(54) УСТРОЙСТВО СОВМЕЩЕНИЯ МАСОК И ПОДЛОЖЕК ДЛЯ,НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ УСТАНОВОК
1
Изобретение относится к микроэлектроннрй технике и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных блоков микроэлектроники.
Известно устройство совмещения масок и подложек, содержащее держатели масок и подложек t jЭто устройство работает с недостаточной темностью.
Известно также устройство совмещения масок и подложек для напылительных установок изготовления тоНкопленочных блоков микроэлектроники, содержащее неподвижный диск с держателями масок и подвижйый днем с держателями подложек, установленные соосно, и механические вакуумные ВВО4Ы, кинематически связанные с подвижным диском f 2 .
У этого устройства тот же/недостаток.
Цель изобретения - повышение точности совмещения масок и подложек.
Указанная цель достигается тем, что.в устройстве совмещения масок и подложек для напылительных установок, содержащее неподвижный диск с.держателями масок и подвижный диск с держателями подложек, установленные соосно, и механические вакуумные вводы, кинематически связанные с цодвижньм диском, держатели масок выполнены в виде подвижных рамок с возможностью перемещения в двух взаимно перпендикулярных направлениях, расположенных в плоскости, параллельной держателям подложек, которые снабжены упорами,
10 взаимодействуюп ими с рамками.
На фиг. 1 изображен продольный разрез устройства; на фиг. 2 - вид сверху на держатель маски.
15
Устройство содержит неподвижный 1 и-подвижный 2 диски, на которых установлены держатель 3 для маски 4 и держатель 5 для подложки б.Днск 2 установлен на валу 7 с возможностью
20 врёццения посредством зубчатой передачи 8, связанной с вакуумным вводом 9. Он может также перемещаться по вертикали с помощью вакуумного ввода 10.
Держатель 3.выполнен в виде подвижной рамки, установленной на неподвижном диске 1 с возможностью взаимно перпендикулярного перемещения.
Штифты 11 и отверстия 12 предназначены для предварительного совмещения дисков 1 и 2.
Толкатель 13 снабжен роликом 14,а подвижный диск 2 имеет наклонную плоскую пружину 15, предназначенную для перемещения толкателя 13 в радиальном направлении вдоль диска 1 при опускании диска 2. Упоры 16 и кромки 17 держателя 3 предназначены для окончательного точного совмещения маски 4 с подложкой 6.
При помощи шариков 18 и пружин 19 держатель 3 подвижно связан с толкателем 13. В исходном положении толкатели прижаты к штифтам 20 плоскими пружинами 21.
Устройство работает следующим образом.
При опускании диска 2 с помощью вакуумного ввода 10 штифты 11 заходят в отверстия 12 диска 1. При этом происходит предварительное совмещени дисков.
При дальнейшем опускании диска 2 пружина 15, воздействуя на ролики 14 перемещает толкатель 13, а вместе с ним и держатель 3 с маской 4, в радиальном направлении до контакта кромок 17 с упорами 16. При этом осуществляется точное совмещение масок 4 с подложками б за счет возможности дополнительного перемещения держателя 3 в перпендикулярном направлении по шарикам 18.
При-подъеме диска 2 процесс идет в обратной последовательности, а диск 2 может быть повернут с помощью
вакуумного ввода 9 и зубчатой передачи 8 для последующей обработки подложки 6.
использование данного изобретения обеспечивает возможность точного совмещения масок и подложек при напылении тонких пленок на подложки различных детсшей микроэлектронной техники.
Формула изобретения
Устройство совмещения масок и подложек для напылительных установок содержащее неподвижный диск с держателями масок и подвижный диск с держателями подложек,установленные соосно, и механические вакуумные вводы, кинематически связанные с подвижным диском, отличающееся тем, что, с целью повышения точности совмещения, держатели масок выполнены в виде подвижных рамок с возможностью перемещения в двух перпендикулярных направлениях, расположенных в плоскости, параллельной держателям подложек, которые снабжены упорами, взаимодействующими с подвижными рамками.
Источники информации,
принятые во внимание при экспертизе
1.Авторское свидетельство GCCP № 486497, кл. Н 05 К.3/14, 1965.
2.Данилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок, М. ,Энергия , 1967, с, 267-289 (прототип).
