СПОСОБ РЕЗКИ ТВЕРДЫХ И ХРУПКИХ МАТЕРИАЛОВ Советский патент 1974 года по МПК B28D1/00 

1

Известны снособы резки твердых и хруиких материалов, иреимущественно, иолуироводииковых, кремния, германия диаметром например, до 70 мм, абразивиы.ми, например. aлJ мазными дисками с внутренней режущей кромкой нри подаче заготовки на резку с одновременным ее вращением вокруг оси.

Однако в процессе отрезки пластин от заготовки по центру пластины и заготовки остаются выступы и впадины, которые требуют дальнейщего удаления, а кроме того, являются причиной возпикновения трещип в тонких пластинах.

Цель изобретения - улучщить качество резки заготовки на отдельные пластины.

Это достигается тем, что ио оси заготовки выполняют отверстие и заливают его отвердевающей массой материала, наиример шеллаком, эпоксидной смолой и др. В результате резки такой заготовки выступы и впадины образовываются в заливаемой массе материала, который в дальнейшем выплавляется, а отрезаемая пластина получается ровной, без дефектов.

Отверстие не меншет дальнейшей обработке пластины и получению из нее изделий.

На чертеже изображена примерная схема резки заготовки на отдельные пластины.

В заготовке 1 тоикостеппым алмазным трубчатым сверло иросверливают отверстие по осп н заливают его отвердевающей Maccoii мате)пала. Заготовку приклеивают к державке 2. закрепляют в устройстве 3 и отрезают пластину 4 от заготовкп при подаче се под режущую кромку инструмента 5 с одновременным ее вращением вокруг оси. Отреза1П ая пластина выводится из зоны резания лотком 6, п материал из цептральпого отверстия выплавляют.

П р е д м е т п з о б р е т е п п я

Способ резки твердых и хрупких материалов, нанример полупроводниковых, а,тмазныAin дисками с внутренней режущей кромкой, включающий подачу заготовкп на резку с одновременным ее вращенпем вокруг своей осп, о т л и ч а ю щ и ii с я тем, что, с целью повыП1еиия качества резки, до устаповки заготовкп на резку в пей по оси выиолпяют отверстие и заливают его отвердевающей массой материала, папример эпоксидной смолой, п затем при вращении заготовкп производят резку.

/ 25