УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ И СОВМЕЩЕНИЯ Советский патент 1970 года по МПК B05C13/00 C23C14/50 

Изобретение относится к области технологии радиоэлектронной аппаратуры, в частности к конструированию оборудования, используемого для изготовления многослойных тонкопленочных микросхем.

Известны устройства для транспортирования и совмещения подложек и масок для изготовления тонкопленочных микросхем, содержащие соединенные с приводными механизмами и расположенные па транспортирующих дисках подложкодержатели и маскодержатели, снабженные центрирующими элементами. Нагревательные и охладительные элементы устройств выполнены либо с индивидуальными механическими приводами, либо без них, причем маскодержатели установлены неподвижпо, а подложкодержатели имеют шесть степеней свободы или наоборот. Расположение нагревательных или охладительных элементов на требуемых расстояниях от подложек осуществляется с помощью индиБидуаль}1ых приводов.

Однако подобные устройства сложны в конструктивном выполнении, малопроизводительны в работе и ненадежны.

С целью упрощения конструкции и повынюния качества изготовления микросхем в предлагаемом устройстве маскодержатель выполнен в виде конического прямоугольного основания, опирающегося своими скошенными поверхностями на гнездо транспортирующего диска, снабженного подпружиненными планками, а подложкодержатель упирается верхней плоскостью в неподвижные упоры гнезда транспортирующего диска, также снабженного подпружиненными планками.

На фиг. 1 приведено схематическое изображение описываемого устройства; на фнг. 2 - конструкция маско- и подложкодержателей.

Устройство содержит нагреватели / и охладители 2. Диск 3 подложкодержателей служит для транспортировки плавающих подложкодержателей 4 и в положении для транспортировки установлен на ролкковых опорах 5. Ступица диска подложкодержателей укреплена на валу 6 посредством призматических шариковых опор 7, обеспечивающих его центрирование, передачу ему крутящего момента и свободрюе перемещение вала относительно диска подлолчкодержателей в осевом направлении. Диск 8 маскодержателей служит для размещения плаваюпдих маскодержателей 9 и укреплен на валу на шариковых подшипппках W, обеспечивающих его центрирование и свободу вращения относительно вала. Корпуса // роликовых опор служат направляющими .скольжения и предохраняют диск 8 маскодержателей от проворачивания. Фиксатор 12 диска подложкодержателей и фиксирующие гнезда диска маскодержателей служат для их взаимного совмещения. Для точной регулировки расстояния между дисками подложкодержателей и маскодержателей в рабочем положении служат винтовые упоры 13. Вал усталовлен в стойке 14 на шариковых опорах, обеспечивающих его свободное вращение и .перемещение в осевом направлении, и вывешен на роликовых опорах рычага 15, приводимого в движение электромеханическим приводом. Для передачи валу вращательного двичЖения служат зубчатые колеса 16 и 17, а также мальтийский механизм 18, приводимые в движение электромеханическим приводом. Транспортирующее -.устройство выполнено, например, шестнадцатипозиционным, каждое из которых снабжено, устройством совмещения, подложка /Р закреплена в подложкодерлсателе, расположенном в гнезде 20 транспортирующего диска подложкодержателей, имеющего вращательное и вертикальное возвратно-поступательное перемещения. Подложкодержатель прижат к диску подложкодержателей посредством пружин 21 и планок 22. Перемещение подложкодержателя вверх ограничивается жесткими упорами 23 гнезда 20 диска лодложкодержателей. Маскодержатель расположен в гнезде 24 диска маскодержателей, имеющего возможность вертикального возвратно-поступательного перемещения, и прижат к нему посредством планок 25 и пружин 26, Боковые стенки маскодержателя и гнезда 24 диска маскодержателей выполнены наклонными, что ограничивает перемещение маскодержателя вверх. Штифты 27 маскодержателя и отверстия 28 подложкодержателя служат для их взаимного совмещения. Предмет изобретения Устройство для транспортирования и совмещения подложек и масок для изготов тения тонкопленочных микросхем, содержащее соединенные с приводным механизмом и расположенные на транспортирующих дисках подложкодержатели и маскодержатели, снабженные центрирующими элементами, нанример Л1тифтами и гнездами, и нагревательными и охладительными элементами, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции устройства и повышения качества микросхем, Маскодержатель выполнен в виде конического прямоугольного основания, опирающегося своими скошенными поверхностями на гнездо транспортирующего диска, снабженного подпружиненными планками, а подложкодержа-. тель опирается верхней плоскостью в неподвижные упоры гнезда тр анспортирующего диска, также снабженного подпружиненными планками.

23 20 3