методом. В качестве металла, заполняющего поры подложки, можно использовать никель, медь, ниобий, тантал, вольфрам и др. Подбирая металл пор и подложки, а также заполняя поры смесью металлов или последовательно различными слоямиметалла, можно изменять вели1ину акустического сопротивления в широких пределах. Максимальное ослабление акустического сигнала на подложках из никеля с никелевым наполнителем достигает 32 дБ. Рабочая температура устройств, полученных данным способом,составляет 300°С. Использование изобретения позволит создавать тип звукопроводов с заданным законом схзлабления акуст гчеСкого сигнала. Формула изобретения Способ.-изготовления акустического поглотителя, заключающийся в нагревании и осаждении паров металла в вакууме на пористую подложку, отличающий- с я тем, чТо, с целью упрощения процеоса изготовления акустического поглотителя с определенным законом поглощения, подложку пропитывают парами металл- ор , ганического соединения и нагревают до температуры его разложения с образованием в порах среды металла, причем, процесс осаждения проводят до заданной степени заполнения пор путем создания температурного градиента на подложке. Источники, информации, принятые во внимание при экспертизе 1,Патент Франп.пи № 2251351, кл. О 04 В 21/00, 1974. 2.Патент США № 3825779, кл. 31O/9S, 1973 (прототип).

Ф