Способ получения электропроводных пленок из дисперсии оксида графена Российский патент 2019 года по МПК C01B32/198 H01B1/08 B82Y40/00 

Описание патента на изобретение RU2701005C1

Область техники, к которой относится изобретение

Изобретение относится к области электротехнической промышленности и нанотехнологии, а именно к электропроводным пленкам на основе углеродных наноматериалов, конкретно к способу получения тонкослойных пленок из восстановленного оксида графена.

Уровень техники

Одним из самых первых способов получения графеновых пленок был предложен нобелевскими лауреатами по физике за 2010 год Андреем Геймом и Константином Новоселовым. Способ заключался в последовательном отщеплении чешуек графена с поверхности высокоориентированного пиролитического графита скотчем, подробное описание способа представлено в статье Губин С. П., Ткачев С. В. Графен и материалы на его основе // Радиоэлектроника. Наносистемы. Информационные технологии. 2010. № 2. С. 99-137.

Основной недостаток данного метода получения пленок графена – это невозможность стабильного получения пленок одинаковых размеров и толщин.

Широкое применение обрел способ получения графеновых пленок методом CVD (Chemical Vapor Deposition) представленный в статье Muñoz R., Gómez-Aleixandre C. Review of CVD Synthesis of Graphene // Chemical Vapor Deposition. 2013. Vol. 19. P. 297-322. DOI:10.1002/cvde.201300051. Суть способа заключается в том, в CVD реакторе при высоких температурах (700-1000°C) над подложкой (чаще всего из переходного металла) пропускается углеродсодержащая газовая смесь (обычно аргон, водород и метан или ацетилен). При таких температурах в результате распада углеродсодержащего газа происходит рост графена на поверхности подложки. При этом толщина пленки графена зависит, главным образом, от времени проведения процесса и может достигать десятков нанометров и более. После получения графеновой пленки на металле осуществляется ее перенос на другую подложку. Для этого применяется стандартный метод с использованием полиметилметакрилата (ПММА) подробно описанный в статье Li X., Zhu Y., Cai W., Borysiak M., Han B., Chen D., Piner R. D., Colombo L., Ruoff R. S. Transfer of Large-Area Graphene Films for High-Performance Transparent Conductive Electrodes // Nano Letters. 2009. Vol. 9. P. 4359-4363. DOI:10.1021/nl902623y. Метод заключается в том, что на поверхность металла с графеном наносится раствор ПММА с последующей сушкой. Затем металл стравливают (например, в FeCl3 для меди и никеля), при этом графен остается на ПММА. Далее пленку ПММА с графеном переносят на требуемую подложку, после чего растворяют ПММА в подходящем растворителе.

Еще одним известным способом получения пленок графена является эпитаксиальный рост графена на поверхности карбида кремния описанный в статье Губин С. П., Ткачев С. В. Графен и материалы на его основе // Радиоэлектроника. Наносистемы. Информационные технологии. 2010. № 2. С. 99–137). В котором образование пленки графена происходит на определенной грани кристалла карбида кремния при сублимации кремния в вакууме и температуре более 1000 °C.

Главными недостатками двух вышеописанных способов являются сложность и длительность процесса получения пленок графена, а также трудность в получении пленок микронных толщин.

Известен способ получения пленок из чешуек восстановленного оксида графена заключающийся в нанесении гелеобразной пасты представляющей собой высококонцентрированную водную дисперсию оксида графена с концентрацией оксида графена более 2 мг/мл на поверхность тефлона с последующей сушкой нанесенного слоя. Подробно данный способ получения пленок представлен в статье Hua C., Shang Y., Li X., Hu X., Wang Y., Wang X., Cao A. Helical graphene oxide fibers as a stretchable sensor and electrocapillary sucker // Nanoscale. 2016. Vol. 8. P. 10659-10668. DOI:10.1039/c6nr02111e

Недостатком данного способа получения пленок оксида графена является необходимость использования высококонцентрированной дисперсии оксида графена, синтез которой связан с затратами времени на центрифугирование.

