Устройство для травления кварцевых пластин Советский патент 1980 года по МПК H03H3/02 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ ПЛАСТИН Изобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано при изготовлении кварцевых резонаторов. Наиболее близким техническим решением к предлагаемому изобретению является устройство для травления кварцевых пластин, содержащее измерительный приемник с генератором, счетно-решающий блок, ванны смачивания, травления, ультразвуковой промывки, обезжиривания и суишльную камеру 1 Однако в. этом устройстве производится группов.ь; травление пластин, при.котором происходит перетравливание одних и недотравливание других пластин. Использование известного устройства приводит к увеличению брака и не обеспечивает точной подгонки частоты кварцевых пластин. Целью изобретения является повышение производительнооти труда и. обеспечение точности подгонки частоты кварцевых пластин. Цель достигается тем, что в устрой ство .для травления кварцевых пластин содержащее измерительный приемник с генератором, выход которого соединён с входом счетно-решающего блока, ванны смачивания, травления, ультразвуковой промывки, обезжиривания и сушильную камеру, введены поворотный механизм, выполненный в виде карусели качающихся рычагов, и программный механизм, выполненный в виде программной пластины с размещенными на ней по окружности управляющими выступами и блока управления рычагами, при этом выступы программного механизма расположены над соответствующими отверстиями поворотного механизма/ а выход счетно-решающего блока соединен с входом блока управления рычагами. На фиг. 1 -показана кинематическая схема предлагаемого устройства; на фиг. 2 - схема взаимодействия карусельного механизма с качающимися рычагами; на фиг. 3 - функциональная схема управления процессом. Устройство содержит электродвигатель 1, через редуктор 2 соединенный с двумя полушестернями 3 и 4, через которые вращение передается на шестерню 5, сидящую на одном полом валу 6 с карусельной пластиной 7, и на кривр шип 8, находящийся в зацеплении ;Лом 9, на котором закреплена npoi

Мйая пластина 10. Совмещение каруселной-пластины с программной пластиной обеспечивает выступ 11. На пластине 7 по всей окружности на осях 12 в СТойках 13 размещены качающиеся рычаги 14 (журавли). Пружина 15 удерживает рычаг 14 в нижнем положении, а пружины 16 с фиксаторами 17 удерживают рычаги в верхнем положении. На длинном конце рычага размещена изготовленная из фторопласта люлька 18, на коротком конце журавля установлены ролики 19, взаимодействующие с программной пластиной 10. Последняя оборудована по окружности управляющими выступами 20-22, которые обеспечивают подъем и опускание рычагов (журавлей). Управление выступами 20 осуществляется блоком управляющих электромагнитов 23. Рычаги с люльками, в которых находятся кварцевые пластины, проходя технологический цикл, опускаются поочередно в ванны 24-27 .смачивания, травления, ультразвуковой промывки, обезжиривания и сушильную камеру 28.

Устройство содержиттакже измерительный приемник с генератором 29 и счетно-решающий блок 30.

Устройство для травления кварцевых пластин работает следующим образом. Вращение вала электродвигате- . ля 1 через редуктор 2 передается на полушестерни 3 и 4. Количество зубьев, диаметр и расположение зубчатых зацеплений 4-5 и 3-8 подобраны так, что обеспечива.втся поочередная работа пластин 7 и 10, причем на цикл (т. е. один оборот вала редуктора) происходит один поворот на угол об карусельной пластины 7 и два возвратно-поступательных вертикальных перемещений программной пластины 10. Выступы 11 и отверстия 31 на карусельной пластине 7 расположены так, что обеспечивается совпадение качающихся рычагов (журавлей) 14 строго в одной вертикальной плоскости с управляющими выступами 20-22 после каждого очередного поворота на угол od карусельной пластины 7. Конфигурация управляющих выступов 20-22 программной пластины обеспечивает подъем, опускание и сохранение состояния (при отсутствии выступов) рычага по ::есткой программе и те же манипуляции по перестраиваемой (гибкой) программе (для ванны травления) , автоматически настраиваемой по результатам измерения пьезоэлеметов для каждого пьезоэлемента, находящегося в люльке 18 рычага 14.

На первом такте рычаг (журавль) 14, находящийся в зоне приемника 29 поднимается и люлька 18, пустая при начальной загрузке или с пьезоэлементом, уже прошедшим обработку травлением, заходит в окно приемника 29. На втором такте люлька 18 выдит из приемника, кварцевая пластина остается в приемнике измерительного генератора, где замеряется частота пластины, а счетно-решающий блок 30 вычисляет время дополнительного травления. По принятому решению счетнорешаюЩего блока кварцевая пластина поступает в кассету готовых изделий, или остается в приемнике, или идет в брак. На третьем такте в приемник 29, если он свободен, поступает новая пластина, для которой определяется количество циклов травления На чертветом такте люлька поступает в приемник и захватывает новую или недоработанную пластину. Во время пятого такта все рычаги (журавли) поворачиваются на один шаг () .

Кварцевая пластина опускается в ванну 25 травления при помощи электромагнита и управляющего выступа 20 по сигналу счетно-решающего блока на вычисленное количество (по времени) циклов движения карусели. В конце ванны травления все рычаги (журавли) поднимаются и, пройдя перегородку, опускаются в ванну 26 ультразвуковой промывки, а далее - в ванну 27 обезжиривания и сушильную камеру 28 по жесткой программе техпроцесса до поступления кварцевых пластин вновь в измерительный приемник.

Все такты движения фиксируются концевыми датчиками, .сигналы поступают в счетно-решающий блок 30, который осуществляет управление установкой.

Предлагаемое устройство позволяет повысить .производительность, так как процесс измерения и травления пластин осуществляются непрерывно и последовательно один за друтим, устанока травления не простаивает Б ожидании завершения предварительной сортировки. Время травления каждой пластины рассчитывается и реализуется индивидуально, что устраняет возможность перетравливания или недотразливания пластин, обеспечивая тем самым точность подгонки частоты кварцевых пластин. Интервал разброса частоты уменьшается в 10-15 раз. Перевака пластин из кассеты в зазор и обратно, а такж выгрузка готовой или бракованной партии изделий происходи только один раз, что приводит к сокрашенню выхода пластин в брак из-за сколов. Выход годных кварцевых резонаторов увеличивается на 9-12%.

Формула изобретения

Устройство для травления кварцевыхпластин, содержащее измерительный приемник с генератором, выход которого соединен с входом счетнорешающего блока, ванны смачивания, травления, ультразвуковой промывки, обезжиривания и сушильную камеру.

отличающееся тем, что, с целью повышения производительности труда и обеспечения точности подгонки частоты кварцевых пластин, в него -введены поворотный механизм, выполненный в виде карусели качающихся рычагов и программный механизм, выполненный в виде программной пластины с размещенными на ней окружности управляющими выступами и блока управления рычагами, при этом выступы.

программного механизма расположены под соответствующими отверстиями .поворотного механизма, а выход счетно-решающего блока соединен с входом блока Управления рычагами.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Глюкман Л. И. Производство пь езоэлектрических кварцевых резонаторов. Энергия , 1964, с. 109-113.

/7

Ю

1