Зондовая головка Советский патент 1982 года по МПК H05K1/18 G01R1/06 

(5) ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА

. Изобретение относится к производству изделий электронной техники и предназначено для зондового контроля и измерения параметров микроэлектронных приборов на пластине. Известны зондовые головки, в кото рых зонды выполнены с несколькими коленорбразными изгибами и расположе ны на плоских пружинах, размещенных в пазах корпуса и служащих для регулирования зондов по высоте, а некрнтактирующие концы зондов, выступающие в виде упоров, связаны ключрм с неподвижными упорами корпуса для регулирования зондов по плоскости С13. : Данная конструкция зонда обеспечивает контактирование с площадкой лишь в одной тачке, что не позволяет повысить точность измерения из-за влияния переходного сопротивления. Использование подобных зондов по два на каждую контактную площадку увеличивает габарити устройства вширь и неприемлемо пои многоконтактных (например, при числе площадок,равном 48) структурах. Наиболее близкой по технической сущности к предлагаемой является , зондовая головка в установке для поэлементной лазерной подгонки резистивных матриц, содержащая корпус, зонды, каждый из которых выполнен в виде пары изогнутых контактов, расположенных один над другим, и механизм фиксации зрндов, включающий кронштейн, связанный с помощью пружин с узлом юстировки контактов. Свободные концы контактов заострены и сорентированы на одну контактную площадку. Контакты изолированы один от другого С2. Недостаткрм устройства является низкая надежность контактирования. Контакты ориентируются один относительно другого при сборке и в случае необходимости при эксплуатации не могут быть доюстированы, т..е. универсальность устройства недостаточна. Цель изобретения - повышение уни версальности устройства и надежност контактирования. Указанная цель достигается тем, что в зондовой головке, содержащей корпус, зонды, каждый из которых вы полнен в виде пары изогнутых контак тов, и механизм фиксации зондов, один из контактов пары снабжен диэлектрической трубкой, размещенной на нем с возможностью осевого перемещения, а каждый контакт расположен в У-образном пазу, выполненном в корпусе. На фиг.1 изображена зондовая го1ловка, раэрез; на фиг.2 - то же, шид сверху; на фиг.З - разрез Л-А на фиг.1; на фиг.А - разрез Б-Б на фиг. 1. Зондоаая головка содержит зонды в виде пары изогнутых заостренных контактов, размещенных в диэлектрических трубках 2, и расположенных в У-образных пазах корпуса 3 и основа ния . Корпус 3 выполнен из прух инного материала и благодаря вырезам и встроенному в него винту 5 образует узел качания вокруг горизонтальной оси - упругого шарнира &. Верхней частью корпус 3 к кольцу 7 с помощью винта 8., Контакты зондов 1 выполнены с дв мя изгибами и, кроме заострения в конечной части, сужены в горизонтал ной плоскости от места задела до ос рия. У-образные пазы в корпусе 3 и основании 4 выполнены сходящимися на некотором расстоянии, соответствующем местоположению остриев конта тов таким образом, что в нерабочем положении острия касаются друг друг На один из контактов насажена с возможностью осевого перемещения ди электрическая. Например фторопласто вая, трубка 9, которая в своей пере ней части может быть вырезана для прилегания к плоским участкам конта та по большим поверхностям. Наладка зонда осуществляется сле дующим образом. Манипулированием задним изгибом контактов острия кон тактов совмещают друг с другом, зат фиксируют их в таком положении с помощью винта 10, И полость У-образными пазами и контактами заполняют компаундом. Трубка 9 при этом снята. Работа с зондом осуществляется следующим образом. При ослабленном винте 8 с помощью съемного манипулятора зонд перемещают вдоль и поворачивают вокруг оси винта 8, затем фиксируют с его помощью. Поворотом винта 5 устанавливают положение остриев контактов в вертикальном направлении. Продольным смещением трубки 9 вдоль одного из контактов острия раздвигаются. Таким образом можно устанавливать в каждом отдельном случае оптимальное для каждой контактной площадки расстояние мехчду остриями, что повышает надежность контактирования. Кроме того, предлагаемая конструкция обеспечивает относительно большой диапазон регулирования расстояния остриями (от О до 1 мм) Это позволяет каждый контакт использовать в качестве отдельного зонда, что при применении в блоке зондовых головок с одиночными контактами значительно уменьшает габариты устройства и упрощает процесс юстирования. Формула изобретения Зондовая головка, содержащая корпус, зонды, каждый из которых выполнен в виде пары изогнутых контактов, и механизм фиксации зондов, отличающаяся тем, что, с целью повышения универсальности устройства и надежности контактирования, один из контактов пары снабжен диэлектрической трубкой., размещенной на нем с возможностью осевого перемещения, а , каждый контакт расположен в У-образном пазу, выполненном в корпусе. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1,Авторское .свидетельство СССР } , кл. 01 L 21/66, 1971. 2.Установка для поэлементной лазерной подгонки резистивных матриц ЦАП и АЦП ff У 26.579 (прототип).