Наиболее близким аналогом заявляемого изобретения является является способ получения графеновых пленок, раскрытый в патенте RU 2648920 C1 (кл. МПК C01B 32/168, C01B 32/194, C01B 32/198, B82B 3/00, B82Y 40/00, опубл. 28.03.2018), заключающийся в том, что в суспензию содержащую углеродные наноматериалы (такие как графен, оксид графена, восстановленный оксид графена, однослойные углеродные нанотрубки, двухслойные углеродные нанотрубки, многослойные углеродные нанотрубки или их смеси) в этиленгликоле, обработанную ультразвуком, и нагретую до 95 °С по каплям добавляют органический растворитель с температурой кипения ниже температуры кипения этиленгликоля, (этанол, изопропанол, ацетон и др.). В результате чего на поверхности дисперсионной среды образуется пленка углеродного наноматериала, которую можно отделить и перенести на требуемую подложку с последующей сушкой.

Недостатком данного способа получения пленок графена является отсутствие возможности синтеза пленок из водной дисперсии.

Краткое описание чертежей

На фиг. 1 представлены этапы получения пленок из восстановленного оксида графена (ВОГ): а) – направленный нагрев горячим воздухом дисперсии оксида графена (ОГ); б) – образование пленки ВОГ; в) – снятие пленки ВОГ.

На фиг. 2 представлен типичный спектр комбинационного рассеяния света (КРС) для образцов многослойных пленок из восстановленного оксида графена, образованных при термообработке в течении 30 минут.

На фиг. 3 представлены СЭМ микрофотографии структуры поверхности и поперечного среза многослойных пленок ВОГ: a, б) – многослойная пленка ВОГ, образованная при термообработке в течении 5 минут; в, г) – многослойная пленка ВОГ, образованная при термообработке в течении 20 минут; д, е) – многослойная пленка ВОГ, образованная при термообработке в течении 30 минут.

На фиг. 4-5 представлены СЭМ микрофотографии поперечного среза многослойной пленки ВОГ.

Раскрытие изобретения

Задачей заявленного изобретения является получение тонких электропроводных пленок на основе восстановленного оксида графена.

Техническим результатом изобретения является получение однородных по структуре тонких пленок на основе восстановленного оксида графена с заданной толщиной и электрическим сопротивлением.

Указанный технический результат достигается за счет того, что способ получения электропроводных пленок из дисперсии оксида графена осуществляется путем направленной термообработки поверхности водной дисперсии оксида графена потоком нагретого до 120-300°С воздуха, в результате которой на поверхности дисперсии оксида графена образуется гидрофобная пленка на основе ВОГ, которую можно перенести на любую подложку и использовать в качестве электропроводного покрытия.

Концентрация оксида графена в водной дисперсии оксида графена может составлять от 0,5 до 1,7 мг/мл.

Направленную термообработку возможно осуществлять с помощью термофена с функцией контроля температуры и потока нагретого воздуха, который устанавливается на расстоянии к поверхности водной дисперсии оксида графена от 5 до 10 см.

Время термообработки поверхности дисперсии оксида графена может составлять не менее 5 минут.

Осуществление изобретения

Практическая осуществимость заявленного изобретения демонстрируется следующими типичными примерами.

Пример 1.

Способ получения пленок на основе ВОГ осуществлялся следующим образом: чашка Петри на ½ ее объема заполнялась водной дисперсией оксида графена с концентрацией ОГ 1 мг/мл. Далее над чашкой Петри на расстоянии 10 см устанавливался термофен с функцией контроля температуры и потока нагретого воздуха направленный к поверхности водной дисперсии ОГ (фиг. 1а), после чего производится его пуск. По достижении заданной температуры (150°С), через 5 мин на поверхности образовывалась многослойная пленка (фиг. 1б) из восстановленного оксида графена (фиг. 2), которую извлекали при помощи пинцета (фиг. 1в) и переносили на предметное стекло. Толщина полученной пленки увеличивалась пропорционально времени термообработки (фиг. 3), от 1 мкм при поверхностной термообработке на протяжении 5 минут до 12,25 мкм при поверхностной термообработке на протяжении 30 минут, при этом пропорционально увеличению толщины пленки снижалось удельное электрическое поверхностное сопротивление от 11,3×106 до 1,45×106 Ом/квадрат. Методом спектроскопии комбинационного рассеяния света (КРС) было установлено (фиг. 2), что полученная пленка содержат основные полосы, присущие материалам на основе углерода – D при 1338 см-1 и G при 1582 см-1. По оценке соотношения ID/IG видно, что образованные пленки представляют собой многослойную структуру. В спектрах образцов имеется характерный 2D-пик, что характерно восстановленному оксиду графена.

