Резистивный материал Советский патент 1983 года по МПК H01C7/00 

(54; Г ЕЗИСТИВНЫЙ МАТЕРИАЛ

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано, например, в микроэлектронике для изгото ления толстопленочных пассивных элемен тов интегральных схем. Известен резистивный материал на ос Иове кобальтита. никеля l . Недостаток известного материала сос тоит в относительно узком диапазоне удельного сопротивления. Наиболее близким к предлагаемому техническим решением является резистив ный материал, состоящий из кобальтита никеля и модифицирующей добавки 2. Недостаток известного резистивного материала заключается в относительно у ком диапазоне удельного сопротивления, Цель изобретения - получение одноро0 ной величины уаельного сопротивления в циапазоне 25О-310 Ом-м. Поставленная цель достигается тем, что известный резистивный материал, вкхпочакшшй кобальтит никеля и модифицирующую добавку, в качестве модифипирующей добавки содерж1гг марганец при следующем количественном соотнощении компонентов, вес.%: Кобальтит никеля85-95 Марганец5-15 Резистивный материал получают путем совместного осаждения гидроокисей 10%ным водным раствором аммиака из раствора азотнокислых солей металлов с последующей сушкой и отжигом на воздухе при 4ОО С. Соотношение компонентов рассчитывают по металлу, соотношение никеля к кобальту выбирают 1:2, как стехиометрическое для достижения максимальной гомофизности системы. Состав резистивного материала и дан-, ные по удельному сопротивлению приведены в таблице. Изобретение позволяет получить резистивный материал с однородной величиной удельного сопротивления в Д1шпазоне 26О31О ОмМ, повысить стабильность и надежность интегральных.схем, в которых он использован.

955

9010

8515

Формула изобретения

Реаисгивмый магериал, включающий кобалыгиг шпселя я модифяшфующую добавку, отличающийся тем, что, с целью получения однородной величины удельного сопрогивления в диапазо не 2БО-31О , в качестве модифиШфующей добавки он содержит марганед при следующем количественном соотношении компонентов, вес. %:

302-310 258-274

Кобальтяг никеля 85-95 Марганец5-15

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

кл. Н Ог С 7/ОО, 1978.

кл. Н 01 С 7/ОО, , O2.O3.8l { протип).