Устройство для визуального контроля плоских изделий Советский патент 1980 года по МПК H01L21/66 

1

Изобретение относится к производству интегральных схем, в частности к технологии контроля и отбраковки готовых изделий.

Известно устройство для визуального просмотра интегральных схем (ИС) , представляющее собой кассету, состоящую из корпуса и крышки. В корпусе кассеты выполнены ячейки в виде пазов и выступов, ограниченные с торцов глухими стенками корпуса. Загрузка ИС в корпус кассеты осуществляется вручную (пинцетом).После проведения визуального осмотра ИС в корпусе ДИП с одной стороны, удалив бракованные ИС пинцетом, оператор; накрывает корпус кассеты крышкой, вкоторой также выполнены ячейки в . виде пазов и выступов, но в негативном изображении по отношению к корпусу. Перевернув кассету на 18# оператор снимает корпус кассеты и , проводит визуальный осмотр другой стороны корпусов ИС. Удалив бракованные схемы, оператор заполняет свободные места в кассете заведомо годными ИС и возвращает все ИС вторичньп.1 поворотом на 180 кассеты, т.е. обратной перегрузкой в корпус кассеты. Га-г1:)узкл ьассеты осуществляется вручную в-специальные емкости внавал.

Недостатком известного устройства является то, что конструкция кассеты не позволяет вести всесторонний осмотр ИС, так ка,к остаются труднодоступные для глаза оператора места на корпусе ИС, в частности боковые стороны, что не обеспечивает 100%-но10 го выявления брака. К числу недостатков кассеты также следует отнести большие затраты ручного труда, отчего резко снижается производительность на операции визуального

5 контроля.ИС. Кроме того, появляется неудобство в использовании этого устройства для контроля ИС в плоских корпусах из-за отсутствия фиксатора изделий l .

20

Наиболее близкой по технической сущности к предлагаемому является установка визуального контроля, содержащая загрузочно-разгру-зочный

25 механизм, направляющие, привод, узел фиксации изделий, в которой пластины поштучно подаются из кассеты загрузки этажерочного типа по направляющей в зону контроля, где они

30 фиксируются. После визуального контроля пластина поступает по направляющей в кассету разгрузки 2.

Однако известная установка не позволяет производить возврат ИС иа позицию контроля и вести всесторонний осмотр ИС, что не обеспечивает 160%-ного выявления брака. Кроме того, конструкция установки сложна, а сама установка малопроизводительна.

Цель изобретения - повышение производительности труда и упрощение конструкции.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для визуального контроля плоских изделий, содежащем кассету с ячейками для плоски изделий, держатель, плоских изделий и загрузочно-разгрузочный механизм, держатель плоских изделий выполнен в виде пластины, установленной на наклонном поворотном основании, причем на одной из граней пластины выполнены ступенчатые выступы с шагом равным расстоянию меиоду ячейками касеты, а загрузочно-разгрузочннй механизм снабжен направляющей, закреп ленной на поворотном основании, и

пластиной для кассеты,установленной с возможностью перемещения по напраляющей .

На фиг.1 схематически представлено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг.2 - схема расположения изделий на пластине; на фиг.3 устройство, вид спереди.

Предлагаемое устройство для контроля внешнетхз вида полупроводниковых приборов состоит из наклонно установленной пластины 1, имеющей на одной из граней ступеньки 2, на которых располагаются контролируемые изделия 3 (позиция контроля), а загрузочио-разгрузочный механизм 4 выполнен в виде продольной направляющей 5 и перпендикулярно установленной площадки 6 для кассеты 7 с ячейками 8 для контролируемых изделий 3. Пластина 1 и загрузочноразгрузочный механизм 4 установлены на наклонном поворотном основании 9

Устройство работает следующим образом.

Кассета 7 с заполненными ячейками 8 контролируемыми изделиями 3 устанавливается на площадку б. Затем (вручную) ее перемещают,вниз вдоль продольной направляющей 5 до упора (фиг.З). При этом каждые изделия 3 опускаются на ступеньку 2 (фиг.2) ,так как шаг ступеньки 2 равен расстоянию от начала одной

ячейки 8 до начала соседней (фиг.1) После проведения контроля изделий 3 с бдной стороны пластину 1 поворачивают на поворотном основании 9 на 90- направо и налево от первоначального положения для контроля с боковых сторон. Для того чтобы осуществить контроль противоположной стороны изделий, кассету 7 поднимают вверх вдоль продольной направля ющей(фиг.З). При этом каждое изделие 3 располагается в своей ячейке 8 в кассете 7, т.е. устройство возвра:щается в исходное положение. Затем, кассету 7 поворачивают на 180 ,вновь устанавливают ее на площадке 6. Осуществляют аналогичный процесс контроля изделий с противоположной стороны.

Держатель изделий 3 в виде пластины со ступеньками ус ановлен на осQ новании наклоненным под углом в 9-12® к горизонту. Такой наклон пластины обеспечивает надежное удержание изделий на позиции контроля. Кроме того, наличие поворотного основания обеспечивает визуальный осмотр (контроль) со всех сторон.

Формула изобретения

Устройство для визуального контроля плоских изделий, преимущественно интегральных схем в плоских корпусах, содержащее кассету с ячейками ; для плоских изделий, держатель плоских изделий и загрузочно-разгрузочный механизм, отличающеес я тем, что, с целью повышения производительности работы и упрощения констру кции, держатель плоских

изделий выполнен в виде пластины, установленный на наклонном, поворотном основании, причем на одной из граней пластины выполнены ступенчатые выступы с шагом, равным расстоянию между ячейками кассеты, а загрузочно-разгрузочный механизм снабжен направляющей, закрепленной на поворотном основании, и пластиной для кассеты, установленной .с возможностью перемещения по направляющей.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Тара для корпусов ДИП Fe 10Т-11-00. Тех.документация. 2. Установка для визуального контроля фирмы Cobilt OivJsion ComputerVision Corporation.- Soiid state Technoioqy, 1973, № 8 (прототип).