Пример 2.

Способ получения пленок на основе ВОГ осуществлялся следующим образом: чашка Петри на ½ ее объема заполнялась водной дисперсией оксида графена с концентрацией ОГ 0,5 мг/мл. Далее над чашкой Петри на расстоянии 5 см устанавливался термофен с функцией контроля температуры и потока нагретого воздуха направленный к поверхности водной дисперсии ОГ, после чего производится его пуск. По достижении заданной температуры (300°С), через 5 мин на поверхности дисперсии образовывалась многослойная пленка из восстановленного оксида графена, которую извлекали при помощи пинцета и переносили на предметное стекло. Толщина полученной пленки составляла 10,69 мкм (фиг. 4) а удельное электрическое поверхностное сопротивление составляло 3,7×106 Ом/квадрат.

Пример 3.

Способ получения пленок на основе ВОГ осуществлялся следующим образом: чашка Петри на ½ ее объема заполняется водной дисперсией оксида графена с концентрацией ОГ 1,7 мг/мл. Далее над чашкой Петри на расстоянии 10 см устанавливался термофен с функцией контроля температуры и потока нагретого воздуха направленный к поверхности водной дисперсии ОГ, после чего производится его пуск. По достижении заданной температуры (120°С), через 5 мин на поверхности образовывалась многослойная пленка (фиг. 5) из восстановленного оксида графена, которую извлекали при помощи пинцета и переносили на предметное стекло. Толщина полученной пленки составляла 4 мкм а удельное электрическое поверхностное сопротивление составляло 9,6×106 Ом/квадрат.

Сопоставительный анализ заявляемого изобретения показал, что совокупность существенных признаков заявленного комплекса не известна из уровня техники и, значит, соответствует условию патентоспособности «Новизна».

В уровне техники не было выявлено признаков, совпадающих с отличительными признаками заявленного изобретения и влияющих на достижение заявленного технического результата, поэтому заявленное изобретение соответствует условию патентоспособности «Изобретательский уровень».

Приведенные сведения подтверждают возможность применения заявляемого изобретения в электротехнике для создания тонких электропроводных покрытий, и поэтому заявленное изобретение соответствует условию патентоспособности «Промышленная применимость».

