Устройство для измерения электрических параметров полупроводниковых приборов на лентоносителе Советский патент 1975 года по МПК H01L21/66 

Устройство работает следующим образом.

При включении привода перемещения лентоносителя - щагового механизма (на чертежах не показан) полупроводниковый прибор с двусторонним расположением корпуса относительно лентоносителя перемещается по пазу 9 предметного столика 7 к позиции измерения. Одновременно срабатывает электромагнитный привод 3, и держатель зондовой головки 4 по направляющим 2 движется также к позиции измерения. При своем движении держатель зондовой головки 4 профильным кулачком 6 взаимодействует с толкателем 14 рычага 13, и последний, растягивая пружину 15, перемещает по пазу 10 П-образный упор 12, обеспечивая тем самым подпор снизу контактных площадок выводов. После этого происходит контактирование щупов 5 зондовой головки с контактными площадками выводов полупроводникового прибора.

После контроля прибора в случае выявления брака по сигналу измерителя механизм маркировки 8 осуществляет вырубку бракованного корпуса, оставляя в целостности лентоноситель. Затем зондовая головка отводится вверх, освобождается толкатель 14 рычага 13, и пружина 15 возвращает П-образный упор 12 в исходное положение, освобождая паз 9 для прохода нового прибора. В случае годности прибора маркировочный механизм не срабатывает.

Предмет изобретения

Устройство для измерения электрических

параметров полупроводниковых приборов на лентоносителе, содержащее корпус, в котором размещен держатель с зондовой головкой, число контактирующих щупов которой соответствует числу выводов прибора, предметный столик и механизм маркировки, выполненный в виде вырубного щтампа, отличающееся тем, что, с целью упрощения устройства и исключения механического повреждения выводов, оно снабжено П-образным

упором, установленным в пазу предметного столика па позиции измерения, соединенным с приводом держателя зондовой головки посредством подпружиненного рычага, толкатель которого взаимодействует с неподвижным профильным кулачком, установленным на держателе зондовой головки.

Фиг,

иг 2

15Jц

ffuz3