Устройство для обработки фасок на полупроводниковых пластинах Советский патент 1984 года по МПК B24B9/06 

Изобретение относится к автоматизации и механизации технологических процессов обработки деталей, в частности к оборудованию для сиятия фасок с периферии полупроводниковых пластин. Известно устройство для обработки периферии полупроводннковых пластин, содержа 1цее вращающийся держатель нзделия.шпиндель с инструментом V-образного профиля и приводом его вращения, а также механизм для подвода и отвода инструмента 1. Недостатком устройства является некачественная обработка периферии полупроводниковых пластин (разлнчная форма и размеры фасок) из-за сложности точной устаиовки пластины относительно V-образного паза. т. е. несовпадения оси симметрии пластины и инструмента. Целью изобретения является повышение качества обработки периферии пластин путем самоустановки изделия относительно инструмента вдоль осн. Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для обработки фасок на полупроводниковых пластинах. содержащем смонтированные на станине шпиндель изделия с держателем, шпиндель инструмента с приводом его вращения и механизмом относительного перемещения инструмента и изделий, шпиндель нзделия выполнен полым, а держатель установлен в нем с возможностью свободного осевого перемещения без относительного проворота. На чертеже показана принципиальная рхема устройства. На подшнпниковых опорах 1 установлен вращающийся полый вал 2 с фланцем на )дном конце и шкивом 3 на другом. Сквозь aл 2 проходит держатель 4 пластин, имею1ИЙ на одном конце фланец, который служит толиком для закрепления обрабатываемых пластин, а на другом - узел подвода ва куума 5. Столик держателя 4 сбязаи с флан цем вала 2 при помощи штифтов, исключаю щих их относительный проворот, но не препятствующих осевому смещеиию держателя 4. На подшипннковых опорах 6 смонтирован щпиндель 7 с режущим инструментом 8 и шкивом 9. Кроме этого, устройство содержит ступен чатый сегмент 10 для орнентации пластины относительно центра столика, приводные двнгатели II и 12 и упругий элемент 13 вращения изделия 14 и шпинделя 7 параллельны и располагаются в горизонтальной плоскости с целью исключения действия масс конструкции иа осевое перемещеиие держателя 4. Устройство работает следующим образом. Полый вал 2 с держателем 4 перемещаются влево. Пластина 14 ориентируется с помощью ступенчатого сегмента 10, а прн включении вакуума закрепляется на столике держателя 4. Включаются приводы П и 12 вращения держателя н инструмента. С помощью упругого элемента 13 пластина 14 прижимается к режущему инструменту 8. Различие толщины пластин 14 автоматически компенсируется за счет самоустановки относительно оси паза осевым смещением держателя 4 под действием сил резания до совпадения плоскостн симметрии ииструмента и пластины. По окончанни обработки держатель 4 с пластиной 14 отводятся в исходное положение, вакуум отключается и пластина сннмается. Устройство обеспечивает качественную обработку полупроводниковых пластин за счет самоустановки их относнтельно оси профиля инструмента

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ФАСОК НА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИНАХ, содержащее смонтированные на станине шпиндель изделия с держателем, шпиндель инструмента с приводом его вращения и механизм относительного перемещения инструмента и изделия, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки путем самоустановки изделия относительно инструмента вдоль оси, шпиндель изделия выполнен полым, а держатель установлен в нем с возможностью свободного осевого перемещения без относительного про ворота. i (Л У