Похожие патенты RU2701005C1

название год авторы номер документа
Способ восстановления оксида графена йодом 2021
  • Столяров Роман Александрович
  • Бурмистров Игорь Николаевич
  • Блохин Александр Николаевич
  • Пасько Татьяна Владимировна
  • Ткачев Алексей Григорьевич
  • Чапаксов Николай Андреевич
  • Ягубов Виктор Сахибович
  • Зайцев Игорь Анатольевич
RU2790835C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДНЫХ НАНОМАТЕРИАЛОВ 2016
  • Яковлев Всеволод Ярославович
  • Насибулин Альберт Галийевич
  • Гольдт Анастасия Евгеньевна
RU2648920C1
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩЕГО СЛОЯ НА ОСНОВЕ ОКСИДА ГРАФЕНА И УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК 2021
  • Куксин Артем Викторович
  • Герасименко Александр Юрьевич
  • Шаман Юрий Петрович
  • Кицюк Евгений Павлович
  • Глухова Ольга Евгеньевна
RU2773731C1
Способ формирования электропроводящих слоев и структур различной конфигурации из чешуек восстановленного оксида графена (мультиграфена) 2022
  • Васильева Федора Дмитриевна
  • Смагулова Светлана Афанасьевна
  • Шарин Петр Петрович
RU2794890C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БИОЛОГИЧЕСКОГО СЕНСОРА НА ОСНОВЕ ОКСИДА ГРАФЕНА И БИОЛОГИЧЕСКИЙ СЕНСОР НА ГИБКОЙ ПОДЛОЖКЕ 2018
  • Комаров Иван Александрович
  • Стручков Николай Сергеевич
  • Антипова Ольга Михайловна
  • Калинников Александр Николаевич
  • Нелюб Владимир Александрович
  • Бородулин Алексей Сергеевич
RU2697701C1
Способ изготовления матричного биосенсора на основе восстановленного оксида графена и матричный биосенсор на полимерной подложке 2019
  • Нелюб Владимир Александрович
  • Орлов Максим Андреевич
  • Калинников Александр Николаевич
  • Бородулин Алексей Сергеевич
  • Комаров Иван Александрович
  • Антипова Ольга Михайловна
  • Стручков Николай Сергеевич
RU2745663C1
Способ получения гибкого гибридного пьезоматериала с использованием проводящих слоев графеновых частиц и серебряных наностержней 2020
  • Данилов Егор Андреевич
  • Самойлов Владимир Маркович
  • Веретенников Михаил Романович
  • Дарханов Евгений Владленович
  • Находнова Анастасия Васильевна
  • Михеев Денис Александрович
  • Гареев Артур Радикович
  • Парамонова Надежда Дмитриевна
RU2789246C2
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГИБКОГО ДАТЧИКА ДЕФОРМАЦИИ 2023
  • Курцевич Екатерина Андреевна
  • Коголев Дмитрий Анатольевич
  • Фаткуллин Максим Ильгизович
  • Зиновьев Алексей Леонидович
  • Рауль Давид Родригес Контрерас
  • Постников Павел Сергеевич
RU2811892C1
НАНОКОМПОЗИТНЫЙ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИЙ МАТЕРИАЛ С ВОССТАНОВЛЕННЫМ ОКСИДОМ ГРАФЕНА (ВАРИАНТЫ) И ЭКОЛОГИЧНЫЙ СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ (ВАРИАНТЫ) 2023
  • Озкан Света Жираслановна
  • Карпачева Галина Петровна
  • Костев Александр Иванович
RU2820114C1
Способ получения гибридного материала на основе прозрачной проводящей графеновой пленки 2017
  • Самойлов Владимир Маркович
  • Данилов Егор Андреевич
  • Николаева Анастасия Васильевна
  • Пономарева Дарья Владимировна
  • Тимощук Елена Игоревна
  • Дмитриева Валентина Сергеевна
RU2662535C1

Иллюстрации к изобретению RU 2 701 005 C1

Реферат патента 2019 года Способ получения электропроводных пленок из дисперсии оксида графена

Изобретение относится к области электротехнической промышленности и нанотехнологии, а именно к электропроводным тонкослойным плёнкам из восстановленного оксида графена и к способу их получения. Способ получения пленки включает направленную термообработку поверхности водной дисперсии оксида графена потоком нагретого до 120-300°С воздуха, в результате которой на поверхности дисперсии оксида графена образуется тонкая, электропроводная, гидрофобная пленка на основе восстановленного оксида графена, которую можно перенести на любую подложку и использовать в качестве электропроводного покрытия. Изобретение открывает возможность получения пленок из восстановленного оксида графена заданной толщины и электропроводности. 3 з.п. ф-лы, 5 ил., 3 пр.

Формула изобретения RU 2 701 005 C1

1. Способ получения электропроводных пленок из дисперсии оксида графена, заключающийся в том, что гидрофобную пленку на основе восстановленного оксида графена получают путем направленной термообработки поверхности водной дисперсии оксида графена потоком нагретого до 120-300°С воздуха.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что концентрация оксида графена в водной дисперсии оксида графена составляет от 0,5 до 1,7 мг/мл.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что направленную термообработку осуществляют с помощью термофена с функцией контроля температуры и потока нагретого воздуха, который устанавливается на расстоянии к поверхности водной дисперсии оксида графена от 5 до 10 см.

4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что время термообработки поверхности дисперсии оксида графена составляет не менее 5 минут.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2019 года RU2701005C1

WO 2013040636 A1, 28.03.2013
US 9236156 B2, 12.01.2016
US 9057639 B2, 16.01.2015
H.B.Sun, Materials Technology: Advanced Performance Materials, 2014, vol.29, No.1, pp.14-20
Способ изготовления тонкопленочного датчика влажности 2018
  • Винокуров Павел Васильевич
  • Филиппов Иван Михайлович
  • Алексеев Айыысхан Иванович
  • Капитонов Альберт Николаевич
  • Смагулова Светлана Афанасьевна
RU2682259C1

RU 2 701 005 C1

Авторы

Корнилов Денис Юрьевич

Губин Сергей Павлович

Даты

2019-09-24Публикация

2019-04-17Подача