Механизм совмещения масок с подложками Советский патент 1975 года по МПК C23C13/00 

(54) МЕХАНИЗМ СОВМЕЩЕНИЯ МАСОК С ПОДЛОЖКАМИ

Изобретение относится к технологии производства радиоэлектронной аппаратуры, в частности к устройствам для изготовления тонкопленочных микросхем.

Известны механизмы совмещения масок с подложками, преимущественно для вакуумной напылительной установки непрерывного действия, состоящие из корпуса, в котором размещены неподвижные направляющие, передвижных касет с закренленными на них масками н цепочки соединенных носледовательно передвижных кассет с закренленными на них подложками.

Недостатком известных устройств является то, что осаждение производится на неподвижные подложки через неподвижно установленные совмещенные с ними маски.

Цель изобретения - обеспечение возможности совмещения маски с подложкой во время безостановочного движения последней.

Предлагаемый механизм выполнен в виде бесконечной цепи, звеньями которой являются кассеты с прикрепленными к ним масками, снабженные роликами, взаимодействующими с неподвижными направляющими, кинематически связанной с цепочкой соединенных последовательно передвижных кассет с подложками.

На фиг. 1 изображен предлагаемый механизм, общий вид; на фиг. 2 - фазы совмещения механизмом кассет с подложками и масками; на фиг. 3 - кассета-спутник с подложками. Механизм совмещения масок с подложками,

размещенный в установке, содержит соединенные носледовательно с помощью щелевого шлюза 1, рабочие камеры 2, из которых к крайним подсоединяются щелевой щлюз загрузки 3 и щелевой шлюз выгрузки 4, снабженные вакуумной системой откачки 5. Внутри каждой рабочей камеры 2 размещается испаритель 6 и направляющие 7 и 8 механизма (фиг. 2), но которым с помощью роликов 9 и 10 перемещаются входящие в состав механизма составленные в бесконечную цепь кассетымаскодержатели 11 с масками. Перед шлюзом загрузки 3 в пылезащитном скафандре 12 (фиг. 1) размещается механизм подачи 13 многоместных спутников 14 (фиг. 3) с закрепленными на них подложками 15.

Спутник 14 снабжен роликами 16, пазами 17 и центрирующими отверстиями 18, которые входят в зацепление с выступами 19 (фиг. 2)

кассет-маскодержателей 11 с выступами 20 (фиг. 1) тянущего механизма 21. К щелевому шлюзу выгрузки 4 крепится пылезащитный скафандр 22 с размещенным в нем механизмом 23 съема спу-тников с готовыми изделиями.

Механизм совмещения масок с подложками работает следующим образом.

Многоместный спутник 14 с закрепленными на нем подложками 15 устанавливается в пылезащитном скафандре 12, из которого он с помощью механизма подачи 13 и рокилов 16 при движении вверх входит в зацепление с пазами 17 предыдущего спутника 14, с помощью тянущего механизма 21 через щлюз загрузки 3, имеющий вакуумную систему откачки 5, спутники 14 попадают в рабочую камеру 2.

Попав в рабочую камеру 2, спутники 14 и подложки 15 прогреваются до заданной температуры. Одновременно, двигаясь вдоль рабочей камеры 2, спутники 14 отверстиями 18 через выступы 19 перемещают кассеты-маскодержатели 11, которые составлены в бесконечную цепь механизма совмещения. Переместившись на верхний горизонтальный участок (фиг.2), кассеты-маскодержатели своими роликами 9 и 10 ориентируются по пазам 7 и 8 в горизонтальной плоскости. Затем, двигаясь с помощью спутников 14, кассета по пазам 7 и 8 задающим ей параллельное самой себе перемещение в вертикальной плоскости входит выступами 19 в отверстия 18 спутника 14.

Таким образом происходит предварительная ориентация спутника 14 и кассет-маскодержателей 11. При дальнейшем их синхронном движении происходит совмещение масок с подложками 15. После совмещения происходит напыление слоя покрытия. Пройдя зону

над испарителем 6 и перемещаясь по пазам 7 и 8 параллельно самой себе вперед и вниз, кассета выходит из зацепления со спутника ми 14.

После нанесения всех слоев подложка 15 на многоместном спутнике 14 поступает в щелевой щлюз выгрузки 4, пройдя который, она попадает на механизм съема спутников 14, откуда поступающие спутники 14 извлекаются по мере накопления.

Предмет изобретения

Механизм совмещения масок с подложками, преимущественно для вакуумной напылительной установки непрерывного действия, состоящий из корпуса, в котором размещены неподвижные направляющие, передвижных кассет с закрепленными на них масками и цепочки соединенных последовательно передвижных кассет с закрепленными на них подложками, отличающийся тем, что, с целью

обеспечения возможности совмещения маски с подлол кой во время безостановочного движения последней, он выполнен в виде бесконечной цепи, звеньями которой являются кассеты с прикрепленными к ним масками, снабженные роликами, взаимодействующими с неподвижными направляющими, кинематически связанной с цепочкой соединенных последовательно передвижных кассет с подложками.