Устройство для определения времени жизни неосновных носителей тока в @ - @ - @ структурах Советский патент 1984 года по МПК G01R29/00 

,Изобретение, относится к полупроводниковой, электронике, в частности, к контактным устройством для оп1ределения времени жизни «) неосновных носителей и структур, выполненных в виде тонких (-v 100 мкм пластин-шайб, из которых изготавливают кристсшлы полупроводниковых приборов.

Известно измерение времени t на готовыхр -«-И приборах с использованием методов изперения о на диодных структурах i .

Однако такой способ измерения С не применим для измерения С на пластинах.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является устройство для определения времени жизни неосновных носителей, содержащее корпус, контактный узел, выполненный в виде нанесенных на торцы пластины слоев полуды (посредством ультразвукового паяльника) с припаяными токоотводами, блок . контроля обратного сопротивления, измерительный блок и шлифовальный круг с электроприводом 2j .

Однако конструктивное разделение контактного узла и рабочего места для сошлифовки закоротки, .а также выполнение паяных контакто приводит к многим дополнительным манипуляциям с пластиной, что снижет производительность работы и приводит к повышенной вероятности поломки пластин (браку).

Кроме того, при паяных контактах пластина не пригодна для изготовления кристаллов полупроводниковых приборов. Цель изобретения - повышение производительности работы и уменьшение брака. Поставленная цель достигается тем, что устройство для определения времени жизни неосновных носителей тока вр-ч - и структурах, содержащее корпус, контактный узел, выполненный в виде соосно расположен ных электродов с токоотводами, блок : контроля обратного сопротивления, измерительный блок и шлифовальный круг с электроприводом, снабжено закрепленным,на корпусе узлом прижима с кронштейном, при .этом электро ды контактного узла выполнены в виде упорного и прижимного валиков, устаноаленны;с в подшипниках вращения, закрепленных в корпусе и кронштейне соответственно. Причем подшипник прижимного ва-; лика выполнен самоустанавливающимся. На фиг. 1 дано схематическое изоб Рё1жение механической части предлагае мого устройства; на фиг. 2 - электри |Ческая схема устройства, на фиг. 3 осциллограмма напряжения на структур

Механическая часть устройства содержит диэлектрическую плату 1 и прижимной валик 2, посредством подшипника 3 вращения (предпочтительно применение самоустанавливанвдегося шарикоподшипника) закрепленный на кронштейне 4 узла прижима (не показан). Узел прижима обеспечивает при необходимости прижим с фиксацией прижимного валика 2 к упорному валику 5, o снабженному диском б с насечкой и закрепленному в подшипнике 7 вргицения. Шлифовальный круг 8 мбжет подводиться и отводиться от валиков 2 и 5.

В упорном 5(и прижимном 2)валиках, как электродах, выполнены элект- рические гнезда 9, которые посредством токоотводов 10 (фиг. 2), снабженных штеккерами, подключат их к электрической схеме..

Электрическая схема включает генератор 11 импульсов прямого тока, осциллограф 12, диод 13, резистор 14 и переключатель 15.

Смежные торцы упорного 5 и прижимного 2 валиков обработаны не ниже 8-го класса чистоты.

Устройство работает следующим образом.

С помощью узла прижима проверяемую пластину 16 (шайба) структурой зажимают ме)хду упорным 5 и прижимным 2 валиками так, что оста5 ется кромка шириной 1-3 мм. Подводят вращаняцийся шлифовальный круг 8 к кромке пластины 16 и, поворачивая рукой за диск 6 пластину, сошлифовывают с отсосом ее закоротку по все периметру. Отсутствие закоротки определяют посредством омметра, подключив его к электрическим гнездам 9 (оно должно быть не менее нескольких килоом). После этого в электрические . гнезда 9 вставляют штеккеры (фиг.2) и, пользуясь переключателем 15, добиваются того, чтобы импульсы от генератора 11 подавались на пластину 16 в прямом направлении, о чем свидетельствует появление на экране осциллографа 12 типичной картины импульса с линейным участком, спада послеинжекционного напряжения на р-ц структуре (фиг.. 3). Измерив на этом линейном участ-7-- , определяют t из выражения ьп где К - постоянная Больцмана, Т - абсолютная температура q - заряд электрета, и - величина линейного спада послеинжекционного напряже« ния.

t - время, за которое происходит

спад ли,

Технико-экономический эффект от .предложенного решения обусловлен I сокращением времени определения до 5 мин и сохранением проверяемой

структуры, пригодной для дальнеиае го использования.

Кроме того, простота и удобство в работе обеспечивают возможность быстрого внедрения на производстве.

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВРЕМЕНИ ЖИЗНИ НЕОСНОВНЫХ НОСИТЕЛЕЙ ТОКА Вр- -«-СТРУКТУРАХ, содержеицее корпус, контактный узел. выполненный в виде соосно расположенных электродов с токоотводами, блок контроля обратного сопротивления, измерительный блок и шлифовальный круг с электроприводом, о т л ичающееся тем, что, с целью повышения производительности работы иуменьшения брака, оно снабжено закрепленным на корпусе узлом прижима с кронштейном, при этом электроды контактного узла выполнены в виде упорного и прижимного валиков, установленных в подшипниках вращения, закрепленных в корпусе и кронштейне соответственно. 2. Устройство по rt. 1, о т л и- i чающее ся тем, что подшипник прижимного валика выполнен са(Л моустанавливающимся. к пруукиннону приспособлению фиг.

rTL

I о-М

/V/vW

Ю 9

л

(7

Фиг 2