Способ изготовления фольговыхТЕНзОРЕзиСТОРОВ HA МЕТАлличЕСКОйОСНОВЕ Советский патент 1981 года по МПК G01B7/16 

1

Изобретение относится к измерениям, а именно к технике изготовления тензорезисторов.

Известен способ изготовления тензорезисторов на металлической основе, заключающийся в подготовке поверхности основы, нанесении на нее подслоя жаростойкого материала, механическом закреплении материала решетки тензорезистора,на подслое, нанесеНий на наружную поверхность решетки жаростойкого цемента l 1.

Недостатком известного способа является то, чтсэ практически невозможно получить подслой жаростойкого материала с равномерной контролируемой толщиной. Это снижает метрологические характеристики тензорезисторов из-за разброса свойств партии датчиков.

Кроме того, способ трудоемок и требует применения специального оборудования.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является способ изготовления тензорезисторов на металлической основе, заключающийся в том, что на тензорезистивную фольгу наносят фотоэмульсию, репродуцируют и травят ее 2.

Недостатком известного способа является его трудоемкость и метрологическая нестабильность свойств жаростойкого слоя при высоких температурах.

Цель изобретения - повьаиение метрологических характеристик тензорезисторов при высоких температурах и упрощение технологии изготовления.

Указанная цель достигается тем, что на металлическую основу наносят 5 калиброванный по толщине слой стекла, укладывают на него тензорезистивную фольгу, соединяют их путем обработки под давлением при температуре плавления стекла и, после репродуцирования и травления, покрывают наружную поверхность тензорезисторов слоем стекла.

Сущность способа заключается в тоц, что на одну из сторон металлической основы, например из сплава Х18Н9Т толщиной 50-156 мкм наносят электрофоретическим или другим способом слой стекла толщиной 10-15 мкм и размером зерна 0,5-1,0 мкм, укладывают на слой стекла тензорезистивную

фольгу из сплава типа Х20Н75Ю толщиной 5-10 мкм и соединяют цх между собой путем обработки под давлением при температуре плавления стекла.

Далее на наружную поверхность тензорезистивной фольги наносят фотоэмульсию, репродуцируют и травят поверхность, фольги. После удаления фоторезиста, наружная поверхность чувствительных элементов тензорезисторов покрывается калиброванным слоем стекла толщиной 10-15 мкм, температура плавления которого на 30-5О°С ниже температуры плавления стекла, нанесенного на металлическую основу

Предлагаемый способ может найти применение при изготовлении фольговых тензорезисторов на металлической основе сб стабильными метрологическими характеристиками. Использование различных химических составов стекол наноси№1х. на -металлическую основу и наружн§ ю ;поверэ{:ность тензорезисторов позволит «использовать их в нужном температурном диапазоне и требуемых физико-химических условиях.

Формула изобретения

Способ изготовления фольговых тен зорезисторов на металлической основе

заключаюдийся в том, что на тензорезистивную Фольгу наносят фотоэмульси репродуцируют и травят ее, о т л и чающийся тем, что, с целью повышения метрологических характеристик тензорезисторов при высоких температурах и упрощения технологии изготовления, на металлическую основу наносят калиброванный по толщине слой стекла, укладывают на него тензорезистивную фольгу, соединяют их путем обработки под давлением при температуре плавления стекла и, посл репродуцирования и тра:вления, покрывают наружную поверхность тензорезисторов слоем стекла.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Ильинская л. С. и др. Высокотемпературные тензорезисторы на основе жаростойких окислов. М., Энергия, -1973.

2.Авторское свидетельство СССР

№ 200859, кл. G 01 В 7/18, 1966 (прототип) .