СПОСОБ ПОПЕРЕЧНОЙ РЕЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХСЛИТКОВ Советский патент 1974 года по МПК H01L21/00 

1

Известен способ резки полупроводниковых слитков, когда одновременно с радиальной подачей слитка на вращающийся инструмент происходит вращение слитка вокруг продольной оси; при этом резка начинается на периферии и заканчивается в центре слитка.

В результате такой резки в центре отрезаемой пластины остаются следы сколов и выступы, устранение которых увеличивает трудоемкость последующих операций, а также уменьшает выход годной продукции.

Цель изобретения - увеличение выхода годной продукции на последующих операциях шлифования и раскроя пластин, улучшение качества поверхности отрезаемых пластин наряду с увеличением диапазона диаметров разрезаемых слитков.

Цель достигается тем, что подача слитка на инструмент осуществляется в два этапа: сначала осуществляется радиальная подача, которая прекращается после пересечения режущей кромкой продольной оси слитка, а затем слиток поворачивают вокруг своей продольной оси до окончания резки.

Предлагаемый способ резки поясняется схемой, показанной на чертеже.

Резка осуществляется следующим образом.

На абразивный отрезной круг 1 с внутренней режущей кромкой, приводимый во вращение, подают в радиальном направлении разрезаемый слиток 2. При осуществлении радиальной подачи слиток занимает положение, когда продольная ось Oi слитка расположена относительно осп 02 круга 1 на расстоянии, большем радиуса R режущей кромки на величину б. Величину б устанавливают экспериментально. При достижении такого расположения слитка относительно отрезного круга радиальную подачу прекращают и дальнейшую резку осуществляют за счет поворота слитка 2 вокруг его продольной оси Oi.

Предмет изобретения

Способ поперечной резки полупроводниковых слитков абразивным отрезным кругом, включающий вращение инструмента, радиальную подачу слитка па инструмент, о т л и ч а ющ и и с я тем, что, с целью увеличения выхода годных пластин и повышения качества поверхности, радиальную подачу слитка на инструмент прекращают после пересечения режущей кромкой инструмента продольной оси слитка, а затем осуществляют подачу слитка на инструмент путем поворота слитка вокруг продольной оси.