Изобретение относится к нанесению химических, в частности, кобальтовых покрытий на диэлектрики.
Наиболее близким к предлагаемому является раствор для химического кобальтирования диэлектриков, содержащий кобальт хлористый или сернокислый, гипофосфит натрия или калия, комплексообразователь, тетраборат натрия и щелочь D.
Однако нанесение сплошных покрытий из известного раствора возможно только при температуре более 80°С, что не позволяет использовать его для нетермостойких полимеров. .
Цель изобретения - снижение температуры процесса осаждения кобальто вых покрытий.
Поставленная цель достигается тем, что в раствор, содержащий кобальт хлористый или сернокислый, гипофосфит натрия или калия, комплексообразователь, тетраборат натрия и щелочь, в качестве комплексообразователя
содержит сульфосалициловую кислоту или ее натриевую или калиевую соль при следующем соотношении компонентов, моль/л:
Кобальт хлористый или сернокислый 0,01-0,20 Сульфосалйциловая кислота или ее натриевая или калиевая сольО,,00 Гипофосфит натрия
10 или калия0,,50
Тетраборат натрия 0,,10 Щелочь до рН 10,0-11,5 При приготовлении раствора сульфосалицилат-ионы образуют с кобальтом Cl1)достаточно прочные комплексы, позволяющие создать в кобальтирующем растворе рН 10-12. Сульфосалицилатные комплексы кобальта (Tt/B значительно меньшей степени подвержены
20 окислению на воздухе, чем, например, :аммиачные,и в тоже врем. сульфосэлицилатные комплексы кобальта (Iljлегко восстанавливаются гипофосфитом при комнатной температуре. По указанным причинам из сульфосалицилатных растворов при комнатной температуре на поверхности диэлектриков осаждается без индукционного периода одно родное кобальтовое покрытие, причем скорость кобальтирования не уменьшается в ходе роста покрытия. Активирование поверхности перед нанесением покрытий осуществляют по общепринятой методике в растворах хлоридов олова (II) и палладия СИ). Для достижения высокой скорости кобальтирования в растворе необходимо поддерживать указанные соотноше ия соли кобальта и лиганда, а также значение рН. Наибольшая скорость ,осаждения достигается при рН, близких к рН образования гидроксида кобальта (Т). Процесс осаждения начинается практически без индукционного периода и проходит со скоростью от 0,8 до 3,6 мкм/ч при . Для удобства термостатировйния рекомендуется вести процесс осаждения при 30°С. Получаемые Со-Р покрытия однородны, подложка не имеет непокрытых участков. Постоянство скорости роста Кобальтовой пленки позволяет получать покрытия заданной толщины. Использование в растворе вместо сульфосалициловой кислоты ее солей при поддерживании одинакового значения рН не отражается на скорости кобальтирования или качестве покрытий. Использование различных комплексообразователей в растворе кобальтирования по примерам - представлено в таблице.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Состав для химического нанесения кобальтого покрытия на поверхности изделий сложной формы | 2022 |
|
RU2791116C1 |
| БИБЛИОТЕКА | 1973 |
|
SU381231A1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МНОГОСЛОЙНОГО КОМПОЗИТНОГО ПОКРЫТИЯ НА СТАЛИ МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ | 2013 |
|
RU2544334C1 |
| Электролит для осаждения покрытий сплавом цинк-кобальт | 1990 |
|
SU1813808A1 |
| Применение бис(4-R-2-аминофенил)дисульфида в качестве выравнивателя в растворе для химического осаждения никель-фосфорных покрытий | 2023 |
|
RU2813159C1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГЕКСАГИДРАТА СУЛЬФАТА КОБАЛЬТА(II)-АММОНИЯ | 2006 |
|
RU2314260C2 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДИГИДРАТА ОКСАЛАТА КОБАЛЬТА (II) | 2005 |
|
RU2295514C1 |
| Щелочной раствор для химического никелирования | 1980 |
|
SU1008275A1 |
| Способ получения аморфных пленок Со-Р на диэлектрической подложке | 2016 |
|
RU2630162C1 |
| Раствор химического меднения | 1981 |
|
SU1004483A1 |
Как видно из данных таблицы, пред ложенный раствор позволяет получать покрытия хорошего качества с высокой постоянной скоростью. Предлагаемые растворы стабильны и не окисляются на воздухе. Формула изобретения Раствор для химического кобальтирования диэлектриков, преимущественн нетермостойких, содержащий кобальт хлористый или сернокислый, гипофосфит натрия (калия), комплексообразователь, тетраборат натрия и щелочь, отличающийся тем,что, с целью снижения температуры осаждения, в качестве комплексообразователя он содержит сульфосалициловую кислоту или ее натриевую (калиевую) соль при следующем соотношении компонентов, моль/л: Кобальт хлористый или сернокислый0,01-0,20 Сульфосал.ициловая кислота или ее натриевая (калиевая) соль 0,25-1,00 Гипофосфит натрия или калия0,05-0,50
5926065«
Тётраборат натрия 0,05-0,1ТГ 1. Горбунова К.М. и др. ФизикоЩелочь до рН 10,0-11,5 химические основы процесса химическоKctOMHMKH информации, го кобельтирования,М., Наука, IS принятые во внимание при экспертизе с .
