Карусельная вакуумная печь Советский патент 1981 года по МПК F27B9/16 

(54) КАРУСЕЛЬНАЯ ВАКУУМНАЯ ПЕЧЬ

Изобретение относится к термичес. кому оборудованию для обработки изделий электронной техники. Известна карусельная вакуумная печь, содержащая шлюзовую и технолог ческие камеры, установленные на промежуточной камере, в которой установлены карусель для перемещения садок из одной технологической камер в другую и механизмы с индивидуальны приводс1ми для возвратно-поступательного перемещения садок ввертикальном направлении и для поворота карусели. Количество механизмов с индивидуальными приводами определяется количеством технологических камер, разобщаемых с базой, и кроме того необходим механизм привода карусели Шлюзовая и технологические камеры, разобщаемые с базовой камерой, а та же и она имеют необходимые вакуумные или газовые системы для получения в них нужной контролируемой среды fll . Недостатком указанной печи является наличие нескольких механизмов с индивидуальными приводами с подвижными вакуумными уплотнениями в каждом. Известна карусельная вакуумная печь, содержащая шлюзовую и технологические камеры, объединенные промежуточной камерой с устройством перегрузки. Шлюзовая и технологические камеры снабжены индивидуальными откачными постами. Технологическая камера охлаждения также снабжена индивидуальным откачным постом и выполнена разобщенной от базовой камеры, в которую вводится инертный газ для интенсификации процесса охлаждения за счет теплопроводности газаС2. Однако разобщение камер с базовой камерой осуществляется дисковыми затворами. Для поджима дисковых затворов в базовой камере установлены -механизмы, содержасше поворотноподъемные рычаги с индивидуёшьными приводами. Наличие нескольких механизмов с индивидуальными приводами требует надежную систему блокировки на их срабатывание, исключающую сбой в последовательности срабатывания механизмов, так как наличие технологических камер с вакуумом и газовой средой, объединенных одной базовой камерой, при неправильной .после довательности срабатывания механизмов приводит к порче обрабатываемых

деталей из-за потери вакуума во все камерах. Необходимость применения в одной установке нескольких вакуумных уплотнений для возвратно-поступательного и вращательного перемещений штоков механизмов с индивидуальным приводом приводит к частой остановке печи для технологического обслуживания этих уплотнений, так как известно/ что надежных и долговечных вакуумных уплотнений, особенно дая поступательных перемещений, не существует. И кроме того такие подвижные уплотнения являются. источниками натеканий, отрицательно влияющих на работу вакуумных установок.

Цель изобретения - обеспечение высокой эксплуатационной надежности печи.

Поставленная цель достигается выполнением устройства в виде концентрично установленных обечаек и платформы с подвесками и расположенного на промежуточной камере привода вращения обечаек,- имекицего редуктор с мальтийскими механизмами, водило одного из них имеет возможность осевого перемещения, и каждый соединен со своей обечайкой, при этом на внутренней стороне наружной обечайки выполнена лекальная копирная канавка, на внутренней обечайке вертикальные пазы, а платформа имеет пары копирных роликов, установленных в пазах и канавке. С целью ускорения охлаждения садки одна .из технологических камер имеет концентрично установленный тороидальный цилинд а корпус камеры выполнен полым и образует с цилиндром канал.

На фиг. 1 изображена печь, разрез на фиг. 2 - наружная обечайка; на фиг. 3 - развертка наружной обечайки; на фиг. 4 - внутренняя обечайка: на фиг. 5 - развертка внутренней обечайки.

Печь содержит технологические камеры 1 и 2 и шлюзовую камеру (на чертеже не показана), укрепленные на промежуточной камере 3 с устройством перегрузки, включающим концентрично установленные обечайки 4 и 5, платформу 6 и привод. В перегрузочной KeiMe e сцентрирована обечайка 4 шестью парами конических роликов 7. Внут|)енняя обечайка 5 сцентрирована и зафиксирована относительно наружной обечайки тремя парами роликов 8 и 9, а платформа 6 тремя роликами 10 сцентрирована относительно внутренней обечайки 5.

