Устройство для измерения удельного сопротивления Советский патент 1980 года по МПК G01R1/06 H01L21/66 

ке 5 на равные углы за счет упругого шарикового фиксатора 6, на которой установлен привод для перемещения эондовой головки вдоль радиуса турели, содержащей реечно-зубчатуго передачу 7 и жестко соединенную с корпусом зондовой головки направляющую 8. Основание 1 снабжено направляющей 9 в виде рельса, на которой установлен держатель слитка полупроводникового материала, выполненный в виде двух пар пластин 10 и 11, установлен ных под углом одна к другой, имеющих возможность взаимного возвратно-поступательного перемещения посредстве винтовых пар с левой 12 и правой 13 направлениями резьбы и направляющей 14, Направляющая 9 снабжена подвижными упоргиуш 15 и 16, причем упор 15 размещен на пластинах 10 и служит дл базирования торца слитка, а упор 16 для поджатия торца слитка к упору 15 Винтовой зажим 17 предназначен для фиксации пластин 10 и 11 и упора 16 в любом положении направляющей 9. Устройство для измерения удельного сопротивления по торцу слитка работает следующим образом. Предварительно измеряют диаметр слитка и по шкгше (ра чертеже не показана) с помощью винтовых пар 12 и 13 и направляющ1 х 14 устанавливают пластины 10 и 11 держателя слитка в положение, соответствующее диаметру слитка, при этом автоматически совме щается ось симметрии слнтка с осью 4 вреццения турели 3. С помощью подвижного упора 16 под жимают контролируемый торец слитка к базовому упору 15, и приводом с реечно-зубчатой передачей 7 по шкале (}fa. Чертеже не показана) устанавливгиот зондовую головку на нужный радиус вращения на турели 3. Поворотом турели 3 на необходимый угол подводят зонды к точкам контактирования, лежащим на одной окружности, и провсдят измерения. Изменяя радиус вращения зондовой головки 2 на турели 3, последовательно измеряют удельное сопротивление по всему сечению. Формула изобретения Устройство для измерения уд льного сопротивления, преимущественно полупроводниковых материалов, содержащее основание, зондовую головку с механизмом ее перемещения и держатель слитка полупроводникового материала, отл и чающееся тем, что, с целью повышения производительности, механизм перемещения зондовой головки выполнен в виде турели, на которой размещена зондовая головка с возможностью ее перемещения по рсцщусу турели, а основание снабжено направляющей с подвижными упорами для перемещения держателя слитка полупроводникового материала, выполненного в виде двух пар пластин с возможностью из взаимного возвратно-поступательного перемещения. Источники информации, принятые во внимание при зкспертизе 1. Батавин В.В. Контроль параметров полупроводниковых материалов и эпитаксиальных слов. М.,Советское радио 1976, стр. 13, рис. 8. 2. Патент США 3312893, кл. 324-64, 1967 (прототип).