СПОСОБ ГЛУБОКОЙ ОЧИСТКИ ВОДОРОДА Российский патент 2011 года по МПК C01B3/56 

Описание патента на изобретение RU2415075C1

Изобретение относится к способам очистки водорода. Оно также относится к методу улучшения качества полупроводникового кремния, полученного методом термического разложения силана. Способ включает обработку водорода дисперсным магнием, алюминием и/или дисперсной смесью магния и алюминия и/или дисперсной смесью магния и/или алюминия с дисперсным титаном и/или титановыми сплавами для удаления из него азота, бор- и фторсодержащих примесей, таких как ВН3, В2Н6, РН3 и других примесей, включая силан и этилен.

При получении полупроводникового кремния в процессе пиролиза силана в кипящем слое образуется большое количество водорода. По реакции при разложении из одной молекулы силана образуется две молекулы водорода.

SiH4 → Si+2Н2

После очистки водород может использоваться повторно в процессе осаждения кремния. Однако в водороде остаются такие примеси как азот - до 100 ppm, этилен - 100 ppb и до 10 ppb гидридов бора и 10 ppb гидридов фосфора, которые влияют на качество получаемого полупроводникового кремния.

Известен способ очистки водорода от микро- и макропримесей с использованием криогенных методов (патенты США №3628340, МПК F25J 3/00, 1971; №3839847, МПК B01D 53/04, 1974; №4043770, МПК B01D 53/04, 1977).

Для очистки индустриального водорода, используемого для деструктивной гидрогенизации и гидрирования нефтепродуктов, применяются криогенные способы, однако они не обеспечивают получения особо чистого водорода, который находит применение в электронных технологиях и электронной технике. Остаточное содержание примесей в водороде, прошедшем такую очистку, слишком велико для его использования в целом ряде процессов, например в процессе осаждения полупроводникового кремния из моносилана или хлорсиланов. Кроме того, к недостаткам известных криогенных способов можно отнести большую энергоемкость и сложность осуществления процесса очистки водорода.

Известен способ очистки водорода от бор- и фосфорсодержащих примесей, заключающийся в обработке водорода путем пропускания его через слой активированного угля (патент США №4242875, МПК С01В 3/50, 1981). По данному методу из водорода удаляют гидриды бора, такие как ВН3 и B2H6, и гидриды фосфора, такие как РН3. Процесс ведут при температурах минус 101°С до 173°С и атмосферном давлении.

Описан способ очистки силана от примесей бора с использованием аминов (патент США №3041141, МПК С01В 33/04, 1962).

Снижение содержания примесей бора в силане с использованием гидрида щелочноземельного металла описывается и в патенте Великобритании №851962.

Недостатками указанных способов является невозможность полной очистки водорода от примесей фосфора и азота.

Удаление примесей бора и фосфора из водорода на активированном угле при криогенных температурах описано в патенте США №4871524, МПК С01В 3/56, 1989

Однако к недостаткам известного способа очистки водорода можно отнести использование криогенных температур и невозможность эффективной очистки водорода от примесей азота, а также высокие энергозатраты.

Задача настоящего изобретения - разработать простой способ очистки водорода, образующегося при пиролизе моносилана, от бора, фосфора, азота, силана и С2Н2. Содержание фосфора составляет - 10 ppb, бора - 10 ppb и азота - 100 ppm.

В результате научно-исследовательских и экпериментальных работ было обнаружено, что активированные порошки магния, или алюминия, или их смеси, или смеси магния и/или алюминия с мелкодисперсным титаном или его сплавами могут использоваться для очистки водорода в процессе получении полупроводникового кремния из силана.

Магний, алюминий, титан, титановые сплавы или их смеси могут находиться в различных состояниях: в виде дисперсного металла, в виде стружки, фольги, губки и т.д. Однако для данного процесса наиболее пригодны порошки с размерами частиц от 0,1 до 5000 мкм, причем форма частиц может быть произвольной.

Активация металлов происходит в реакторе при подаче водорода и нагреве содержимого до рабочих температур.

Способ очистки водорода, загрязненного бором, фосфором, азотом, силаном и С2Н2, заключается в пропускании потока загрязненного водорода через неподвижный или кипящий слой порошка магния, или алюминия, или их смеси, или смеси магния и/или алюминия с мелкодисперсным титаном или его сплавами при температуре 500-1000°С и атмосферном давлении или при давлении от 1 до 10 атм.

Способ предлагается осуществлять в аппарате, с распределительной решеткой, электрообогревом и устройством для регулирования температуры. Внизу и вверху аппарата расположены приспособления для ввода и вывода газа. В реактор, заполненный слоем порошка металла, подают предварительно нагретый загрязненный микропримесями водород. Температура в реакторе поддерживается в пределах от 500 до 1000°С. Проходя через слой порошка, очищенный водород выводится вверху аппарата и охлаждается в рекуператоре тепла за счет загрязненного водорода.