Внутренняя обечайка 5 три вертикальные паза 11, а на внутренней поверхности наружной обечайки 4 выполнена канавка 12, платформа 6 имеет три пары роликов 13 и 14, установленные в пазах 11 и канавке 12,. и подпружиненные иски 15 для

герметизации технологических камер и подвески садок 16. ,

Привод содержит электродвигатель 17, соединенный через редуктор 18 с мальтийскими механизмами включающими мальтийскиег кресты 19, водило 2 которое выводится из зацепления с мальтийском крестом 19 в осевом направлении кулачком 21 посредством рычага 22, а фиксируется мальтийский крест 19 на время вывода водила 20 диском 23. Каждый мальтийский крест 19 соединен через заключенный в сильфон 24 вывод с шестерней 25.

Одна из технологических камер камера 2 охлаждения имеет концентрично установленный тороидальный охлаждаемый цилиндр 26, а .корпус камеры выполнен с охлаждаемой рубашкой . Промежуточная камера 3 закреплена на станине 27.

Работа печи осуществляется следующим образом.

После установки обрабатываемых деталей в садку через шлюзовую камеру и герметизации ее происходит откачка этой камеры и технологической камеры 3 остывания с инертным газом до необходимого разрежения. После чего начинается вращение наружной обечайки 4 на 60 при остановленной внутренней обечайке 5 и происходит подъем ролика 13. в пазу 11, ролика 14 по канавке 12, и платформа 6 с садками поднимается из шлюзовой и технологических камер в перегрузочную. После поворота наружной обечайки 4 на бО автоматически от кулачка 21 вводится в зацепление водило 10 мальтийского механизма внутренней обечайки 5 и начинается синхронное вращение обечаек 4 и 5 на 90°, в результате чего происходит круговое перемещение садок для смены ими технологических камер. Далее автоматически тем же кулачком 21 водило 20 мальтийского механизма внутренней обчайки 5 выводиться из зацепления с мальтийским крестом, он фиксируется, и внутренняя обечайка 5 останавливается , а наружная продолжает вращатьс еще на 60. В результате этого происходит опускание садок в технологические камеры и необходимая их герметизация. После этого оба водила 20 мальтийских механизмов останавливаются, происходит наполнение технологической камеры остывания инертным газом, и начинается интенсивное охлаждение термически обработанных деталей, а в другой технологической камере начинается процесс термической обработки следующих деталей. На этом цикл работы печи заканчивается.

Указанные углы поворота обечаек взяты для печи, с одной шлюзовой и тремя технологическими камерами. 65 Для большего количества технологи|ческих камер синхронное вращение обеих обечаек соответственно меньше i Применение предлагаемой печи позволяет улучшить качество обработки, повысить производительность труда. Формула изббретения 1. Карусельная вакуумная печь, содержгицая шл|озовую и технологические камеры, объединенные промежуточной камерой с устройством пере рузки, отличающаяся тем что, с целью обеспечения эксплуатационной надежности, устройство для перегрузки выполнено в виде концентрично установленных обечаек и платформы с подвесками и расположенного на промежуточной камере привода В1 а1цения обечаек, -имеющего редуктор с МЕШьтийскими механизмами, водило

одного из них имеет возможность осевого перемещения, и каждый из которых соединен со своей обечайкой,при этом на внутренней стороне наружной обечайки выполнена лекальная копирная . канавка, на внутренней обечайке вертикальные пазы, а платформа имеет пары копирных роликов, установленных в пазах и к.навке обечаек. 2. Печь по п. 1, отличающаяся тем, что, с целью ускорения охлаждения садки, одна из технологических камер имеет концентрично установленный тороидальный цилиндр, а корпус самвры выполнен полыми и образует с цилиндром канал. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР 585222, кл, С 21 И 9/00, 1975. 2.Авторское свидетельство СССР 165481, кл. С 21. D 9/00, 1963.