Станок для изготовления сферического шлифа Советский патент 1979 года по МПК B24B5/00 

(54) СТАНОК ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СФЕРИЧЕСКОГО ШЛИФА

Изобретение относится к технике механической обработки материалов и может быть исполь зовано в производстве полупроводниковых структур при проведении контроля их электрофи зических параметров. Известен станок для изготовления сферического шлифа, включающий сферический шлифовальник, кинематически связанный через водило с приводом, установленный в гнезде с возможностью колебательного движения 1. Недостаток этого станка заключается в том, что шлифовальник имеет ограниченные колебательные движения; это приводит к снижению качества обрабатываемой поверхности. Цель изобретения - повышение качества обрабатываемой поверхности. Это достигается тем, что предлагаемый станок снабжен нажимным устройством, установленным с возможностью силового взаимодействия со сферическим шлифовальником вдоль оси привода.На фиг. 1 изображен описываемый станок, общий вид; на фиг. 2 - узел шлифовальника. На металлическом корпусе 1 закреплена плита 2, на которой размещены наводящее устройство, опора 3 с установленным на ней сферическим шлифовальником 4 и нажимным устройством 5, микролифт 6, электропривод 7, предметный столик 8 с вакуумной присоской и вакуумный вентиль 9, ванна 10 для шлифовального состава, очиститель 11 и емкость 12 для сбора шлака. Внутри корпуса 1 размещены элементы электронной схемы, обеспечивающей питание, управление, сигнализацию и отключение привода. Наводящее устройство состоит из микроскопа 13 и предметного столика 8, который выполнен с возможностью поворота на 180° в вертикальной плоскости. На станке можно устанавливать сферические шлифовальники различных размеров. Опора 3 вьшолнена с коническим гнездом для шлифовальника. Нажимное устройство 5 фиксирует шлифовальник 4 в гаезде опоры 3. Свободный конец поводка 14 кинематически связан с приводом шлифовальника посредством телескопического шарнира, причем шарнир вы370полней с возможностью перемещения по радиусу водила 15. Станок работает следу)щим образом. Обрабатываемую полупроводниковую структуру устанавливают на предметном столике 8. С помощью наводящего устройства выставляют заданиз о точку топологии ползшроводниковой структуры в зону шлифования. Открывают вакуумный вентиль 9 и структура закрепляется на предметном столике посредством вакуумной присоски. Поворачивают предметный столик на 180 и устанавливают на микролифт 6, с помощью которого структуру вводят в контакт со щлифовальником 4. Ванну 10 заяолняют шли фовальным составом и включают электропривод 7. Шлифовальный состав подается шлифовальником из ванны в зону обработки. Шлак снимается со шлифовальника очистителем 11 и собирается в емкости 12. Электронная схема отключает привод шлифовальника при достижении заданной глубины шлифования. Использование предлагаемого станка позволяет повысить качество обрабатываемой поверхности. Фор м у ла изобретения Станок для изготовления сферического шлифа, включающий сферический шлифовальник, кинематически связанный посредством водила с приводом, установленный в гнезде опоры с возможностью колебательного движения, о тличающийся тем, что, с целью повышения качества обрабатываемой поверхности, он снабжён нажимным устройством, установленным с возможностью силового взаимодействия со сферическим шлифовальником вдоль оси привода. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 538535, кл. В 24 В 5/00, 1974.