Резистивный материал для толстопленочных резисторов Советский патент 1983 года по МПК H01C7/02 

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано например, в микроэлектронике при изготовлении толстопленочных элементов интегральньлх схем.

Известен резистивный материал для толстоплекочных резисторов, содержащий кобальтит никеля со структурой шпинели и переходный металл, выбранный из ряда, состоящего из ванадия, хрома и железа 1.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является резистивный материал для толстопленочных резисторов, содержащий кобальтит никеля со структурой шпинели и марга нец в качестве модифицирующей добавки 2 ,

Недостаток известных резистивных материалов состоит в узком диапазоне .удельного сопротивления.Цель изобретения - расширение диапазона удельного сопротивления.

Цель достигается тем,что резиртивный материал; содержащий кобальтит никеля со структурой шпинели и модифицирующую добавку;, содержит в качестве модифицирующей добавки титан при следующем количественном соотношении компонентов, вес.%:

Кобальтит никеля со структурой шпинели90-95 Титан5-10 Для получения резистивного материла приготовляют три смеси компонентов, каждая из которых содержит,вес кобальтита никеля со структурой шпинел 95; 52,5; 90 и титана 5; 7,5; 10.

Каждую смесь готовят методом совместного осаждения гидроокисей 10 %-ным водным раствором аммиака из раствора азотнокислых солей соответствующих металлов (Nl(NO)-K , Co(NO ) , 5TiO;l г NJ 05- бНг,О) с последующей сушкой и отжигом при 400 С в течение 5 ч. Сотношение Ki :Со 1:2 берут как стехиометрическое для наиболее полного ишинелеобразования. Полученный материал представляет собой тонкодисперсный ма териал черного цвета.

Изобретение позволяет получать резистивный материал с высокой степенью однородности удельного сопротивления в диапазоне И00-1250 Ом-м и обеспечивает высокую надежность изготовленных на его основе толстопленочных элементов интегральных схем

РЕЗИСТИВНЫЙ МАТЕРИАЛ ДЛЯ ТОЛСТОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ, содержащий кобальтит никеля со структурой шпинели и модифицирующую добавку,., отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона удельного сопротивления, он содержит в ; качестве модифицирующей добавки титан при следующем количественном соотношении компонентов, мас.%: Кобальтит никеля со структурой шпинели . 90-95 Титан5-10