Халькогенидное стекло Советский патент 1980 года по МПК C03C3/12 

Изобретение относится к составам халькогенидных стекол и может быть использовано в микроэлектронике, оп электронике, ИК-технике. Известно халькогенидное стекло 1, включающее, ат.%: As 5-35 Те 60-80 Ga Однако это стекло обладает низко температурной размягчения, малой шириной запрещенной зоны и высокой проводимостью и используется в качестве терморезисторов, высокопрово дящих припоер и элементов памяти. .Наиболее близким к изобретению по составу является халькогенидное стекло, содержащее ат,%: мышьяк 2060, теллур 40-80. Стекло характеризуется шириной запрещенной зоны 0,8 1,0 эВ, температурой размягчения 90 , легко кристаллизуется при нагревании . Недостатком халькогенидного стек ла на основе мышьяка и теллура является слабая сцепляемость его при нанесении слоя стекла на основу, например на керамические или стеклянные подложки. Для увеличения сце пяемости слоев или пленок этого состава с материалом основы необходимо повышение класса чистоты обработки поверхности основы, а также применение специальных методов очистки поверхности, которые существенно усложняют и удлин-яют технологический процесс нанесения слоев или пленок и увеличивают стоимость изготавливаемого изделия. Цель изобретения - повышение адгезии к стеклу и керамике. Поставленная цель достигается тем, что стекло, содержащее As,Те, дополнительно содержит А6 при следующем соотношении компонентов, ат, %; As 19-4a Те 48-76; А& 2-15 Халькогенидное стекло синтезируют следующим образом. П.р и м е р 1. Вымытую кварцевую ампулу помещают вверх дном в градиентную , верх которой имеет температуру при длине зоны 10 см. В ампулу вводится кварцевая трубка, по которой в объем ампулы со скоростью 1 мл/мин подаются пары ацетона без примеси воздуха. Процесс пиролитическрго разложения паров ацетона на стенках ампулы проводят 10 мин. В графитизированную описанным способом ампулу помещают 1,475 г мышьяка

марки В-3, 2,501 г теллура марки В-3 и 0,230 г алюминия марки А-999. Ампулу с шихтой помещают в печь, нагретую до 950-ibboc, и выдерживаютв течение получаса с периодическим перемешиванием расплава в графитиэированной части ампулы, Ре сплав охлаждают за калкой в хблодную воду.

Пример 2, Подготовка ампу ПУ и СййТёэ стекла проводятся также, как и в примере 1, но берут 0,506 г мышьяка, .3,446 г теллура и 0,048 г алюминия,

Пример 3,Берут 1,077 г мышьяка, 2,752 г теллура, 0,171 г алюмиЙШ Й алёе, как в примере 1.

Свойства стекол приведены в таблице , ,

Полученные стекла легкоплавки, не изменяют физико-химических характеристик при хранении в течение года, имеют высокую кристаллизационную способность.

При найесении расплава стекла, содержащего алюминий, в инертной атмосфере на кварцевую подложку сила сцепления стекла с основой составляет 4,2 - 6,1 кгс/см, fe то время как сцепление -известного стекла с кварцевой подложкой, прошедшей аналогичную подготовку, не превышает 0,5 кгс/см,

Таким образом, применение стекла, содержащего алюминий, позволяет улучшить сцепляемость стекла с материалом основы по сравнению с прототипом в 8-12 раз, не изменяя других физико-химических характеристик прототипа.

- ,rrfv7,

Формула изобретения

Халькогенидное стекло, включаю:щеё As, Те., о т ли ч а ю щ е е(я ,что, с целью повышения -адгезии к стеклу и керамике, оно двполяительно содержит А при следующем соотношении компонентов, ат, %: ,

As 19-48 Те 48-76 А 2-15

Источники информации, принятые во вынимание при экспертизе

1,Авторское свидетельство СССР № 630232, кл, С 03 С 3/12, 1977.

2.Патент Франции I 1465528, кл.С 03 С, опублик, 1967,