БЕСКОНЕЧНАЯ ПОЛИРОВАЛЬНАЯ ЛЕНТА Российский патент 1994 года по МПК B24D11/00 

Изобретение относится к инструменту для шлифовки и полировки изделий. Это может быть использовано для полирования пластин полупроводниковых материалов.

Из литературы известно, что более высокая стойкость инструмента при меньшей глубине нарушенного слоя обеспечивается свободным абразивом. Поэтому при обработке полупроводниковых материалов применяют преимущественно свободный абразив, используя в качестве носителя винилискожу-Т замшевую галантерейную ТУ 17-1127-74. Она представляет собой тканевую основу с покрытием из высокополимерной смолы и клеящегося вещества с нанесенным на него электростатическим методом ворсом, изготовленным из искусственного волокна. Материал поставляется в виде рулонов и используется на круглых полировальниках, к которым он приклеивается или крепится механическим путем. При этом имеют место значительные отходы при вырезке круглых заготовок из рулонного материала. Использовать же этот носитель для более прогрессивного инструмента - бесконечной ленты - не представляется возможным из-за ненадежности стыка и большой вытяжки самой тканевой основы при применении абразивных суспензий на спиртовой основе.

Известна бесконечная полировальная лента для шлифования и полирования изделия, основа которой выполнена в виде бесшовного тканевого рукава из лавсановых нитей, на которую с помощью клея наносится связанный абразив. Недостатком таких лент является то, что эти ленты пригодны для работы только со связанным абразивом.

Цель изобретения - создание бесконечной ленты, позволяющей применение свободного абразива. Эта цель достигается, если наружный слой бесконечной полировальной ленты на бесшовной тканевой основе выполнить в виде ворса из синтетического волокна, закрепив его на основе с помощью клея и наполнителя, а тканевую основу выполнить из мешковой лавсановой ткани.

При такой конструкции носителя абразива внутренний слой с наполнителем, являясь несущей основой, воспринимает силовую нагрузку и не пропускает через себя абразив, а наружный ворсистый слой удерживает абразив вместе с суспензией.

Известно использование ткани с ворсом синтетического волокна (искусственная замша). Использование лавсановой ткани в виде мешковины придало бесконечной ленте важное качество - нерастяжимость в условиях смачивания абразивной суспензии на спирту. Это ее свойство было установлено в результате проведения серии опытов. Напротив, хлопчатобумажная ткань в условиях смачивания спиртовой суспензией растягивается и вскоре становится непригодной, так как не обеспечивает необходимые натяжение и прочность ленты. Этим же отрицательным свойством обладает и замшевая галантерейная кожа - Т.

На чертеже показана описываемая бесшовная бесконечная лента. Лента содержит внутренний слой 1 из мешковой лавсановой ткани в виде рукава, наполнитель 2 из высокополимерной смолы, слой клея 3 и ворс 4. Нанесение наполнителя и клеящего вещества производится вначале на одну сторону мешковой ткани, а затем на другую.

Испытание ленты производили на станке двухсторонней полировки. Испытывались одновременно две ленты: одна для обработки верхней плоскости пластин, а другая - для нижней.

Ленты перемещались в противоположных направлениях со скоростью 1,5 м/с. Обрабатываемым пластинам сообщалось возвратно-поступательное движение в направлении, перпендикулярном направлению движения лент. Для обработки использовалась алмазная паста с размером зерна абразива 0,3-2,1 мкм. Внутренний слой ленты был изготовлен из мешковой ткани с плотностью укладки нити по утку и по основе 25 ниток на 1 см.

Амплитуда перемещения пластин составляла 35 мм, число двойных ходов в минуту - 120.

Обработке подвергались пластины из кремния монокристаллического ориентации III диаметром 60 мм после шлифовки связанным абразивом. Время обработки составило 12 мин. Среднее арифметическое отклонение профиля неровностей пластин после обработки составило 0,020 мкм, что соответствует 12-му классу шероховатости. Отклонение от плоскостности составило ±1 мкм.

Использование: для шлифовки и полировки изделий, в частности для полирования пластин полупроводниковых материалов. Сущность изобретения: лента выполнена из мешковой лавсановой ткани в виде бесконечной тканевой основы. Рабочая поверхность ленты выполнена в виде ворса из синтетического волокна, закрепленного с помощью клея и наполнителя на основе. 1 ил.

БЕСКОНЕЧНАЯ ПОЛИРОВАЛЬНАЯ ЛЕНТА, основа которой выполнена в виде тканевого рукава из лавсановых нитей, отличающаяся тем, что тканевый рукав основы выполнен из мешковины, а рабочая поверхность ленты выполнена в виде ворса из синтетического волокна, закрепленного на основе.