Способ изготовления цинко-германиевого поверхностно-барьерного триода Советский патент 1956 года по МПК H01L21/3063 C25F3/14 C25D3/22 H01L21/288 

Основную часть поверхностнобарьерного трнода составляет пластинка германия, в лвух соосных лунках )Г| нанесены Ц1н;ковые эмиттер, н ко;1.тектор. Полхчение .lyнок на поверхнсхти германия осуществляется путем струйного э.чектролитнческо.го травления.

Оннсываемое изобретение имеет це.П)Ю ун)остнть производство новер.хиостно-ба1)ьерных триодов путем г(спо.1ьзс)вания установки д.тя стрз-iiного элсктрохн.мического травленн; германия и для нанесения цинковых :л-к чт|к;дор, триода. Обе операции выпо.тнязотся подаче на блок rcj)мання cooc.ibix ст)ун э.тектролнта, содержспнего сернокислые солн н алюминия в водном растворе при коицентрации

30 100 г л ги5О;-7Н.,О н 30 г .7 AiafSOO-lSHgO

При переходе с операции травлепня германия на операцию осаждения цинка нолярпость германия .1еняют с анодной на катодную. Обе операции выполняются при колп:аунон температуре, т 5авление герман::; выполняется при плотности тока от 0.5 до 2 о/с..-, рассчитанной на диаметр лунки. а осаждение при плотностн тока 0,2-0,6 а, . отнеceHHoii к поперечному сечению осадкаДля умеиьн1ения обратного тока ко.т.лектора блок трнода подвергается травлоппо в течение 3 секупд в 2%-ном растворе азотной кнс.юты н иос.1едуюн1;ем 4 5-секундном тр авленню в растворе: 100 /./ СгО;, и 3 г .. H.SO; Г р е : м е т и з о б р е т е н я

1.Способ изготовления a ;;ieвoгo поверхностно-барьерного трнода путем электролитического струйного В1)1Т)авлення дв)Х соосных лунок в германиевой пластшиче с последующим электролитическим осаждением цинковых элп)ттера н коллектора, о т Л н ч а ю щ и и с я тем, что, с це.тью осуществления как травлеиия германия, так и оеаждспия на дно лунок без замены электролнта, последний ИЗГОТОВЛЯЮТ из сернокислых солей цинка и алквинщя в водном растворе. содер ка1цем от 30- 100 г:л

гпВОг НгОиЗО, ./AUfSOi);;-ISH.O

2.Способ нзготовлеиия HHIH Oгерманиевого поверхиостио-барьерно№ 104970 го триода по п. 1, о т л и ч а ю ид и йс я тем, что травление германия выполняют при плотности тока 0,5- 2 а/см, а осаждепне цинка при плотности тока 0,2-0,6 . 3. Способ изготовления цинко-германиевого поверхностно-барьерного триода по пп. 1 и 2, отличаю- 2 щ и и с я тем, что, с целью уменьшения обратного тока коллектора блок триода подвергают в течение 3 секунд химическому травлению в 2%-иом растворе азотной кислоты и последующему 4-5-секундпому травлению в растворе 100 г:л СгО;., и 3 гог H2SO,,.