Устройство для электрохимической обработки микроленты Советский патент 1983 года по МПК C25D7/06 C25F7/00 C25D17/10 

; Изобретение относится к устройст вам для электрохимической обработки изделий и может быть использовано при электрохимическом полировании, травлении микроленты и других плос ких изделий микронных толщин, с биполярным подводом электрического тока. Известно устройство для электрохимический обработки микроленты, вы .полненное в виде двух электрохимических ячеек, разделенных перегррод кой, с биполярным подводом электрического тока через плоские электроды С13. Однако распределение плотности тока по длине и ширине изделия неравномерно, а следовательно, качест во обработки поверхности низкое,-пр изводительность процесса невысокая так как на 60-80 длины рабочей зон плотность тока ниже оптимальной и эти участки являются нерабочими, наблюдаются значительные: утечки тока в перегородках, так как в этих местах плотность тока в 3-5 раз выше оптимальной, кроме того, заостря ются кромки ленты из-за неравномерного распределения плотности тока по ширине ленты. Известно также устройство для электрохимической обработки ленты, в котором электрод выполнен угловым причем угол при вершине можно изменят-ь в зависимости от свойств .материала и режима обработки Г 2 3s Однако указанное устройство не позволяет получить высокого качест.ва при обработке микроленты вследствие неравномерного распределения плотности тока по длине и ширине ми роленты. . . ; Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому эффекту является устройство СЗ - для электрохимической обработки мик роленты, содержащее ряд электрохими ческих ячеек, разделенных диэлектрическими перегородками, электроды .выполненные параболическими из упру гих металлических пластин, форма ко торых определена механизмом управле ния по зависимости. R(X) (с«4-сГ)р. 2 2p(o(-nf} е асГСбасГб Недостатками известного устройства являются снижение качества об; работки вследствие неравномерного 3 распределения плотности тока по ширине ленты и заострение кромок ленты из-за неравномерного распределения плотности тока по ширине денты. ч . Цель изобретения - повышение качества обработки путем выравнивания плотности тока по ширине ленты.. Указанная цель достигается тем, .что в устройстве для электрохимической обработки микроленты, содержащем ряд-электрохимических йчеек, разделенных диэлектрическими перегородками и электроды; каждый из электродов выполнен в виде .тела, образованного двумя Совмещенными поверх- ностями параболической формы, развернутыми относительно друг друга на 96, причем отношение минимального расстояния поверхности электрода до плоскости ленты к максимальному расстоянию определено по зависимостир1)(с(+«Г)е . расстояние, см; ширина ленты, см; толщина ленты, см; половина длины ячейки, см; удельное.сопротивление ме талла микроленты Ом«см; 2) - плотность тока, и - напряжение на ванне, В. Выполнение электрода в виде тела, образованного двумя совмещенными поверхностями параболической формы, развернутыми относительно друг друга на 90°, когда отношение минимального расстояния электрода до - поверхности микроленты в середине электрохимической ячейки к максимальному расстоянию около перегородок определено по зависимости )Со1+«г)е2 обеспечивает равномерное распределение плотности тока по длкне и ширине микроленты и, следовательно, повышает качество обработки поверхности. Выполнение электродов длиной и высотой равными ширине микроленты способствует установлению соотношения между минимальным М и максймальным Ммакс расстояниями от электрода до поверхности микроленты и созданию равномерного ()аспределения плотности тока как по длине, так и по ширине микроленты, т.е. повышению качества обработки поверхности.

На фиг. 1 и 2 приведена схема устг ройства. , .

Устройство для элек-трохимической обработки микроленты содержит электрод 1, выполненный в виде тела, образованного двумя совмещенными плоскостями 2 и 3 параболической формы, развернутыми относительно друг друга на угол 9 90°, при этом длина трода равна его высоте.

. . . . ,.-- Устройство работает следующим обг

разом. :

: Обрабатываемую ленту 4 (фиг.2) заправляют через проводные каналы Б.

По приведенному соотношению расчитывают минимальное и максимал1гноё расстояния электрода доповерхности миироленты Устанавливают в электрохимические ячейки электроды 1, длина и высота которых равна ширине ленты. Подают на электроды напряжение и

осуществляют электрохимическую обработку.

Испытывают устройство для электрохимической обработки микроленты толщиной 2 мкм, шириной k см из сплава ЗбНХТЮ с удельным сопротивлением 10- .

Электрохимическую обработку проводят при плотности тока Т) 0,6 А/см,

напряжении на ванне 6 В. в сернофосфорном электролите состава, вес.|: И 50 И ; 27; HjO 32, с удельным сопротивлением 3,12. . Элект роды по длине и высоте равны ширине ленты. Т.е. рм.

Оценивают распределение плотноститока по длине и ширине ленты по срав,нению с прототипом. .

Качество обработки поверхности оценивают по равномерност 1 съема металла, по повышению класса чистоты ленты,отра жательной способности до и после электрохимической обработки.

Замеры производят в пяти точках, равномерно расположенных по длине ленты в ячейке, ив пяти точках, равномерно расположенных по ширине .ты (таблица).

- «м

М «SI

- «N

- r«i

«- dl

- «

. - «M

«- «M