Устройство для присоединения навесных элементов Советский патент 1984 года по МПК H01L21/98 H05K3/34 

иг. / Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и гибридных схем и может быть использовано при монтаже навесных элементов на подложки гибридных интегральных схем и на печатные платы пайкой или склеивапием. Известно устройство для присоединения павесных элемейтов, преимущественно к подложкам микросхем, содержапхее расположенные в корпусе захват для присоединяемых элементов, нагреватель газа, токоприводы, штуцер подвода газа и сопло истечения газа 1. Недостатком этого устройства является низкое качество изделий, обусловленное отсутствием точной фокусировки потока газа в зоне присоединения, что приводит к пеperpeefy навесного элемента за счет непосредствепного его обдува горячим газом, а также за счет топлоподачи через захват, который находится в потоке горячего газа. Кроме того, невозможен обзор зоны пайки сверху, что снижает точность присоединения и качество изделий. Цель изобретения - повыи1ение качества изделий. Указанная цель достигается тем. что устройство для присоединения навесных элементов, содержащее расположенные в корпусе захват для присоед,иняемых элементов. Нагреватель газа, токоприводы, штуцер подвода газа и сопло истечения газа, снабжено механизмом изменения конфигурации сонла, выполненным в виде подвижных кареток, установленных на корпусе вокруг сопла, а сопло выполнено в виде пабора отдельных щелевых секций, каждая из которых закреплена на одной из кареток механизма изменения конфигурации сопла. На фиг. 1 изображено устройство (разрез А-А На фиг. 2); на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг. 3 - вид Б на фиг. 1; на фиг. 4 - разрез В-В на фиг. 1. Устройство содержит корпус 1, в котором расположен вакуумный захват 2 для присоедипяемых элементов, нагреватели 3, соединенные с ними токопроводы 4 и штуцер 5 для подвода газа. Сопло истечения газа выполнено в виде щелевидных секций 6, установленных на каретках 7, подвижно установленных на корпусе 1 вокруг сопла и образующих механизм изменения конфигурации сопла. Каретки 7 снабжены пальцами 8, которые входят в спиральные пазы 9 кольца 10, снабженного рукояткой П.. Устройство работает следующим образом. Рабочий газ подается через штуцер 5 и проходит через нагреватели 3, где разогревается до требуемой температуры. Затем Нагретый газ проходит через секции 6 сопла и в виде щелевидных газовых потоков подается в зону присоединения. Изменение конфигурации сопла осуществляется поворотом рукоятки 11. При этом пальцы 8 скользят по спиральным пазам 9 и перемещают каретки 7 с установленными на них секциями 6 сопла. При работе устройства процесс совмещения навесного элемента с подложкой можно Наблюдать сверху через промежутки между секциями сопла, что позволяет увеличить точность присоединения.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРИСОЕДИНЕНИЯ НАВЕСНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ, преимущественно к подложкам микросхе.м, содержащее расположенные в корпусе захват для присоединяемых элементов, токоподводы, штуцер подвода газа, нагреватель газа и сопло истечения газа, отличающееся тем, что, с целью повышения качества изделий, оно снабжено механизмом изменения конфигурации сопла, выполненным в виде подвижных кареток, установленных На корпусе вокруг сопла, а сопло выполнено в виде набора отдельных щелевидных секций, каждая из которых закреплена на одной из кареток механизма изменения конфигурации сопла.