Более эффективно процесс очистки водорода от микропримесей протекает в реакторах с «кипящем» слоем частиц металлов. В этом случае размеры аппарата выбирают с учетом размеров частиц металлов или сплавов, диаметра аппарата и линейной скорости.

Для более полной очистки водорода можно использовать несколько последовательно соединенных реакторов, заполненных различными порошками. А с целью непрерывного процесса очистки водорода можно применять параллельно установленные цепочки аппаратов. При таком использовании оборудования одна цепочка находится в рабочем режиме, а вторая проходит стадию регенерации или переоснащения.

В предложенной системе может быть три и более параллельные цепочки, состоящих из различного количества аппаратов.

Содержание примесей в очищенном водороде составляет:

фосфор - менее 1 ppb; бор - менее 1 ppb; азот - менее 1 ppm.

На чертеже представлена схема очистки водорода с неподвижным и кипящим слоем порошка металла. Реактор - 1, пылеотделитель - 2, теплообменник - 3.

Пример 1.

В аппарат, высотой 1000 мм и внутренним диаметром 150 мм, снабженный газораспределительной решеткой, вводом и выводом газа, электрообогревом и устройством для регулирования температуры, загружают порошок магния с размером частиц 10-200 мкм. Далее с помощью электрообогрева в течение 3 часов температуру в токе водорода в реакторе повышают до 700°С. При этой температуре через слой порошка пропускают водород, освобождая его от примесей. Анализ газового потока проводят каждые 50 часов. Содержание примесей в водороде приведено в таблице 1.

Таблица 1 Время проведения анализа, час Содержание в водороде, ррb В2Н6 РН3 N2 SiH4 0 (исх. смесь) 10,1 10 95000 100000 50 0,9 1,0 500 900 100 0,8 0,9 550 800 150 0,8 1,0 550 800

Пример 2.

В условиях примера 1 в реактор загружают смесь порошков магния и алюминия в соотношении 1:1. Размер частиц порошка магния 10-500 мкм, алюминия - 70-350 мкм. Температура в реакторе 500°С. Поток водорода подают со скоростью 150 л/ч. Содержание примесей в водороде приведено в таблице 2.

Таблица 2 Время проведения анализа, час Содержание в водороде, ррb В2Н6 РН3 N2 SiH4 0 (исх. смесь) 10,5 9 90000 110000 50 0,9 1,0 400 900 100 0,9 0,9 600 800 150 0,9 0,9 550 800

Пример 3.

В условиях примера 1 в реактор загружают смесь порошков магния и титана в соотношении 1:4. Размер частиц порошка магния 70-350 мкм, титана - 20-500 мкм. Температура в реакторе 850°С. Поток водорода подают со скоростью 150 л/ч. Содержание примесей в водороде приведено в таблице 3.

Таблица 3 Время проведения анализа, час Содержание в водороде, ррb В2Н6 РН3 С2Н4 N2 SiH4 0 (исх. смесь) 10,3 9,5 100 000 92000 108000 50 0,9 0,8 960 500 800 100 0,9 0,7 800 550 800 150 0,8 0,7 750 600 750

Пример 4.

В условиях примера 1 в реактор загружают смесь порошков магния и сплава титана состава TiFe2 в соотношении 1:4. Размер частиц порошка магния 70-350 мкм, сплава титана сплава 20-500 мкм. Температура в реакторе 850°С. Скорость потока водорода - 150 л/ч. Содержание примесей в водороде приведено в таблице 4.

Таблица 4 Время проведения анализа, час Содержание в водороде, ррb В2Н6 РН3 С2Н4 N2 SiH4 0 (исх. смесь) 10,7 10,2 100 000 95000 120000 50 0,8 0,8 970 450 850 100 0,9 0,8 850 500 800 150 0,9 0,8 800 500 750

Пример 5. В условиях примера 1 в реактор загружают смесь порошков магния и сплава титана, содержащего 5% кобальта, в соотношении 1:10. Размер частиц порошка магния 20-250 мкм, титанового сплава 20-500 мкм. Температура в реакторе 1000°С. Скорость потока водорода - 150 л/ч.

Содержание примесей в водороде приведено в таблице 5.

Таблица 5 Время проведения анализа, час Содержание в водороде, ррb В2Н6 РН3 C2H4 N2 SiH4 0 (исх. смесь) 10,0 11,0 100000 100000 120000 50 0,9 0,7 900 450 800 100 0,8 0,7 800 400 750 150 0,9 0,8 800 400 750

Пример 6.

