(54) ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИП МАТЕРИАЛ
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Диэлектрический материал для тонкопленочных конденсаторов | 1981 |
|
SU970497A1 |
| Резистивный сплав | 1977 |
|
SU647750A1 |
| ЭЛЕКТРОПРОВОДНЫЕ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ С ВЫСОКОЙ ТЕРМОСТОЙКОСТЬЮ | 2011 |
|
RU2562239C2 |
| АКУСТОКАЛОРИМЕТРИЧЕСКИЙ СЕНСОР ДЛЯ СИГНАЛИЗАЦИИ ИЗМЕНЕНИЙ ГАЗОВОГО СОСТАВА ЗАМКНУТЫХ ПОМЕЩЕНИЙ | 2015 |
|
RU2606347C1 |
| КОМПОЗИЦИЯ НА ОСНОВЕ СЛОЖНЫХ ОКСИДОВ ЦИРКОНИЯ, ФОСФОРА И КАЛЬЦИЯ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЯ | 2012 |
|
RU2502667C1 |
| Способ получения тонкой пьезо-электрической пленки оксида цинка | 1990 |
|
SU1812242A1 |
| Бесцветные золь-гель чернила для струйной печати радужных голографических изображений и способ их приготовления | 2016 |
|
RU2650138C2 |
| СПОСОБ СГЛАЖИВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ПЛЕНКИ АЛЮМИНИЯ НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПОДЛОЖКЕ | 2014 |
|
RU2617890C2 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЕРЕИЗЛУЧАЮЩИХ ТЕКСТУРИРОВАННЫХ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ АМОРФНОГО ГИДРОГЕНИЗИРОВАННОГО КРЕМНИЯ С НАНОКРИСТАЛЛАМИ КРЕМНИЯ | 2015 |
|
RU2619446C1 |
| КОМПОЗИТНЫЙ МАТЕРИАЛ АКУСТИЧЕСКОГО ДЕМПФЕРА | 1999 |
|
RU2159503C1 |
Изобретение относится к акустичческой технике и может быть использовано в частности при изготовлении тонкопленочных пьезоэлектрических преобразователей поверхностных акустических волн (ПАВ).
Известны материалы для изготовления тонких пьезоэлектрических пленок на основе соединений А 1.
Недостатком тон коп лен очных слоев этих материалов является невысокая стабильность параметров осаждаемых пленок, а также трудность получения высокоориентированных структур с малыми размерами зерен, что приводит к снижению эффективности преобразования ПАВ с повышением рабочих частот.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является пьезоэлектрический материал на основе окиси цинка 2.
Недостатком известного материала ;является большой размер зерна (более 100 им) в планках, полученных методом высокочастотного ионноплазменного распыления при температурах подложки выше 200°С {3J, что не обеспечивает высокой эффективности преобразования на ВЧ, а также воспроизводимости получения стабильных скоростей распространения ПАВ в пленке. Цель изобретения - улучшение стабильности скорости распространения поверхностей акустической волны и эффективности преобразования за счет снижения потерь.
Поставленная цель достигается тем, что пьезоэлектрический материал для
10 тонкопленочных акустических устройств, содержащий оксид цинка, дополнительно содержит аморфный бор при следующем соотношении компонентов, мас.%: Оксид цинка90-99,99
15
Аморфный-бор0,01-10
Введение бора препятствует росту зерна в процессе образования пленки, а сосредоточение атомов бора по границам зерен в осажденной пленке спо20собствует стабилизации ее структура. Пример. Оптимальное соотношение компонентов, мас.%: Окись цинка98,8
Аморфный бор1,2
25
Порошкообразные аморфный бор и окись цинка тщательно перемешиваются в холцедоновых барабанах на плакетарно-шаровой мельнице в среде этилового спирта. Весовое соотнсдиение
30 компонентов при помоле подбирается
из расчета 1 мл этилового спирта на 1 г порошка. Время помола 5-6 ч. Полученную смесь сушат в термодкафу /при 105+5 С до полного удаления спирта и протирают через сито 40 мкм для разрушения конгломеритов. Готовая порошкообразная смесь должна иметь удельную поверхность не менее /5000 CMVr.
П р и м е р 2. Максимальное содер жание компонентов вес.%;
Окись цинка90
Аморфный бор.10.
Технология получения материала аналогична примеру 1.
Предлагаемый
Примерз. Минимальное содержание компонентов, вес. %: Окись цинка 99,99 Аморфный бор 0,01 Технология получения материала аналогична примеру 1.
Полученные материалы в виде спиртовой суспензии наносит на мишеньподложку из керамики ВК94-1 и распыляют методом ионноплазменного распыления.
В таблице приведены свойства полученного материала в зависимости от состава.
