ВСЕСОЮЗНАЯ I _ , .^.-.-^ргмл Trvt*-"'''' if ft ''<'• il^a;:HiHU"iLAH-; .с !*Й;;; Советский патент 1973 года по МПК B24B5/00 B24B11/00 

1

Известно устройство для изготовления сферического или цилиндрического шлифа, например, на полупроводниковой пластине, выполненное в виде предметного столика, несущего пластину, обрабатываемую принудительно приводимым в движение шлифовальником.

Предлагаемое устройство отличается от известного тем, что оно снабжено .центрирующей планкой с гнездом, жестко закрепленной на вертикально перемещаемых упорах. Это отличие позволяет получить щлиф необходимой глубины в заданном месте.

На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг. 3 - лриспособление для центрирования сферических шлифовальииков и изготовления сферических щлифов определенной глубины; на фиг. 4-разрез по А-А на фиг. 3; на фиг. 5 - приспособление для центрирования цилиндрических щлифовальников и изготовления цилиндрических шлифов ооределенной глубины; на фиг. 6 - разрез по Б-.6 на фиг. 5.

-Устройство компануют на металлическом корпусе /. На верхней панели корпуса располагают микроокоп 2 бинокулярный стереоскопический типа МБС-2, прицельное приспособление для центрирования сферических или цилиндрических шлифовальников и получения сферических, или цилиндрических шлифов

оцределенной гл бины, гибкий вал 3 с цаиговы.м наконечиико.м. В устройство входит набор сферических и цил-индрических шлифовалъииков .из неметаллических материалов. Внутри

корпуса размещеиы электропривод и элементы электрической схемы, обеспечивающей питание, управление, сигнализацию И выключение привода и нагревательного устройства предметного- столика. Управление электрической схемой осуществляется с лицевой па1нели корпуса.

Прицельное приспособление обеспечивает установку образца относительно центрирующего устройства шлифовальников. Оно состоит

из микроскопа 2, предметного столика 4 и центрирующей планки 5. Предметный столик выполнен с нагревателем для закрепления образца лелеющими составами и имеет возвратно-поступательное перемещение и поворот

на 360°.

Во3(вратно-поступательное перемещение столика осуществляется с помощью винта 6 и гайки 7 в направляющих 8. Поворот столика осуществляется с помощью гайки 9. Для отсчета угла поворота предусмотрена шкала 10. В устройстве используются сферические // и цилиндрические 12 шлифовальники различных размеров, изготовленные из неметаллических материалов (древесина, эбонит, деревопласт и т. д.).

В устройстве имеется приспособление для изготовления сферических шлифов, состоящее из комплекта лодпружиненных центрирующих планок 5 с гнезда-ми для шлифовальников разного диаметра, выставляемых в нужное положение упорами 13 и 14 с помощью гаек 15 с отсчетом по шкале 16, а также приспособление для изготовление цилиндрических шлифов (фиг. 3), включающее подпружиненные центрирующие планки 5 С гнездами для шлифовалвников, выставляемых в нужном положении уиорами 17 « 14 с помощью гаек 15 с отсчетом по шакале 16. Цилиндрический шлнфощальнИК закрепляется на планке с помощью держателя 18.

Работает устройство следующим образом.

Обрабатываемый образец наклеивают на предметный столик прицельного приспособления. Объектив микроскопа устанавливают лад центром гнезда центрирующей планки. Затем с помощью предметного столика выставляют место обработки образца относительно центра гнезда центрирующей планки. Гайками и упорами центрирующих приспособлений планку

устанавливают в положение, соответствующее заданной глубине изготавливаемого шлифа.

Сферический шлифовальник требуемого размера закрепляют в цанге наконечника гибкого вала электропривода, приводят во вращение и опускают в гнездо планки.

В случае изготовления цилиндрических шлифов цангу наконечника гибкого вала подсоединяют к валу цилиндрического шлифовальника. Обработку образца ведут до тех пор, пока лодпружиненная планка не коснется упоров.

Предмет изобретения

Устройство для изготовления сферического или цилиндрического щлифа, например, на полупроводниковой .пластине, выполненное в виде предметного столика, несущего пластину, обрабатываемую принудительно приводимым в движение щлифовальником, отличающееся тем, что, с целью получения шлифа необходимой глубины в заданном месте, устройство снабжено центрирующей планкой с гнездом, жестко закрепленной на вертикально перемещаемых упорах.

If

ТЧ

,

10

/4

Фиг. 4

/7

в