В три аппарата, соединенных последовательно, загружают металлические поглотители. В первый аппарат загружают порошок магния, во второй - смесь порошков магния и титана, в соотношении 1: 4. Размер частиц порошка магния 70-350 мкм, титана - 20-500 мкм и в третий - смесь порошка магния и сплава титана TiFe2 в соотношении 1:10. Размер частиц порошка магния 20-250 мкм, титанового сплава 20-500 мкм. Температура в первом аппарате - 650°С, во втором - 750°С и в третьем - 900°С. Скорость потока водорода 150 л/ч.

Содержание примесей в водороде приведено в таблице 6.

Таблица 6 Время проведения анализа, час Содержание в водороде, ррb В2Н6 РН3 C2H4 N2 SiH4 0 (исх. смесь) 10,0 10,0 90000 110000 110000 50 0,8 0,6 700 450 600 100 0,7 0,6 700 400 550 150 0,7 0,6 700 400 550

Пример 7.

В условиях примера 1 в реактор загружают смесь порошков магния и сплава титана, содержащего 5 мас.% алюминия, в соотношении 2:1. Средний размер частиц порошка магния 30 мкм, сплава титана 40 мкм. Температура в реакторе 700°С. Скорость потока водорода - 150 л/ч.

Содержание примесей в водороде приведено в таблице 7.

Таблица 7 Время проведения анализа, час Содержание в водороде, ррb В2Н6 РН3 C2H4 N2 SiH4 0 (исх. смесь) 10,7 10,2 100000 95000 120000 50 0,9 0,9 1100 500 850 100 0,8 0,7 800 450 800 150 0,8 0,8 800 500 800

Пример 8.

В условиях примера 1 в реактор загружают смесь порошков магния и сплава титана, содержащего 0,1 мас.% циркония, в соотношении 3:1. Размер частиц порошка магния 35 мкм, сплава титана 45 мкм. Температура в реакторе 800°С. Скорость потока водорода - 150 л/ч.

Содержание примесей в водороде приведено в таблице 8.

Таблица 8 Время проведения анализа, час Содержание в водороде, ррb В2Н6 РН3 С2Н4 N2 SiH4 0 (исх. смесь) 10,7 10,2 100000 95000 120000 50 0,8 0,8 950 450 800 100 0,8 0,9 850 500 800 150 0,9 0,8 800 450 750

Пример 9.

В условиях примера 1 в реактор загружают смесь порошков магния и сплава титана с никелем в соотношении 1:1. Размер частиц порошка магния 30 мкм, сплава титана 40 мкм. Температура в реакторе 750°С. Скорость потока водорода - 150 л/ч.

Результаты анализа приведены в таблице 9.

Таблица 9 Время проведения анализа, час Содержание в водороде, ррb В2Н6 РН3 C2H4 N2 SiH4 0 (исх. смесь) 10,7 10,2 100000 95000 120000 50 0,9 0,8 1000 450 850 100 0,9 0,8 850 500 800 150 0,8 0,8 800 500 800

