Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано для разрезания хрупких материалов (кремния, германия, стекла, ситалла и т.п.) абразивными дисками с наружной или внутренней режущей кромкой. Известен способ резки твердых и хрупких материалов алмазными дисками с внутренней режущей кромкой, включающий подачу заготовки на резку с одновременным ее вращением вокруг своей оси. Для повыщения качества резки до установки заготовки на резку в ней по оси выполняют отверстие и заливают его отвердевающей массой материала, эпоксидной смолой, а затем при вращении заготовки производят резку . Однако данный способ не может быть щироко использован ввиду того, что не всегда допускается выполнять отверстие в заготовках. Кроме того, он требует дополнительных затрат на материалы и увеличивает общую трудоемкость изготовления деталей. Наиболее близким к предлагаемому является способ поперечной резки полупроводниковых станков, включающий вращение инструмента и радиальную подачу слитка на инструмент, которую прекращают после пересечения режущей кромкой инструмента оси заготовки, а затем осуществляют вращение заготовки до конца реза 2. Недостаток известного способа заключается в образовании заусенцев и сколов на краю пластин при их откалывании от слитка в конце резки, для удаления которых необходима дополнительная операция. Целью изобретения является улучщение качества изделий. Поставленная цель достигается тем, что согласно способу поперечной резки хрупких материа; ов, включающему вращение инструмента и радиальную подачу заготовки на инструмент, которую прекращают после пересечения режущей кромкой инструмента оси заготовки, с последующим вращением заготовки до конца реза,в начале реза одновременйо с радиальной подачей заготовки осуществляют ее вращение до образования на ней кольцевой проточки. На чертеже представлен пооперационно процесс разрезания. На первом этапе (а) заготовку 1, закрепленную в щпинделе, вращают вокруг продольной оси с частотой Пи одновременно перемещают со скоростью VpaA в радиальном направлении на абразивный круг 2, который вращают с частотой . Этот этап предназначен для образования кольцевой канавки на заготовке, благодаря чему на отрезаемой пластине исключается образование сколов и заусенцев. Частоту вращения и глубину канавки выбирают в зависимости от размеров заготовки и физико-механических свойств обрабатываемого материала. На втором этапе (б) при отсутствии вращения заготовки производят дальнейщее ее перемещение на инструмент до пересечения режущей кромкой инструмента продольной оси. На третьем этапе (в) осуществляют окончательную разрезку заготовки путем ее поворота вокруг продольной оси с частотой Пвр. Таким образом, предложенный способ резки хрупких материалов исключает образование сколов и выступов на торцовой поверхности заготовки и позволяет увеличить выход годных деталей. Экономический эффект от внедрения одного станка, где использовано предлагаемое изобретение, при годовой программе обработки 100 тыс.изделий должен составить 150 тыс.руб.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
СПОСОБ ПОПЕРЕЧНОЙ РЕЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХСЛИТКОВ | 1973 |
|
SU434519A1 |
СПОСОБ ОДНОВРЕМЕННОГО РАЗРЕЗАНИЯ НЕСКОЛЬКИХСЛИТКОВ | 1971 |
|
SU302188A1 |
Способ поперечной резки полупроводниковых материалов на пластины | 1990 |
|
SU1729764A1 |
СПОСОБ РЕЗКИ ПЛАСТИН ДИСКАМИ С ВНЕШНЕЙ РЕЖУЩЕЙ КРОМКОЙ | 2002 |
|
RU2211142C1 |
Способ резки полупроводниковых слитков | 1990 |
|
SU1784467A1 |
СПОСОБ РЕЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛИТКОВ НА ПЛАСТИНЫ | 1996 |
|
RU2108225C1 |
АБРАЗИВНЫЙ КРУГ | 1993 |
|
RU2053108C1 |
Способ алмазной резки твердых и хрупких материалов | 1988 |
|
SU1699781A1 |
СПОСОБ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ПЛАСТИН ИЗ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ В КООРДИНАТНОЙ СИСТЕМЕ ОТСЧЕТА УСТАНОВКИ ДЛЯ АБРАЗИВНОЙ РЕЗКИ ПЛАСТИН НА "ЧИП"Ы | 2002 |
|
RU2220474C1 |
СПОСОБ НАДРЕЗАНИЯ/РАЗРЕЗАНИЯ ПЛАСТИН ОТРЕЗНЫМ КРУГОМ | 2005 |
|
RU2292266C1 |
СПОСОБ ПОПЕРЕЧНОЙ РЕЗКИ ХРУПКИХ МАТЕРИАЛОВ, включающий вращение инструмента и радиальную подачу заготовки на инструмент, которую прекращают после пересечения режущей кромкой инструмента оси заготовки, с последующим вращением заготовки до конца реза, отличающийся тем,.что, с целью улучщения качества изделий, в начале реза одновременно с радиальной подачей заготовки осуществляют ее вращение до образования на ней кольцевой проточки. X (Л %
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
СПОСОБ РЕЗКИ ТВЕРДЫХ И ХРУПКИХ МАТЕРИАЛОВ | 1972 |
|
SU423657A1 |
Пишущая машина для тюркско-арабского шрифта | 1922 |
|
SU24A1 |
Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов | 1917 |
|
SU2A1 |
УСТРОЙСТВО для КОНТРЧЭЛЯ РАБОТЫ ОБОРУДОВАНИЯ | 1973 |
|
SU433519A1 |
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Авторы
Даты
1983-10-15—Публикация
1981-02-12—Подача