Способ получения просветляющего покрытия на основе фторида магния Советский патент 1984 года по МПК H01J9/20 

Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к способам вакуумного нанесения просветляющих покрытий на основе фторида магния на оптические детали Известен способ получения просве ляющих покрытий на основе фторида магния,, включающий очистку, нанесе ние покрытий и упрочняющую термообработку при 280-300°С 11. Указанньй способ получения покры тий требует значительных энергозатрат и времени на нагрев и охлаждение деталей с покрытиями, а также дополнительного оборудования. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является способ нанесения просветляющего покрытия на основе фторида магния, включающий очистку оптических деталей в плазме тлеющего разряда посто янного тока, упрочнякидую обработку . и нанесение покрытия на оптические детали С2 J. Недостатком известного способа является необходимость в значительных затратах энергии и времени (боаее 3 ч для деталей массой 1-2 кг) Цель изобретения - ускорение про цесса и снижение энергозатрат. Поставленная цель достигается тем/ что согласно способу получения просветляющего покрытия на основе фторида магния на оптических деталях, включающему очистку оптических деталей в плазме тлеющего разряда постоянного тока, упрочняняцую обработку и нанесение покрытия, упроч|НЯкц1ую обработку производят после нанесения покрытия в плазме тлеющего разряда постоянного тока в атмосфере азота, аргона или фреона при давлении 8-11 Па и плотности гОка 0,4-0,5 мА/сял в тече- ние 8-12 мин. Упрочнягацая обработка покрытия тлеющим разрядом обеспечивает повышение прочности и благостойкости покрытия вследствие термического разогрева самого покрытия и эффекта бомбардировки поверхности ионами и электронами плазмы. Пример. Проводят получение просветляющего покрытия из фторида магния на оптических деталях массой около 1 кг. Деталь очищают тлеющим разрядом и через 10 мин наносят просветляквдее покрытие. После нанесения покрытия в вакуумный объем напускают азот до давления 8-11 Па, на электрод подают постоянное напряжение 1-1,5 кВ и поддерживают ток разряда 280-300 мА. . . Упрочняющую обработку производят в течение 10 мин и через 5 мин в вакуумный объем напускают воздух. На процесс затрачивают б КВт-ч электроэнергии при общей длительности процесса получения покрытия 1ч. Просветление этих деталей способом-прототипом осуществляется за 3 ч и требует 19 кВт,ч электроэнергии. Покрытия, полученные предлагаемым способом, вьщерживают испытание, на прочность в соответствии с ОСТ 3-1901-73,5 циклов термоудара+60 С,. Юдсут 98% влажности при . Использование предлагаемого способа обеспечивает сокращение энерго- . затрат в 3-4 раза и уменьшение времени приготовления покрытия в 2-3 раза. Сокращаются потребности в вакуумном оборудовании и производственных площадях.

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ .ПРОСВЕТЛЯЮЩЕГО nOKPkTHH НА ОСНОВЕ ФТОРИДА МАГНИЯ на оптических деталях, вклюiчанвдий очистку оптических деталей в плазме тлеющего разряда постоянного тока, упрочняющую обработку и нанесение покрытия, отличающ и и с я тем, что, с целью ускоре ия процесса и снижения энергозатрат, упрочняющую обработку производят после нанесения покрытия в плазме тлегещего разряда постоянного тока в атмосфере азота, аргона или фреона при давлении 8 - 11 Па и плотности трка 0,4 - 0,5 мА/см в течение 8-12 мин.