Похожие патенты RU2415075C1

название год авторы номер документа
БЕСЦВЕТНЫЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ АЛМАЗ И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ 2006
  • Уилльямс Стивен Дейвид
  • Туитчен Даниел Джеймс
  • Мартиноу Филип Морис
  • Скарсбрук Джеффри Алан
  • Фрил Айан
RU2473720C2
СЛОЙ БЕСЦВЕТНОГО АЛМАЗА 2006
  • Уилльямс Стивен Дейвид
  • Туитчен Даниел Джеймс
  • Мартиноу Филип Морис
  • Скарсбрук Джеффри Алан
  • Фрил Айан
RU2415204C2
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОАКТИВНОЙ МНОГОСЛОЙНОЙ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ НА ОСНОВЕ МИКРОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ 2013
  • Чеботарев Сергей Николаевич
  • Пащенко Александр Сергеевич
  • Ирха Владимир Александрович
RU2599769C2
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРЕМНИЯ И ЕГО СОЕДИНЕНИЙ И ЛИНИЯ ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2012
  • Шевченко Руслан Алексеевич
  • Вахрушин Александр Юрьевич
  • Чуканов Андрей Павлович
RU2525415C1
НИОБИЕВЫЙ ПОРОШОК, СПЕЧЕННЫЙ НИОБИЕВЫЙ МАТЕРИАЛ И КОНДЕНСАТОР, ВЫПОЛНЕННЫЙ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ СПЕЧЕННОГО МАТЕРИАЛА 2001
  • Омори Казухиро
  • Наито Казуми
RU2267182C2
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРОШКА ИЗ НИКЕЛЕВОГО СПЛАВА С ХОРОШЕЙ КОРРОЗИОННОЙ СТОЙКОСТЬЮ И ВЫСОКИМ ПРЕДЕЛОМ ПРОЧНОСТИ ПРИ РАСТЯЖЕНИИ И ЕГО ПРИМЕНЕНИЕ (ВАРИАНТЫ) 2020
  • Ботинья, Юлия
  • Германн, Бодо
  • Альвес, Элена
RU2808314C2
ЖАРОПРОЧНЫЙ СПЛАВ, РАССЧИТАННЫЙ НА ОБРАЗОВАНИЕ МЕЛКОДИСПЕРСНЫХ ВЫДЕЛЕНИЙ КАРБИДА Ti-Nb-Cr ИЛИ КАРБИДА Ti-Nb-Zr-Cr 2006
  • Такахаши Макото
  • Хашимото Кунихиде
  • Хинено Макото
RU2424347C2
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОСИЛАНА И ДИСИЛАНА 1999
  • Кварацхели Ю.К.
  • Жирков М.С.
  • Фадеев Л.Л.
  • Филинов В.Т.
RU2160706C1
Способ химико-термической обработки металлических порошков для производства сталей и жаропрочных сплавов, упрочненных дисперсными оксидами 2019
  • Векслер Михаил Юрьевич
  • Векслер Юрий Генрихович
  • Попов Артемий Александрович
  • Шикин Александр Владимирович
RU2780653C2
ФЛЕГМАТИЗИРОВАННЫЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОРОШКИ ИЛИ ПОРОШКООБРАЗНЫЕ СПЛАВЫ, СПОСОБ ИХ ПОЛУЧЕНИЯ И РЕАКЦИОННЫЙ СОСУД 2009
  • Баудис Ульрих Герхард
RU2492966C2

Иллюстрации к изобретению RU 2 415 075 C1

Реферат патента 2011 года СПОСОБ ГЛУБОКОЙ ОЧИСТКИ ВОДОРОДА

Изобретение относится к области химии и может быть использовано при очистке водорода от примесей бора, фосфора и этилена. Способ заключается в пропускании потока загрязненного водорода через неподвижный или кипящий слой порошка магния, или алюминия, или их смеси, или смеси магния и/или алюминия с мелкодисперсным титаном или его сплавами при температуре 500-1000°С. В качестве порошка используют смесь магния или алюминия со сплавом титана, содержащим от 0,1 до 36 мас.% магния или алюминия, или циркония. В качестве сплава титана используют его сплавы с железом, никелем или кобальтом. Порошок имеет размер частиц от 0,1 до 5000 мкм. Изобретение позволяет повысить эффективность очистки водорода. 3 з.п. ф-лы, 1 ил., 9 табл.

Формула изобретения RU 2 415 075 C1

1. Способ глубокой очистки водорода, загрязненного бором, фосфором, азотом, силаном и С2Н4, заключающийся в пропускании потока загрязненного водорода через неподвижный или кипящий слой порошка магния, или алюминия, или их смеси, или смеси магния и/или алюминия с мелкодисперсным титаном или его сплавами при температуре 500-1000°С.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве порошка используют смесь магния или алюминия со сплавом титана, содержащим от 0,1 до 36 мас.% магния, или алюминия, или циркония.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве сплава титана используют его сплавы с железом, никелем или кобальтом.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что порошок имеет размер частиц от 0,1 до 5000 мкм.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2011 года RU2415075C1

Способ очистки водорода 1989
  • Грязнов Владимир Михайлович
  • Серов Юрий Михайлович
  • Мищенко Александр Петрович
  • Рошан Наталья Робертовна
  • Клочков Александр Михайлович
  • Серебрянникова Ольга Сергеевна
SU1643450A1
RU 2063927 C1, 20.07.1996
US 4871524 A, 03.10.1989
Приспособление при прессе для охлаждения выдавливаемой из мягкого металла проволоки 1926
  • Ваврисевич П.И.
SU5123A1
Пневматическое сооружение комбинированного типа 1982
  • Поляков Валерий Петрович
  • Поляков Владимир Валерьевич
  • Монастырев Владимир Михайлович
  • Жогов Алексей Николаевич
  • Рабинович Виктор Моисеевич
SU1032132A1
US 4036944 A, 19.07.1977
JP 9194970 A, 29.07.1997.

RU 2 415 075 C1

Авторы

Стороженко Павел Аркадьевич

Шутова Ольга Григорьевна

Ендовин Юрий Петрович

Осин Вячеслав Борисович

Канг Гёнг Хун

Даты

2011-03-27Публикация

2009-08-27Подача